ダイレクトドライブオープンアパーチャZステージ

説明

設計の主な特徴

  • ダイレクトドライブ
  • 移動量5 mm(ご要望に応じてその他の移動量も提供いたします)
  • 100 mm x 100 mmのオープンアパーチャ