450 mmウェハー

450 mmモーションプラットフォーム

半導体業界は、さらなる規模の経済メリットを見込んで、450 mmウェハーの製造を重大視し始めました。 半導体や薄型パネルディスプレイ、太陽電池といった業界に広範なモーションシステムを提供してきた実績によって、Aerotechは450 mmウェハーの処理と検査のニーズに対応する態勢ができています。 弊社は、450 mmウェハーに必要な移動量と性能の要件を満たすモーションサブシステムを提供するだけでなく、大型のペイロードにつきものの寄生動作を削減して、システムのスループットを劇的に向上させる高度な制御技術を持っています。

450 mmウェハー

Aerotechの広範な製品群は、450 mmの半導体製造分野を網羅し、これにはウェハー処理、ウェハー検査、リソグラフィーなども含まれます。 リニアステージと回転ステージには、機械ベアリング、エアベアリング、真空ソリューションがあります。

450 mmウェハーシステム向けの高度なコントロール

450 mmウェハーに関連して移動質量と作業域を増大するには、高度な制御技術を採用した最先端のコントロールが必要です。 Aerotechの一連の 高度コントロール には、精度を向上させたり、ステップや整定時間を減少させたり、寄生動作をなくしたりするさまざまなオプションがあります。 これによって、450 mmの製造移行に関連するリスクを劇的に減少できます。


高度なコントロール


450 mm対応ステージシステムの例

450 mm対応ステージ

450 mm対応の計測

Aerotechには、ハイエンドのモーションプラットフォームと広い作業域の設計、製造、検査における40年以上の実績があります。 薄型パネルディスプレイ製造から検査システム、計測能力に至るさまざまな分野で、業界の先端を進んでいます。 弊社の設備装置などを以下にご紹介します。

    • 0.25°Cを超える温度制御精度、免震構造の試験エリア

    • 大型システムのISOクラス6、セル固有のISOクラス5要件を満たすクリーンルーム設備

    • 弊社の450 mm対応システムのすべてを検証し、較正し、調整するための最新の干渉計(アジレント社、レニショー社、ザイゴ社製)、位相測定干渉計、静電容量位置センサー、LVDTトランスデューサー

  • メーラー・ウェーデル社製オートコリメーターと弊社の高度な回転試験測定システムの組み合わせによる、回転軸の精度、分解能、軸方向と半径方向の誤差運動、傾斜誤差運動の検証


450 mm計測設定


製造能力の増大

最近、製造施設を12,000 m2 から18,000 m2に50%も拡張しました。 製造を中心とする6,000 m2 の拡張面積によって、クリーンルーム設備と専用の検査ラボスペースも拡大しました。 これはAerotechが450 mmシステムの本生産の態勢ができていることを意味します。

施設-拡張