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ナノテクノロジー

今から40年前、理科学分野と防衛/航空宇宙関連企業において、アライメントや位置検査の為、幅広い範囲の直線または角度で、極めて高い分解能を用い手動調整を行う機構の製品の要求がありました。この製品には、長時間にわたる優れた安定性も求められました。エアロテックは、「粗調整・微調整および位置決め機構」(米国特許番号3,727,471)という新しい特許製品を用いてこの要求を満たしました。高分解能で且つ広範囲な位置決めを行うこのデバイスは、世界中の主な研究施設の隅々で広く使われてきました。更に、エアロテックはこのデバイスを組み込み、可動距離50ミリメートル上で25ナノメートルのリニア分解能と、幅広い角度上でサブアーク秒の角度分解能を発揮する製品を開発しました。これらのデバイスは、今日もなお 現場でご使用いただいております。

その後も、位置決めとアライメントの要件はさらに高まり、精度、速度、分解能のこれまでにない高い性能が要求されるようになりました。エアロテックは最先端テクノロジーを駆使してこれに応え、最大可動距離1.5メートル、サブミクロン精度、ナノメートル分解能を兼ね備えた製品を完成しました。これらの製品は、高速・高精度位置決めを組み合わせてスループットを最大化し、生産性の限界を打ち破りました。

昨今 再び、大面積上でナノメートル構造の測定・操作・作用・表示を行う機器を作成する要求が高まっています。エアロテックはこの目標を達成するため、再度、高精度なモーションコントロールの最先端技術の開発を進めております。当社のナノモーションテクノロジーシリーズのナノポジショニングステージは、高精度な位置決めシステムの市場を根本的に変える、極限の精度、分解能、再現性、静止位置安定性を誇ります。最新のナノポジショニングステージとし、ANT95-Lリニア、ANT95-XY2軸リニア、ANT130-Lリニアを取り揃え、それぞれナノメートルレベルの性能を非常に長い可動距離で発揮します。また、ANT-20Gナノポジショニングゴニオメータも開発いたしました。

これらの開発は継続いたします。今後も たびたび この革新的な製品ラインであるナノポジショニングステージの進化を引き続き弊社ホームページやセールスを介しご確認をいただけることを期待いたします。


ANT95-Lナノトランスレーション、クロスローラベアリングリニアステージ

ANT95-XYナノトランスレーション、2軸、クロスローラベアリングリニアステージ
ナノテクノロジー ナノテクノロジー
エアロテックのナノトランスレーション(ANT95-L、ANT95-L-PLUS)クロスローラステージは、速度、精度、分解能、再現性、信頼性を兼ね備えた小型設計で、精度の違いによる2種類のグレードを提供します。ANTシリーズ・ステージ製品の進化モデルであるこれらのリニアステージは、エアロテックのANTシリーズ第一世代を上回る強化された動作性能を誇ります。加速度 5G、最大速度500 mm/秒、強化された荷重容量、標準化されたユニバーサルなベースマウントデザインなどの製品向上により、このフレキシブルなステージ製品ラインを前世代よりも広範囲な構成でご利用いただけます。 ANT95-XYクロスローラベアリング、リニアモータ、2軸ステージは、ANTシリーズのステージ製品を継承・進化させた最新製品です。ANT95-XYおよびANT95-XY-Hは、3つの要素部品からなる2軸可動(X軸およびY軸)のステージです。スマート設計による、わずか60 mmの究極の低姿勢のステージは、特許取得の卓越したダイレクトドライブモータテクノロジー、非接触リニアエンコーダ、リミットスイッチ、ケーブル配線処理、精度の違いによる2種類のグレードから構成されています。
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クラス最高峰の1 nm分解能
linear tables

ANT95-Lの1 nmステップグラフ

クラス最高峰の1 nm分解能
linear tables

ANT95-XYの1 nmステップグラフ

最大可動距離
25 または 50 mm
精度
±250 ナノメートル
速度
500 mm/秒
荷重容量
7.0 kg
最大可動距離
25 x 25 または 50 x 50 mm
精度
±250 ナノメートル
速度
500 mm/秒
荷重容量
6.0 kg


ANT130-Lナノトランスレーション、クロスローラベアリングリニアステージ


ANT-130XYナノトランスレーション、2軸、クロスローラベアリングリニアステージ
ナノテクノロジー ナノテクノロジー
ANT130-Lシリーズのステージは、速度、精度、分解能、再現性、信頼性、可動距離においてクラス最高峰のパフォーマンスを誇り、2種類の精度グレードから構成されています。ANT130-Lは、その低姿勢で卓越した性能により、高精度のアライメント、検査、位置決め、測定ステーションの究極のソリューションとなります。 ANT130-XYクロスローラベアリング、リニアモータ、2軸ステージは、ANTステージ製品シリーズを継承・進化させた最新製品です。ANT130-XYおよびANT130-XY-Hは、3つの要素部品からなる2軸可動(X軸およびY軸)のステージです。スマート設計による、わずか85 mmの究極の低姿勢のステージでは、60 x 60 mm、110 x 110 mm、160 x 160 mmの可動距離を取り揃えています。
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クラス最高峰の1 nm分解能


ANT130-Lの5 nmステップグラフ

クラス最高峰の1 nm分解能


ANT130-XYの5 nmステップグラフ

最大可動距離
35, 60, 110, 160 mm
精度
±250 ナノメートル
速度
350 mm/秒
荷重容量
12.0 kg
最大可動距離
60, 110, 160 mm
精度 ±250 ナノメートル
速度
350 mm/秒
荷重容量
12 kg


ANT95-Rシリーズ・ダイレクトドライブ回転ステージ


ANT130-Rシリーズ・ダイレクトドライブ回転ステージ
ナノテクノロジー ナノテクノロジー

ANT95-R直動回転ステージはエアロテックのナノモーションテクノロジィー製品シリーズとし設計されました。この回転ステージはかってない静止精度(0.005arc 秒)と最小動作(0.01 arc 秒)を達成しています。

ANT130-R直動回転ステージはエアロテックのナノモーションテクノロジィー製品シリーズとし設計されました。この回転ステージはかってない静止精度(0.005arc 秒)と最小動作(0.01 arc 秒)を達成しています。

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クラス最高峰の0.01 arc sec分解能

 

クラス最高峰の0.01 arc sec分解能

 

最大アパーチャ 11 mm
精度 5 位置
分解能
0.1 位置
荷重容量
2.0 kg
最大アパーチャ
11 mm
精度 5 位置
分解能
0.1 位置
荷重容量
3.0 kg


ANT95-L-Zシリーズ・リニアモータ垂直ステージ


ANT130-L-Zシリーズ・リニアモータ垂直ステージ
ナノテクノロジー ナノテクノロジー

エアロテックのANT95シリーズ・リニアモータ垂直可動ステージでは、25または50 mmの可動距離が選べ、ナノメートルレベルの位置決め性能を誇ります。ANT95-L-ZおよびANT95-L-Z-PLUSクロスローラステージは、クラス最高峰の速度、精度、分解能、再現性、信頼性、サイズに加え、2種類の精度グレードから構成されています。

エアロテックのANT130シリーズ・リニアモータ垂直可動ステージは、35または60 mmのナノメートルレベルの性能を誇ります。ANT130-L-ZおよびANT130L-Z-PLUSクロスローラステージは超小型の省スペースタイプで、ユニバーサルマウントとテーブルトップデザインによりシステム統合が容易にできます。

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最大可動距離
25 または 50 mm
精度 ±300 nm
速度
200 mm/秒
荷重容量
5.0 kg
最大可動距離
35 または 60 mm
精度 ±300 nm
速度
200 mm/秒
荷重容量
10 kg


ANT-95-3-Vメカニカルベアリング、リニアモータ垂直リフトステージ


ANT-1305-5-Vメカニカルベアリング、リニアモータ垂直リフトステージ
ナノテクノロジー ナノテクノロジー

エアロテックのANT95シリーズ・ステージ製品は、マルチミリメートル可動式の世界初のナノメートルレベルの位置決めシステムです。ANT95-3-VおよびANT953-V-PLUSは、リニアモータ駆動のウェッジデザイン型垂直リフトステージです。ANT95シリーズのステージ製品とシームレスに統合でき、抜群の多軸性能を発揮します。

ANT130-5-Vはリニアモータ駆動のウェッジ型垂直リフトステージで、非常に優れた分解能(2 nm)、再現性(100 nm)、精度(200 nm)、静止位置安定性(1 nm)を誇ります。ANT130シリーズのステージ製品とシームレスに統合でき、抜群の多軸性能を発揮します。

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最大可動距離
3 mm
精度 ±2 µm
速度
75 mm/秒
荷重容量
1.5 kg
最大可動距離
5 mm
精度 ±200 nm
速度
75 mm/秒
荷重容量
3.0 kg


ANT-20Gシリーズ・ダイレクトドライブゴニオメータ
 
 
エアロテックのANT-20Gゴニオメータは、光学コンポーネントの高精度角度アライメント分野において著しい進歩を遂げました。このすぐれた設計は、エアロテックのクラス最高峰のダイレクトドライブモータ技術を駆使しています。ANT-20Gシリーズをエアロテックのコントローラと併用し、毎秒150度の業界最高の位置決め速度と、最大精度±30 µradを達成します。

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最大可動距離
20°
精度 ±30 µrad
速度
150 度
荷重容量
3.5 kg
 
 
 

 

 

 
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