半導体

産業に関する主要専門知識

  • 薄膜検査
  • ウェハー検査
  • 原子間力顕微鏡検査
  • 欠陥検出
  • 粒子の走査
  • X線検査
  • 電気および磁気分析
  • マスク検査

Aerotechは、ウェハー検査(欠陥検査、計測、欠陥レビュー、微少寸法)だけでなくウェハープロセス(ウェハーバンピング、リソグラフィー)などの半導体用途のエンジニアリング、製造モーションシステムおよびコンポーネントにおいて長い歴史を持っています。 また、EUVリソグラフィーや走査型電子顕微鏡(SEM)などの真空用途のためのシステムやコンポーネントも専門としています。 エンドユーザーやインテグレーター、大量製造OEMメーカーに標準およびカスタムメイドのモーションソリューションを提供する能力は他社を寄せ付けません。 また弊社製品は品質、性能、柔軟性、そして最大限の投資収益率をお客様にもたらします。

ウェハー検査

弊社は、ウェハー検査用途の高性能モーションコントロール装置の推奨サプライヤーです。 ハイエンドの平面エアベアリングプラットフォームから統合されたリニア--モーター--駆動ステージシステムまで、Aerotechは、御社のウェハー検査、計測、または欠陥レビュー用途に最適なモーションソリューションを選択するお手伝いができます。

主な製品とソリューション:planardl_planardla



半導体

リソグラフィー

Aerotechは、最新モデルのステージシステム、Planar HDX含め、Planar HDをはじめとしたリソグラフィー用途の最新の超高性能平面型エアベアリングシステムをそろえています。こうしたトップのラインのステージは、弊社の高度な制御アルゴリズムと強力な制御電子回路と組み合わせると、ハイダイナミック、高精度の位置決めの究極を提供します。

主な製品とソリューション:planarhdx-andhd


欠陥検出

弊社の超スムーズなリニアエアベアリングモーションシステムと高性能回転ステージは、マクロ欠陥、粒子汚染、および一般的な欠陥測定に優れた性能を発揮します。 高速リニアおよび対応回転ステージは、最新鋭のモーションコントローラと共に使用すると、正確かつ高スループットの測定ができます。 単純な径方向運動であれ、厳密に制御されたらせん検査プロファイルであれ、Aerotechでは最適なステージの組み合わせを提供できます。

主な製品とソリューション:semiconductor_spindles


走査型プローブ顕微鏡法(SPM)

検査には最高級の性能が必要ですが、走査型プローブ顕微鏡法(SPM)ほど厳格さが必要とされるものはありません。 こうしたニーズに対応するために、ハイダイナミック、ナノメートルステップサイズ、1桁のナノメートル位置安定性を提供する数々のシステムソリューションを提供しています。 当社の製品ラインは、ハイダイナミックダイレクトドライブピエゾステージから超高精度平面エアベアリングまで幅広く対応しています。 こうした軸すべてをまとまりのある使いやすいプラットフォームで実行するコントローラと組み合わせることで、お客様のSPMニーズに完全対応しています。

主な製品とソリューション:semiconductor page

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真空システム

Aerotechの真空対応における応用経験、他に例を見ない製品スコープ、豊富なエンジニアリング機能は、真空対応モーションシステムのパートナーとしてお選びいただくのにふさわしい資質を備えていると言えます。 詳細については、弊社の真空ページをご覧ください。

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動画

弊社製品の詳細については、弊社の動画ライブラリの次の動画を参照してください。