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エアロテックは、高精度ウエハー加工、フラットパネルディスプレイ製造、走査電子顕微鏡検査、ウェハーバンピング、リソグラフィー装置、最先端レーザマイクロ加工向けに、モーションコントロール、位置決めシステムとコンポーネントを設計し製造しています。また、当社はEUVリソグラフィー、走査電子顕微鏡検査などの真空アプリケーション用システムとコンポーネントの製造を得意としています。お客様が既製のウエハーバンピングコンポーネントを要望されても　又、特注の走査型顕微鏡装置の製造とその性能が正確に発揮できるかの試験をご要望されても、エアロテックは、お客様のアプリケーションに対して最も望ましいソリューションを提供します。

エアロテックは、高性能アプリケーション向けの完全な多軸真空対応モーションシステムを製造します。超紫外線リソグラフィー（EUV）、またその他のリソグラフィー装置、走査電子顕微鏡検査 （SEM）、イオンビームプロファイリング、イービーム検査、そしてウェハーバンピングなどの高性能アプリケーションにご使用いただけます。これらのシステムは、ナノ単位での静止位置安定性のある超高精度システムです。

走査電子顕微鏡検査のようなアプリケーションにて必要な　10^-8 Torr(1.3 x 10^-8 mbar) の真空度は、半密閉式ハードウェア、真空用潤滑剤、専用ケーブルを取り付けることで達成されます。尚、オーダーメードのシステムでは10^-9 トル真空レベルに達することが可能です。エアロテックは、具体的な原子質量単位のアウトガスの限界まで追求したシステムを提供することができます。システムは残留ガスアナライザ（ＲＧＡ）検査済みです。

さらに、エアロテックでは走査電子顕微鏡検査のようなアプリケーションに対して、厳しく管理された磁場でブラシレスリニアモータ、ブラシレス回転モータを製造しています。温度管理向上のため、磁場には液冷・ガス冷を採用しています。厳選した材料選びはもとより、特別な取扱い・清掃過程を踏むことにより、最も低い質量損失比(TML)および再凝縮物質比(CVCM)を実現しました。

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