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スピンドル スピンドル  
ASR2000シリーズ ダイレクトドライブスピンドル ABS2000シリーズ エアベアリングスピンドル  

エアロテックASRシリーズのダイレクトドライブスピンドルは、優れた角度位置決めと、高性能な速度コントロールを兼ね備えています。ディスクドライブテスト、映像アプリケーション、精密なウェハー検査等のアプリケーションにその機能が発揮されます。

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エアロテックABSシリーズのダイレクトドライブ エアベアリングスピンドルは、優れた角度位置決めと、高性能な速度コントロールを兼ね備えており、ディスクドライブテスト、映像アプリケーション、精密なウェハー検査などのアプリケーションにその機能が発揮されます。

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最大回転スピード
6000 rpm in <1 second
最大許容荷重 (放射軸/回転軸)
89 N
スピンドル精度 (放射軸/回転軸)
5 µm/2 µm
最大回転スピード
6000 rpm
最大許容荷重 (放射軸/回転軸)
66 N - 178 N
同期誤作動 (放射軸/回転軸)
<100 nm
 
 

  

 

 
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