磁場管理

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温度管理真空用途によっては、システムの作業点において極小の磁気強度と最小限の場の揺らぎが要求されることがあります。 このような状態が1つでも存在すると、プロセスに問題が生じる可能性があります。 Aerotechは、AC/DC電場のこうした課題に対し、特別な遮蔽技術、磁気トラック設計、そして非磁性体を使って対処しています。 また、機械システムはモーターコイルや磁石をプロセス作業点から十分離すように設計されています。

ハンドリング/クリーニング

ハンドリングは、真空ステージシステムの品質を維持するために極めて重要です。 真空システムは、Aerotechの広大なクリーンルームにおいて、パウダーフリーのポリ手袋をはめた正確な組立工によって組み立てられます。 すべての部品が念入りに洗浄され、油などの汚染物質は取り除かれます。 洗浄後、コンポーネントは加熱密封されたナイロンもしくは粒子フリーのポリ袋に入れられます。 必要に応じて、コンポーネントレベルの焼出しも可能です。 Aerotechの真空のメリットに関する詳細は、知識豊富な弊社販売スタッフまでお問い合わせください。

真空画像1

真空画像2