カスタム電気機械システム

回折サブシステム

Aerotechには、カスタム電気機械システム、および 高度なコントロール システムとの統合で広範な実績があります。

リニア、回転、角のコンポーネントを含む多軸モーションはハイエンド回折システムの基礎であり、こうしたシステムには PSO や弊社のDynamic Controls Toolboxのような高度なコントロールが搭載されます。 こうしたシステムには、2次元の較正や偏心誤差(SOC)測定などを含む各種の精密測定によって、広範囲にわたる検査と検定が行われます。


平坦性 <1 µm
ピッチ/ロール/ヨー
±1 arc second
微細な位置決めのピエゾステージ 高度なスリップリングにより、θの方向に360°の連続移動が可能
リフト/チップ/チルト
3点マウントのZ軸とキネマティックマウントによる、アセンブリ全体での正確なリフト、チップ、チルトのモーション


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リニアおよび回転エアベアリング ABL8000およびABRS-300MP
繰り返し精度 ±1 µm
±1 arc-second
ステップサイズ 1 µm
0.1 arc second



結晶構造解析および断層撮影

 

ABRS-シリーズABRSシリーズエアベアリング回転ステージ

  • ダイレクトドライブ、スロットレス、ブラシレスサーボモーター

  • ゼロコギングモーターで傑出した速度安定性を確保

  • 優れた誤差運動と心振れ性能

  • 直接連結の高精度ロータリーエンコーダ

  • 薄型平面型デザイン

  • 機械的接触なし

範囲

精度

繰り返し精度

ステップサイズ

X 100 mm ±1.0 micron ±0.5 micron 1.0 micron
Y検出器 200 mm ±3.0 micron ±1.0 micron 0.5 micron
2θ 320° ±3.9 arc sec ±0.5 arc sec <0.1 arc sec
γ 10° ±5.0 arc sec ±1.0 arc sec <0.1 arc sec
θ 320° ±3.9 arc sec ±0.5 arc sec <0.1 arc sec
Υ 200 mm ±3.0 micron ±2.0 micron 1.0 micron
χ ±4° 3.6 arc sec 3 arc sec <0.1 arc sec
Ø ±4° 3.6 arc sec 3 arc sec <0.1 arc sec
Xサンプル 100 mm ±2.0 microns ±1.0 micron 0.5 microns
Zサンプル 100 mm ±2.0 microns ±1.0 micron 0.5 microns
Yサンプル 25 mm ±1.0 microns ±0.75 micron 0.53 microns

注:
1. 回転軸アライメントは直交性5秒角
2. 最大50 kgのサンプル/負荷質量
3. 1.4 mビーム作業高さ



  • 可能な限り最小の偏心誤差(SOC)用の秒角とミクロンレベルの精密なアライメント
  • 数百キロ用の特別設計3点垂直リフトとチップ・チルトソリューション
  • 最高の速度安定性のためのエアベアリングのリニア軸と回転軸
  • 基盤の振動と機械共振を補正するソフトウェアツール
  • 高度に同期された多軸モーション
  • 5秒角の直交性でアライメントされている回転軸
  • 最大サンプル/負荷質量50 kg
  • 1.4 mビームの作業高さ


ゴニオメーター

ゴニオメーター
クレードルは、数グラムから数百キロまでの荷重に対応します。

ダイレクトドライブ ゴニオメーターには以下の機能があります。
  • ゼロバックラッシュ/ヒステリシスのための、コギング・摩擦なしの非接触型ダイレクトドライブ
  • 高速(150 °/s)
  • 高分解能(0.05 arc sec)
  • 優れたインポジション安定性
  • 20°の回転角
  • 2つのクレードルの直交マウントによって、同一点を中心とする回転が可能
  • メンテナンス不要
  • コンパクトな設計

ギアドライブ ゴニオメーターには以下の特徴があります。

  • 360°の視界で積み込みを確認しながら±45°の回転位置決め
  • 回転中心を共有する積み重ね設計
  • 精密なウォームギアドライブによる抜群の精度と繰り返し精度
  • ダイレクトエンコーダオプション
  • 水平または垂直の取り付け方向
  • 高耐荷重
  • 耐荷重最大680 kg

 


真空対応モーター、ステージ、モーションシステム一式

以下のような3種類の真空オプションがあります。

  • 低真空オプション(10-3 トール)
  • 標準真空オプション(10-6 トール)
  • 高真空オプション(10-8 トール)

弊社の広範な標準製品は、以下の特殊技法によって簡単に真空用途に対応できます。

- 材料選択
- 表面調整
- ハードウェア通気と空気溜まりの除去
- 潤滑剤選択
- 温度管理
- 磁場管理
- クリーニング
- 真空ベーキング
- ハンドリングとパッケージ

 

ESRF

モーション X、Z、θ
必須仕様 回転ステップサイズが0.1秒角以上
環境 高真空

ESRF-プロット