真空中のイオンビームプロファイル分析

説明

設計の主な特徴

  • 通気ハードウェア、特殊潤滑剤、およびテフロン®ケーブルを備えた、深型真空(10-6トール) 6軸システム
  • 高精度、長移動量、液冷式リニアモーター駆動のx-y
  • ダイレクト軸上ロータリーエンコーダ位置フィードバック搭載の高精度2軸ジンバル
  • 3次スプラインコンタリングプロファイル搭載の完全同期した6軸の同時動作