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精密メカニカルベアリングボールスクリュードライブステージ


リニアステージ リニアステージ リニアステージ
ATS50 リニアステージ ATS100 リニアステージ PRO115 リニアステージ

ATS50 リニアステージは、超小型で低姿勢の形状で優れた位置決め能力を発揮します。ATS50は回転ステージであるART50/ART100と相性が良く、光学トレインや真空環境でのオペレーションといった具体的なアプリケーションに最適です。

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ATS100 リニアステージは、半導体ウェハーテスト及びその製造、自動顕微鏡検査システム、精密微細加工装置アプリケーション用とし高分解能と高再現性を発揮いたします。

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PRO115 リニアステージは、サイドがハードカバーで覆われたエアロテックの最小型ステージデザインです。当社が高品質なリニアモーションデバイスを生産しているとうご評価と 価格の競争力は、PRO115をミディアムパフォーマンスアプリケーション用のステージとしてより魅力的な製品しました。

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可動距離
50 mm
精度
±2.5µm/25mm
許容荷重
5.0 kg
可動距離
200 mm
精度
±0.5 µm
許容荷重
25.0 kg
可動距離
600 mm
精度
±6 µm
許容荷重
40.0 kg
リニアステージ リニアステージ リニアステージ
ATS150 リニアステージ PRO165 リニアステージ ATS0300 リニアステージ

ATS150 リニアステージは、半導体ウェハーテスト及びその製造、自動顕微鏡検査システム、精密微細加工装置アプリケーション用とし高分解能と高再現性を提供します。

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PRO165 リニアステージは、ミディアムパフォーマンス用でシンプルな機構です。PRO165はPRO115シリーズと似たデザインを持ち、より大きなベアリングと幅広い断面を兼ね備えることで、さらなる許容荷重値を高めました。

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ATS0300 は限られた範囲内での精度の高い位置決めが必要なアプリケーション向けに、省コストにてお使いいただけます。

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可動距離
250 mm
精度
±1.0 µm
許容荷重
45 kg
可動距離
600 mm
精度
±6 µm
許容荷重
45 kg
可動距離
50 mm
精度
±2.5µm/25mm
許容荷重
25.0 kg
リニアステージ リニアステージ リニアステージ
ATS1000 リニアステージ ATS1100-H リニアステージ ATS1500 リニアステージ

ATS1000 リニアステージは、コンパクト、高性能で多くの用途に使えるほど精度も高いものです。この製品は精密アプリケーション向けに造られており、小断面積で 中程の許容荷重機能を足し、粉塵等ご使用環境に対する対策も施してあり また省コストを意識した製品です。

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ATS1100-H リニアステージは、高剛性基盤、高性能ブラシレスサーボモータを兼ね備えており、レーザー加工や医療用コンポーネント製造といったアプリケーション向けに最適です。

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ATS1500 リニアステージは、 多目的位置決め要求の選択事項である 柔軟性と経済性を兼ね備えたプットフォームを提供します。

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可動距離
600 mm
精度
±1.0 µm
許容荷重
50 kg
可動距離
600 mm
精度
±1.0 µm
許容荷重
70 kg
可動距離
300 mm
精度
1.0 µm/25 mm
許容荷重
135 kg
リニアステージ リニアステージ リニアステージ
ATS2000 リニアステージ ATS3600 オープンフレームリニアステージ ATS5000 リニアステージ

ATS2000 リニアステージはテーブルトップ表面がハードコートで覆われ、可動部のカバーを採用したコンパクトで高性能なステージです。

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ATS3600 は高精度で強靭なオープンステージを求めるお客様のご要望にお応えします。この2軸制御で広い開口のオープンフレームステージは、走査顕微鏡、ウェハーおよびプリントサーキットボード検査、自動組み立てといった個々のニーズに対応します。

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ATS5000 は、最も要求の厳しいアプリケーションのニーズに応えるべく、デザインされました。高剛性基盤、可動部の完全密封型メタルカバー、ハイパワーリニアモータなどの特徴を兼ね備えているため、ATS5000は、レーザー加工、セラミックスクライブ、または粉塵等存在する設置環境に関わらず 高精度を必要とする他のアプリケーションにも対応することができます。

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可動距離
300 mm
精度
±1.0 µm
許容荷重
80.0 kg
可動距離
400 mm
精度
±1.0 µm
許容荷重
90 kg
可動距離
1000 mm
精度
±1.0 µm
許容荷重
135 kg
リニアステージ リニアステージ  
ATS5000WB リニアステージ ATS6200 リニアステージ  

ATS5000WBリニアステージは、ステージ全体の幅を広げることで、下部軸として使った場合 精度を保ちながら 上部軸の大きな許容荷重物を支えることができます。

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ATS6200リニアステージは、お手頃な価格でありながら、高精度なパフォーマンスを提供します。

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可動距離
1000 mm
精度
±1.0 µm
許容荷重
135 kg
可動距離
1500 mm
精度
1.0 µm/ 25 mm
許容荷重
90 kg
 

  

 

 
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