斜入射ミラーの検査

究極のピッチ、ロール、およびヨーの角度誤差を実現するエアベアリングステージ

斜入射X線ミラーの性能は、ミラー表面の勾配に大きく依存しています。 その勾配誤差をできる限り高い水準で測定することが重要です。 Aerotechのエアベアリングステージは、ミラーの特性を判定する光学測定機器に優れた角度安定性を提供します。

PTB

  • 最大ストローク長1200 mm
  • 7秒角(34 µrad)未満のピッチ、ロール、ヨー誤差
  • ご利用いただける構成は以下のとおりです:- 光学機器や測定機器のためのデュアルキャリッジ
    - 直交リニア軸
    - 6自由度の回転、リフト、チップ/チルト操作

ロール誤差のグラフ

ロール-エラー-プロット-X-軸-完了