ナノ工学

産業に関する主要専門知識

  • ディスクドライブ製造
  • ファイバーアライメント
  • 光学遅延エレメントアクチュエーション
  • センサーテスト
  • 走査
  • 研究開発
  • MEMS
  • 政府/学術機関、産業の研究所

お客様の目標を達成する

高性能ナノ位置決めシステムの目標 - 高いダイナミックパフォーマンス、高精度、高分解能、そして使いやすいソフトウェア - を達成するため、力学、磁気学、電子工学、コンピューティング、デジタルコントロールシステム、および電気機械システム工学の分野で1970年以来積んできた豊富な経験を駆使して、ナノ技術業界における現在および将来の要件を満たす製品を開発しました。 Aerotech独自の ダイレクトドライブ、長移動量ナノポジショナー は、最大160 mmの移動量を保持しつつもナノメートルやサブ秒角の精度を必要とする用途向けとして研究所や産業上用途向けです。 QNPシリーズピエゾナノポジショナー は、最大移動量が600 µmの高帯域幅位置決めにより、サブナノメートルの位置決め分解能とインポジション安定性を提供します。

精密さを極める

ダイレクトドライブナノ位置決めステージ製品には、分解能1 nm、精度±250 nm、移動量25~160 mmの、 単軸 / 2軸 リニアナノポジショナーが装備されています。 回転ナノポジショナー は、0.01秒角の分解能と0.005秒角のインポジション安定性、および360°の連続回転を実現し、 ナノ位置決めゴニオメーター は、0.05秒角の分解能と20°回転角、および1秒当たり150 °の速度を実現します。 さらに、最大1 nmの分解能と1nm未満のインポジション安定性、および最大60 mmの移動量を持つ 垂直リフト および Z軸ナノ位置決めステージ も開発しました。

AerotechはXXYZ軸のピエゾナノポジショナーを、顕微鏡検査から光学系アライメントまで、幅広い用途に適した閉ループまたは開ループバージョンで提供しています。QNPピエゾステージは、有限要素解析を用いて最適化された精密なたわみ動作に基づいて動き、高い剛性と耐用性を確保します。 0.15 nmの位置決め分解能、最大0.007%の直線性、および最大1 nmの繰り返し精度を実現する、独自の容量センサー設計の閉ループフィードバックを使います。 移動量は、閉ループが100~500 µm、開ループが100~600 µmです。

成功への意欲

ナノ位置決めステージは、独自開発の高度なテクノロジーを活用して最高レベルの位置決め性能を達成します。 省スペースで極小型のこの製品は、高精度位置決め、ディスクドライブ製造、ファイバーアライメント、光学遅延エレメントアクチュエーション、センサーテスト、顕微鏡検査、およびスキャンプロセスなど、滑らかで精密な動きを必要とする多くの用途において、明らかなメリットを提供する弊社の独自技術を搭載しています。 真空対応バージョンのステージもご利用いただけます。 さらに、完全パッケージとして、ステージ、コントロール/ドライブ、そして使いやすさと最大限の機能性/効率を兼ね備えた優れたソフトウェアもご用意しています。 お客様のナノ位置決めの用途が何であれ、Aerotechにはそれを成功させる知識とスキル、製品、そしてサポートをご用意できます。