サンプル位置決め


偏心誤差を最小限に抑えた回転ステージ

Aerotechのエアベアリング回転ステージは、軸方向、半径方向、および傾斜(心振れ)の誤差がほとんどなく、偏心誤差を最小限に抑えます。 これにより、サンプルはビーム中にとどまることができます。

複合画像_サンプル位置決めサイズ変更

ABRT-400は高精度エアベアリング回転軸の一例です。 優れた偏心誤差性能を維持しつつ試験中の機器に真空やエア、配電を提供するために、非影響ロータリーユニオンとスリップリングを備えています。

 

Aerotechはさまざまな価格や性能のソリューションを幅広くご提供しています。 お客様の用途に合ったソリューションをお探しの場合は、Aerotechの応用エンジニアまでお問い合わせください。

最高
  ABRT-260 ABRT-400 µARC
精度 4 arc sec 2 arc sec 0.12 arc sec
繰り返し精度 <1 arc sec <1 arc sec 0.08 arc sec
軸方向の誤差運動(同期) <100 nm <100 nm <50 nm
半径方向の誤差運動(同期) <150 nm <250 nm <75 nm
傾斜誤差運動(同期) <0.5 arc sec <0.5 arc sec <0.1 arc sec
軸方向の誤差運動(非同期) <20 nm <20 nm <10 nm
半径方向の誤差運動(非同期) <20 nm <20 nm <10 nm
傾斜誤差運動(非同期) 0.04 arc sec 0.04 arc sec 0.01 arc sec
軸方向の耐荷重 69 kg 110 kg 200 kg
半径方向の耐荷重 10 kg 90 kg 50 kg
追加のスリップリング装置と360°の回転 オプション オプション オプション


サンプル微調整のためのピエゾアクチュエータ

AerotechのQ-シリーズピエゾアクチュエータは、競合製品より高い剛性と直線性を持ち、クラス最高の性能を提供します。

ピエゾリニアステージ_画像

  • 100~600 µmの移動量も用意できます
  • 直接計測式容量センサーオプションによる、優れた位置決め分解能と0.007%の直線性
  • 1つのコントローラプラットフォームにおける、設定可能な開ループ/閉ループ制御
  • 閉ループ操作の容量センサーフィードバックを可能にする20ビットの高精度センサー分解能
  • 学習制御、高調波消去、コマンドシェーピングなどの高度な制御機能で、追跡誤差を減らして、全体的な処理のスループットを改善


機械的仕様

QNP-40-100LQNP-50-250LQNP-60-500L
閉ループ移動 100 µm 250 µm 500 µm
開ループ移動、-30 ~+150 V(1) 120 µm 300 µm 600 µm
分解能(2) 閉ループ(統合フィードバック) 0.30 nm 0.50 nm 0.90 nm
開ループ 0.15 nm 0.20 nm 0.40 nm
直線性(3)(4) 0.01% 0.01% 0.007%
双方向繰り返し精度(5) 1 nm 1 nm 3 nm
ピッチ/ヨー 6 µrad (1.2 arc sec) 6 µran (1.2 arc sec) 12 µrad (2.5 arc sec)
剛性(運動方向)(6) 1.25 N/µm 0.40 N/µm 0.27 N/µm
無負荷の共振周波数(6) 1300 Hz 475 Hz 350 Hz
共振周波数(荷重50 g)(6) 650 Hz 325 Hz 260 Hz
押し/引きの力(運動方向の)(7) 10 N
最大ペイロード(8) 1 kg
ステージ質量 0.06 kg 0.09 kg 0.14 kg
材料 アルマイト(9)
MTBF (平均故障間隔) 30,000時間
  1. 値は±10%
  2. 分解能の説明については、ピエゾエンジニアリングリファレンスセクション4.2をご覧ください。
  3. 各ステージで認定済み(閉ループフィードバックモデルのみ)。
  4. 外部の計測器で、キャリッジの上、約15 mm地点の計測。 直線性仕様の説明については、ピエゾエンジニアリングリファレンスセクション4.1をご覧ください。
  5. 1シグマ値(標準偏差)と規定。 双方向繰り返し精度の説明については、ピエゾエンジニアリングリファレンスセクション4.3をご覧ください。
  6. 値は±20%。
  7. ピエゾステージ定格荷重の説明については、ピエゾエンジニアリングリファレンスセクション4.6をご覧ください。
  8. 軸積み込み用の軸向きが記載されています。
  9. 外装はアルマイト処理です。 一部の内部コンポーネントはステンレススチールです。 その他の材料はご要望に応じて提供します。


コース調整のためのX、Y、およびZリニアステージ

X、Y、Z次元における粗位置決めのための、堅牢で高耐荷重のステージ。

高耐荷重垂直ステージ
高耐荷重-垂直-ステージ
  • 垂直ステージ
  • 耐荷重1000 lb (455 kg)
  • バックドライビング(逆走)なし
  • 調整可能な電気限界値
5 軸、XYZ、ピッチとロール
5軸、-XYZ、-ピッチ-と-ロール
  • 統合ケーブル管理
  • ダイレクトドライブ、高精度
  • 空気圧式の垂直カウンターバランス
高荷重、ボールねじ、XYリニアステージ
高耐荷重、-ボール-ねじ、-XY-リニア-ステージ
  • 最大ペイロード1500 lb (682 kg)
  • 高い精度と繰り返し精度を実現する、オプションのリニアエンコーダ
  • クリーンルームまたは10トールの-6 真空に対応
ATS0500ヘビーデューティXYZ
ATS0500-追加-ルーム-試験
  • 大きなペイロードに最適
  • 耐荷重250 lb (114 kg)
  • 全方向に最大1 mの移動量
  • ベローズによる防塵機能
  • クリーンルームまたは10トールの-6 真空に対応
大容量、ヘビーデューティ、XYZシステム
大容量、-高耐久性、-XYZ-システム
  • 荷重500 lb (227 kg)
  • 200 nm のステッピング性能
  • 大容量
  • 分解能4 nmのダイレクトエンコーダ
  • クリーンルーム対応
高荷重X/θ
高耐荷重-X-θ
  • 移動量350 mm
  • 連続回転
  • 荷重1500 lb (682 kg)
  • 回転精度±10 µrad
  • クリーンルームまたは10トールの-6 真空に対応


モーター駆動角度調整

制限付き移動量から360°の連続回転まで、Aerotechの回転/角度ポジショナーは、さまざまな用途向けに幅広いモーションを提供します。

ALAG大容量ゴニオメーター



ALAG
  • 耐荷重1500 lb (682 kg)
  • 回転中心は傾斜ステージより330 mmまたは1200 mm上
  • ±2 µradの繰り返し精度
  • ±5 µradの精度
  • 真空10トール-6
  • AZダイレクトドライブ
  • 0.025 µradのマシン分解能
  • テーブルトップのダイレクトフィードバックを含むゴニオメーター
  • ±3°~±5°の角移動
ANT-20Gシリーズのダイレクトドライブゴニオメーター


ゴニオメーター_グループ_04_10
  • 非接触ダイレクトドライブ
  • 高速、高分解能
  • メンテナンス不要
  • 20°の角移動
  • ±30 µradの精度
  • 耐荷重3.3~11 lb (1.5~5 kg)
  • ピッチ/ロール用に積み重ね可能
AGCシリーズのギア駆動ゴニオメーター
AGC_ネスト化
  • ±60 µradの精度
  • 360°の視界で積み込みを確認しながら±45°の回転位置決め
  • 精密なウォームギアドライブによる抜群の精度と繰り返し精度
  • ダイレクトエンコーダオプションあり
  • 水平または垂直の取り付け方向
  • 荷重44~110 lb (20~50 kg)