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| ADRT ダイレクトドライブ回転ステージ |
ADRS 回転ステージ |
ARMS ダイレクトドライブ回転ステージ |
エアロテックのADRTシリーズのダイレクトドライブ回転ステージは優れた角度位置決めと速度制御を提供します。アプリケーションはインデックス作業からハイスピードなレーザー加工や精密ウェハー検査にまで及びます。
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ADRS シリーズの回転ステージは高トルク出力、ダイレクトドライブブラシレスサーボモータの採用が特長です。超低姿勢形状のステージはシステム稼働時の効果的な高さを縮小し、エラーを増長するデバイスの“重ね合わせ高”を最小限に抑えます。ADRS シリーズはユーティリティーの配管配線やレーザービームデリバリー用に使用可能なクリアな大きな開口がございます。
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エアロテックの ARMS シリーズのダイレクトドライブ回転ステージは優れた角速度、加速、そしてMEMS 製品、ジャイロスコープ、慣性計測装置、航空電子工学機器、加速度計といった慣性コンポーネントとシステムのテストにおける位置決め機能 を提供します。
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直径 |
146
- 260 mm |
精度 |
±30
arc sec |
許容荷重 |
30
- 173 kg |
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直径 |
95
- 190 mm |
精度 |
6
arc sec |
許容荷重 |
16.9
- 56.2 lb |
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アパーチャ |
8
mm - 25 mm |
分解能 |
0.02
- 2 arc sec |
精度
目盛測定 |
±2.5
arc sec |
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| ALAR シリーズ ダイレクトドライブ回転ステージ
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ADR175/240 ダイレクトドライブ回転ステージ |
ADR160 ダイレクトドライブ回転ステージ |
エアロテックの ALAR シリーズのダイレクトドライブ回転ステージは、大型開口があり、優れた角度位置決めと速度コントロールを兼ね備えています。大型開口とダイレクトドライブモータの組み合わせにより、ALAR シリーズは、大型アパーチャ付機械ドライを過去の遺物としてしまいました。
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エアロテックのADRシリーズのダイレクトドライブ回転ステージは、優れた角度位置決めと速度コントロールを兼ね備えています。アプリケーションは、高速レーザー加工から精密なウェハー検査にまで及びます。
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エアロテックのADRシリーズのダイレクトドライブ回転ステージは、優れた角度位置決めと速度コントロールを兼ね備えています。これらのステージは、他社モデルと比べてより高精度で再現性に優れています。
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最大アパーチャ
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325
mm |
精度 |
±3.9
arc sec |
許容荷重 |
6463
N |
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直径 |
175
mm |
精度 |
±5
arc sec |
許容荷重 |
25
kg |
直径 |
240
mm |
精度 |
±1
arc sec |
許容荷重 |
135
kg |
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直径 |
160
mm |
精度 |
±5
arc sec |
許容荷重 |
25
kg |
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| ARA 1000 回転アクチュエータ |
ADR75 ダイレクトドライブ回転ステージ |
ASR1000 ダイレクトドライブ回転ステージ |
ARA 1000 回転アクチュエータは、重量物の搭載要求にご満足いただけるよう設計いたしました。 当社独自のデザインによりステージの剛性を著しく向上させ、重量物だからこそ発生する強い慣性や多軸制御による機械的不安定性を排除しました。
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エアロテックのADRシリーズのダイレクトドライブ回転ステージは、優れた角度位置決めと速度コントロールを兼ね備えています。アプリケーションは、高速レーザー加工から精密なウェハー検査にまで及びます。
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エアロテックの ASR1000 シリーズのダイレクトドライブ回転ステージは、高性能な精密加工のご要求にお応えできる製品です。低慣性モータと高精度エンコーダが、速度と精度の理想的な連携を実現します。
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直径 |
342.9
mm |
精度 |
±2
arc sec |
許容荷重 |
45
kg |
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直径 |
75
mm |
精度 |
±5
arc sec |
許容荷重 |
3
kg |
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直径 |
19
mm |
精度 |
±15
arc sec |
許容荷重 |
3.0
kg |
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| ASR1100 ダイレクトドライブ回転ステージ |
ASR1200 ダイレクトドライブ回転ステージ |
ACS シリーズ 回転ステージ |
エアロテックの ASR1100 シリーズは、大好評を博したASR1000ダイレクトドライブ回転ステージの拡張版です。ASR1100 は、不可欠な オフラインのマテリアルハンドリング能力がある空圧式コレットチャックを組みつけています。
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エアロテックの ASR1200 シリーズは、大好評を博したASR1000ダイレクトドライブ回転ステージの拡張版です。ASR1200 は、自動機用マテリアルハンドリング用の圧空式コレットチャックと、湿式切断用の防水ジャケットを組み込んでおります。
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エアロテックの ACS シリーズの回転ステージは、ERコレットチャックまたは3歯グリップ形状が組み込まれ、広範囲のマテリアルとアプリケーションにおける自動機マテリアルハンドリング能力がございます。
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最大アパーチャ |
14
mm |
精度 |
±15
arc sec |
許容荷重 |
3
kg |
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最大アパーチャ |
5.8
mm |
精度 |
±15
arc sec |
許容荷重 |
3
kg |
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最大アパーチャ |
30
mm |
精度 |
±15
arc sec |
許容荷重 |
140
kg |
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| ACS LP シリーズ 回転ステージ |
ADRH ダイレクトドライブ回転ステージ |
ANT-20RA 回転アクチュエータ |
エアロテックの ACS LP シリーズの回転ステージはERコレットチャック付で広範囲のマテリアルとアプリケーションの自動マテリアルハンドリング能力を提供します。
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エアロテックの ADRH100 は従来の高速回転スピンドルに代わり薄型で、ハイスピードなダイレクトドライブ回転モータを搭載しています。
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エアロテックの ANT-20RA はANTファイバーアライン90/130 シリーズのナノポジショナーに取り付けられるよう特別にデザインされたハイパフォーマンス回転アクチュエータです。
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最大アパーチャ |
30
mm |
精度 |
±6
arc sec |
許容荷重 |
41
kg |
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直径 |
104.8
mm |
分解能 |
3.6
arc sec |
最大回転
スピード |
2500
rpm |
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精度 |
±10
arc sec |
許容荷重 |
2.5
kg |
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| WaferMax
T |
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エアロテックの WaferMax T 回転ステージは、低姿勢形状で高い性能を必要とするアプリケーションに最適です。本来、精密なウェハー検査のために設計されたため、WaferMax T の特性は多数のアプリケーションに適用されています。２５mm の開口部を標準で採用しているため、回転数の制限がある真空ラインをその開口部を通し容易に設置可能です。
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直径 |
106.7
mm |
精度 |
±5
arc sec |
許容荷重 |
40
kg |
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ギアドライブメカニカルベアリング回転ステージ
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| ART50/100 回転ステージ |
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ART50/100 回転ステージは大変コンパクトかつ薄型で優れた位置決めパフォーマンスを提供します。ATS50 シリーズリニア位置決めステージと相性が良く光学トレインや真空オペレーションのような空間に制限があるアプリケーションに最適です。
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直径 |
50
mm |
精度 |
0.06
degrees |
許容荷重 |
5.0
kg |
直径 |
100
mm |
精度 |
0.05
degrees |
許容荷重 |
10
kg |
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