真空

産業に関する主要専門知識

  • 材料選択
  • 表面調整
  • 仮想漏洩の排除
  • 潤滑剤選択
  • クリーニング
  • 真空ベーキング
  • ハンドリング
  • 温度管理
  • 磁場制御

Aerotech真空のメリット

Aerotechの広範な応用経験、他に例を見ない製品スコープ、豊富なエンジニアリング機能は、真空対応モーションシステムのパートナーとしてお選びいただくのにふさわしい資質を備えていると言えます。 創業以来、Aerotechは最高性能のモーションコントロールと位置決めシステムを設計・製造して提供してまいりました。真空対応プラットフォームも例外ではありません。 Aerotechにおける標準およびカスタム真空システムの構築は30年以上にわたります。 弊社の真空適用実績には軍用/航空宇宙、研究、半導体、および材料加工があります。 一般的な用途:
  • EUVリソグラフィー
  • 走査型電子顕微鏡(SEM)
  • イオンビームプロファイル分析
  • 蒸着
  • 衛星コンポーネント試験
  • 透過電子顕微鏡(TEM)
  • イオン注入
  • 光学研磨
  • 科学研究
  • X線断層撮影
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カスタムシステム:
ALS20000/ADRS‑150/ADRS‑150

Aerotech: 真空モーションプラットフォームのパートナーとして選ばれる企業


真空工学の専門知識

弊社の豊富な試験機能により、発送前にモーションシステムの完全な検定が可能です。 高度に統合されたモーションシステムのサプライヤーとして、モーションシステム一式を完全に最適化できます。 ハイダイナミックシステムには、熱的モデリングと実務経験に基くアクティブな冷却オプションをいくつかご用意しています。

磁場の影響を受けやすい用途には、磁場の遮蔽および封じ込め方法に関する弊社の幅広い実績が有用です。

真空のウェブページ4水冷式リニアモータースキャン軸とボールねじ駆動式ステップ軸を備えたカスタム高真空システム
優秀で熱心なAerotechエンジニアリングスタッフの専門知識は、すべての主要なモーションテクノロジー領域におよびます:
  • 精密機械設計
  • 振動と制御
  • 磁気回路設計
  • 電力工学設計
  • サーボシステム
  • ソフトウェア開発

真空製造施設

Aerotechには、UHVシステムの構築に理想的な制御環境であるISOクラス6のクリーンルームを含む大規模な製造施設があります。 弊社の機械工場は、真空対応コンポーネントの製造に十分適しています。 また真空試験室、完全な部品洗浄のオンサイト施設、そして十分に訓練された組み立ておよび試験スタッフを維持しています。
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Aerotechの広大なISOクラス6のクリーンルーム

真空のステージング設計要素


Aerotechの広範囲な標準ステージ製品は、真空対応バージョンでご利用いただけます。 標準プラットフォームに加え、特定用途のニーズに対応した設計のカスタムシステムも常時製造しています。 Aerotechの真空対応モーションプラットフォームはすべて、ポンプのダウンタイム、チャンバーの汚染、温度管理の問題すべてを最小限に抑えます。 さらにこれらのシステムには、磁場の低減など適用上の主な検討事項を組み込むことができます。

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無制限の移動量を持つ高真空AGR-50回転ステージ

Aerotechの精通分野:

  • 材料選択
  • 表面調整
  • 仮想漏洩の排除
  • 潤滑剤選択
  • クリーニング
  • 真空ベーキング
  • ハンドリング
  • 温度管理
  • 磁場制御
  • パッケージ

Aerotechから入手可能な真空オプション

レベルトールmBarkPa
低真空(VAC3) 1.0 x 10-3 1.3 x 10-3 1.3 x 10-4
高真空(VAC6) 1.0 x 10-6 1.3 x 10-6 1.3 x 10-7
超高真空(UHV) ≤1.0 x 10-7 ≤1.3 x 10-7 ≤1.3 x 10-8

材料選択

使用できる材料は真空レベル、用途、動作温度などによって異なるため、Aerotechでは質量損失比(TML)と再凝縮物質量比(CVCM)を制御するさまざまなオプションをご用意しています。

潤滑剤:真空レベルとお客様の工程に合わせて低蒸気圧潤滑剤を選択します。
ケーブル管理システム(CMS):CMSの構築と材料は、通常、テフロン®絶縁ワイヤー(MIL-C-27500)またはKaptonと、PEEK(ポリエーテルエーテルケトン)™などさまざまな材質の特殊な電気コネクタを併用します。 各種終端処理オプションも利用可能です。
表面仕上げ: 表面仕上げには裸アルミ、無電解ニッケル、ステンレススチール、真空対応ペンキ(Aeroglaze Z306)などのオプションがあります。
RGA-XYシステムからの実際のRGAプロット

ハードウェア: システムでは、すべての止まり穴にスルーホールまたは通気式ステンレスファスナーが使われます。

Aerotechは常にお客様と密接に連携し、システムがガス放出の要件を満たすかそれ以上の性能を出すようにしています。

デザイン要素


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移動量1 mのカスタム高真空リニアアクチュエータ

温度管理

温度管理は、モーターやベアリングの真空のウェブページ10熱除去に対流を使用できない真空システムにおいて鍵となる技術です。 温度管理をしないと、大気中で運転する同等システムと比較して、ステージの性能は低く、寿命は短くなることがあります。 そのため、Aerotechでは熱分離の手法と受動・能動の冷却技術の開発に相当な努力を注いできました。 こうして冷却の伝導および放射モードを最大限に引き出し、チャンバー内の熱源の影響を減少または除去するのに役立つ技術開発が可能になります。

サーボモーター

リニア/ロータリーサーボモーターは主な熱源となるため、真空システムでの運用では特にクリティカルな設計となります。 そのため、Aerotechでは真空での運用課題に特別対応するモーターを設計/製造しています。 特殊な材料から磁気回路設計まで、Aerotechのサーボモーターは、最低限のガス放出、単位体積当たりの高出力/トルク、そして長寿命のために最適化されています。

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UHV Nema 23 (BMS60)ロータリーモーター

Aerotech-高真空-システム-新しい

直径300 mmのターゲットゾーンにおける実際の磁場測定
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