ホーム >> 垂直リフトステージ　セレクションガイド

米特許5,731,641その他特許出願中

ANT-4Vは、高精度コンポーネントの垂直アラインメント機構において、著しい進歩を遂げました。このユニークな特許技術を採用したデバイスは　コンパクトなパッケージながらも、ハイスピード（秒速50 mm）、高分解能(1 nm)、優れた位置安定性(4 nm)、高精度(400 nm)という最高のパフォーマンスを実現します。

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AVL125は9 nm分解能を実現するため、非接触型リニアモータードライブ、高精度エンコーダ,そしてMXHマルチプライア―を備えました。更に　ハイスピード、高精度を実現。

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AVL1000は、横方向・回転剛性のため硬性ベアリングにウェッジデザインを使用しています。AVL1000の構成部品はすべて、24時間フル稼働の製造環境で作動するよう選び抜かれ、スクリュー/圧電素子ベースの垂直ステージとは異なり、AVL1000はメンテナンス不要で長期間トラブルなしの稼動を保証します。

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エアロテックのAVS100/AVSI100シリーズのステージは、垂直方向に僅かな刻みで動作させることが必要なアプリケーションに理想的なソリューション提供します。小型の外形と高精度の動作能力により、半導体ウェハー検査及びテスト、ファイバーオプティクスのアセンブリ及び検査、オートメーション化された装置のアラインメント、マシンビジョン検査システム、そしてレーザー機器アプリケーションに最適です。

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