角度/回転装置較正器 - µARC

説明

設計の主な特徴

  • 主軸精度: <0.6 μrad (<0.12秒角)
  • 最小インクリメンタルステップ: 0.035 microradian (0.007 arc-second)
  • 角度測定の不確定性: <0.73 μrad、k=2 (<0.15秒角、不確定性の増加、k=2)

Aerotechの角度/回転較正システムのµARCは、長期的な安定と1 μrad (0.2 秒角)未満の角精度を要する角度/回転装置の較正性能で新たな業界標準を設定しました。

システムは、ステップサイズが0.1 μrad未満から連続回転までの超精密計測機能を必要とする用途向けに特化して設計されています。 用途には、角度エンコーダ、センサー、割り出しテーブル、多角形、光学プリズムの較正などがあります。 赤外線カメラ、衛星カメラ、分光計などの電気光学イメージングセンサーは、ターゲットに視準を合わせた本装置を中心として回転させることで、視野、画素分解能、レンズのゆがみなどのセンサー特性を試験できます。

Internal-MicroARC
機器全体は御影石の精密な機械構造上に構築されていて、パッシブな空気絶縁によって機械基盤と床から分離されています。 カスタム筐体によって、システムは乱気流や頻発する熱変動、周辺光から保護されます。 システムの電子機器は、精密測定エリアに熱や電気ノイズの影響が及ばないように一括梱包されています。

エアベアリング回転主軸

µARCシステムの心臓部には、ナノメートルレベルの誤差運動性能を持つ大きな回転エアベアリング軸の ABRT-400 があります。 この高精度エアベアリング主軸は、周囲の御影石構造のCTE(熱膨張率)と厳密に釣り合うスチール製です。 エアベアリングは、試験中の機器に真空やエア、配電を提供するため、非影響ロータリーユニオンとスリップリングを備えています。 ABRT-400 は高精度測定器、X線回析、タンパク質結晶学、または高精度加工用途における角度標準として使用できます。

主軸精度

µARCシステムはAerotechのA3200モーションコントローラで制御されます。 カスタムメニュー方式のインターフェースによって、ユーザーは検査手順やグラフ/報告書の作成を簡単に制御できるため、機械操作ではなく被検体(DUT)の性能に目を向けることができます。 システムは、単方向または双方向の検証サイクルを複数回実行するよう簡単にプログラムできます。また、動作中に最高8 kHzの速度で位置データを収集して、被検体出力の位置と速度の相関関係をチェックできます。

仕様

角度/回転装置の較正器の仕様

モデルµARC
精度 0.12 arc sec
繰り返し精度 0.08 arc sec
軸方向の誤差運動(同期) <50 nm
半径方向の誤差運動(同期) <75 nm
傾斜誤差運動(同期) <0.1 arc sec
軸方向の誤差運動(非同期) <10 nm
半径方向の誤差運動(非同期) <10 nm
傾斜誤差運動(非同期) 0.01 arc sec
軸方向の耐荷重 200 kg
半径方向の耐荷重 50 kg
スリップリング オプション