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エアロテックのSolarScribe automation シリーズは現在入手可能なパネルのスクライビング装置の中で一番利用価値の高いものといえます。このシリーズには　お客様の応用の多様性に柔軟に対応するため　軸を分割したタイプとガントリータイプそれぞれに　機械ベアリングとエアベアリングのバージョンがございます。

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エアロテックの MaskAlign 100 は、最先端の半導体とフラットパネル描画システムにおける厳しい要求に応えるべく設計された、高性能のフォトマスクアライメントシステムです。

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エアロテックの WaferMax T 回転ステージは、低姿勢形状で高いパフォーマンスを必要とするアプリケーションに最適です。本来、精密なウェハー検査のために設計されたため、WaferMax T に蓄積された多くの特性は多数のアプリケーションに応用されています。２５mmのアパーチャを標準に採用しているため、回転数の制限がある真空引きラインを容易に設置可能です。

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WaferMax Z は、小型形状内における高精度コンポーネントの垂直アラインメントステージとして著しい躍進を遂げました。その優れた非接触型リニアモータドライブは、ダイレクトポジションフィードバックの為の高精度エンコーダを採用しています。

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左右・回転動作に対する剛性を得るため、AVL 1000 は高硬性ベアリングに取り付けたウェッジデザインを用いています。構成部品はすべて、24時間フル稼働の製造環境で作動するよう選び抜かれています。ボールスクリュー/圧電素子ベースの垂直ステージとは異なり、AVL1000 はメンテナンス不要で長期間トラブルが無いことを保証します。

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ARA 1000 回転アクチュエータは、高荷重搬送という明確な要求に対し設計されました。当社独自のステージの剛性を著しく向上させるデザインにより、機械的な非安定性、高荷重による慣性、、多軸システムを排除しております。

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エアロテックは、ユーザのシステム開発の容易性とコスト削減のため、高精度かつカスタムオーダーのチャックを製造・組み付けを行います。レチクルやフラットパネルディスプレイなどのデバイスはもとより200-300ｍｍのシリコンウェファーを含むチャックの　カスタムデザインをお受けしております。

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