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ナノテクノロジー

今から40年前、理科学分野と防衛/航空宇宙関連企業において、アライメントや位置検査の為、幅広い範囲の直線または角度で、極めて高い分解能を用い手動調整を行う機構の製品の要求がありました。この製品には、長時間にわたる優れた安定性も求められました。エアロテックは、「粗調整・微調整および位置決め機構」（米国特許番号3,727,471）という新しい特許製品を用いてこの要求を満たしました。高分解能で且つ広範囲な位置決めを行うこのデバイスは、世界中の主な研究施設の隅々で広く使われてきました。更に、エアロテックはこのデバイスを組み込み、可動距離50ミリメートル上で25ナノメートルのリニア分解能と、幅広い角度上でサブアーク秒の角度分解能を発揮する製品を開発しました。これらのデバイスは、今日もなお　現場でご使用いただいております。

その後も、位置決めとアライメントの要件はさらに高まり、精度、速度、分解能のこれまでにない高い性能が要求されるようになりました。エアロテックは最先端テクノロジーを駆使してこれに応え、最大可動距離1.5メートル、サブミクロン精度、ナノメートル分解能を兼ね備えた製品を完成しました。これらの製品は、高速・高精度位置決めを組み合わせてスループットを最大化し、生産性の限界を打ち破りました。

昨今　再び、大面積上でナノメートル構造の測定・操作・作用・表示を行う機器を作成する要求が高まっています。エアロテックはこの目標を達成するため、再度、高精度なモーションコントロールの最先端技術の開発を進めております。当社のナノモーションテクノロジーシリーズのナノポジショニングステージは、高精度な位置決めシステムの市場を根本的に変える、極限の精度、分解能、再現性、静止位置安定性を誇ります。最新のナノポジショニングステージとし、ANT95-Lリニア、ANT95-XY2軸リニア、ANT130-Lリニアを取り揃え、それぞれナノメートルレベルの性能を非常に長い可動距離で発揮します。また、ANT-20Gナノポジショニングゴニオメータも開発いたしました。

これらの開発は継続いたします。今後も　たびたび　この革新的な製品ラインであるナノポジショニングステージの進化を引き続き弊社ホームページやセールスを介しご確認をいただけることを期待いたします。

クラス最高峰の1 nm分解能

ANT95-Lの1 nmステップグラフ

クラス最高峰の1 nm分解能

ANT95-XYの1 nmステップグラフ

クラス最高峰の1 nm分解能


ANT130-XYの5 nmステップグラフ

ANT95-R直動回転ステージはエアロテックのナノモーションテクノロジィー製品シリーズとし設計されました。この回転ステージはかってない静止精度（0.005arc 秒）と最小動作（0.01 arc 秒）を達成しています。

ANT130-R直動回転ステージはエアロテックのナノモーションテクノロジィー製品シリーズとし設計されました。この回転ステージはかってない静止精度（0.005arc 秒）と最小動作（0.01 arc 秒）を達成しています。

クラス最高峰の0.01 arc sec分解能

クラス最高峰の0.01 arc sec分解能

エアロテックのANT95シリーズ・リニアモータ垂直可動ステージでは、25または50 mmの可動距離が選べ、ナノメートルレベルの位置決め性能を誇ります。ANT95-L-ZおよびANT95-L-Z-PLUSクロスローラステージは、クラス最高峰の速度、精度、分解能、再現性、信頼性、サイズに加え、2種類の精度グレードから構成されています。

エアロテックのANT130シリーズ・リニアモータ垂直可動ステージは、35または60 mmのナノメートルレベルの性能を誇ります。ANT130-L-ZおよびANT130L-Z-PLUSクロスローラステージは超小型の省スペースタイプで、ユニバーサルマウントとテーブルトップデザインによりシステム統合が容易にできます。

エアロテックのANT95シリーズ・ステージ製品は、マルチミリメートル可動式の世界初のナノメートルレベルの位置決めシステムです。ANT95-3-VおよびANT953-V-PLUSは、リニアモータ駆動のウェッジデザイン型垂直リフトステージです。ANT95シリーズのステージ製品とシームレスに統合でき、抜群の多軸性能を発揮します。

ANT130-5-Vはリニアモータ駆動のウェッジ型垂直リフトステージで、非常に優れた分解能（2 nm）、再現性（100 nm）、精度（200 nm）、静止位置安定性（1 nm）を誇ります。ANT130シリーズのステージ製品とシームレスに統合でき、抜群の多軸性能を発揮します。