エアロテックのエアベアリングテーブルは、当社の30年にわたる　高精度のモーションコントロールと位置決めシステム設計の経験、知識の集大成です。エアロテックのエアベアリングは、当社のブラッシュレスリニアサーボモータを組み合わせると、半導体機器、ファイバーオプティクス、光通信、そして重要性の高い産業オートメーションアプリケーションにおいて理想的な性能を発揮します。当社のエアベアリングは、地面に対し垂直、水平両方向どちらの方向に荷重をかけてでも利用できます。向き合って存在する薄い圧縮空気層が空気層による位置変化をなくしております。設計　更に、耐加重機能を作り出す大きなエアベアリング面は　優れた硬性をエアベアリングの表面が広いガイド面で許容荷重を与えることはもちろん、設計は重量物の搬送加重のオフセットにおいて、理想的かつ最適な剛性を実現させます。独占的といえる製造技術が、卓越した緻密な特性とともに弊社エアベアリングを実現させました。このエアベアリングは　最大限のパフォーマンスを得るため　構造の均一化を持ち合わせています。パフォーマンスを最大限に引き出す本来の能力をも兼ね備えています。薄い圧縮当空気層は　小さな穴やすき間などの粗面の隙間を埋め　ピッチ、ロール、ヨー　そして　直進性、平面性の仕様です。

リニアエアベアリングステージ

ABL1000エアベアリングステージ

ABL1500リニアモータステージ

ABL2000エアベアリングステージ

ABL1000は、最高のパフォーマンスを可能にしたミニチュアサイズのエアベアリングステージです。エアロテックは、30年にわたる高精度のモーションコントロールと最新技術を採用した位置決めシステム製造の経験から最高品質のリニアエアベアリングステージを製造しています。

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ABL1500は、適切な加重特性、並外れた剛性、卓越した構造特性を備え、ご要求に合致した設計がなされています。

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ABL2000は、ウェハーイメージング、欠陥検出、およびコーティングアプリケーションに必要なピッチ／ヨーの優れた特性と高性能な速度コントロールを兼ね備えています。

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可動距離	≤150 mm
精度	±0.20 µm
再現性	±0.05 µm
直進性	±0.25 µm
平面度	±0.25 µm

可動距離	≤500 mm
精度	±0.2 µm
再現性	±0.1 µm
直進性	±0.25 µm
平面度	±0.25 µm

可動距離	≤1200 mm
精度	±0.50 µm
再現性	±0.20 µm
直進性	±0.25 µm
平面度	±0.25 µm

ABL3600エアベアリングステージ

ABL8000エアベアリングステージ

ABL9000エアベアリングステージ

ABL3600　２軸、大型アパーチャ、オープンフレーム、エアベアリングステージは、走査顕微鏡による検査とマスク、ウェハー検査応用に用い能力を発揮します。

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ABL8000は、剛性と安定性を劇的に高めるように　断面設計を修正しました。これは搬送品が重量物で且つ重心が必ずしも搬送物の中心でなくても有効です。

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ABL9000は、世界最高レベルのパフォーマンスを可能にしたエアベアリングです。ウェハー、フラットパネルディスプレー、そして光学検査とその組立てに対応するように設計されています。ABL9000は、機能の　新規格化を提案致します。

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可動距離	≤250 mm
精度	±1 µm
再現性	±0.2 µm
直進性	±0.5 µm
平面度	±1 µm

可動距離	≤1000 mm
精度	±0.50 µm
再現性	±0.20 µm
直進性	±0.40µm
平面度	±0.40µm

可動距離	≤1200 mm
精度	±0.5 µm
再現性	±0.1 µm
直進性	±0.50µm
平面度	±0.50µm

AHL9000リニアモータステージ

ABG10000エアベアリングガントリー

AHL9000は、走査軸側がエアベアリングでステップ軸側が機械式ベアリングで構成されており、優れたステップ＆スキャン機能のために設計されました。

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ABG10000エアベアリングガントリーは、エアロテックのコアテクノロジィーと製造能力を用い　卓越した性能と　幅広いオートメーションアプリケーションの多様性を提供します。

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可動距離	≤350 mm
精度	± 1.0 µm
再現性	±0.2 µm
直進性	±0.6 µm
平面度	±0.6 µm

可動距離	≤1000 mm
精度	± 2 µm
再現性	±0.5 µm
直進性	±1 µm
平面度	±1 µm

回転エアベアリングステージ

ABRS回転エアベアリングステージ

ABRT回転エアベアリングステージ

エアロテックのABRS回転エアベアリングステージは、ロープロファイルパッケージにおいて、優れた角度位置決め、速度安定性、そしてエラーモーションパフォーマンスを実現します。
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エアロテックのABRT回転エアベアリングステージは、ペイロード能力の高さと放射状、軸状における剛性に加え、優れた角度位置決め、速度安定性、そしてエラーモーションパフォーマンスを実現します。
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設置面積	128.1-278.1 mm
分解能	0.18-0.036 arc sec
両方向繰り返し再現性	<1 arc sec

設置面積	100-200 mm
分解能	0.055-0.027 arc sec
両方向繰り返し再現性	<1 arc sec

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エアロテックはモーションコントロール、モーションコントロールシステムの製造会社です.

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