液冷式、真空処理システム

説明

設計の主な特徴

  • ヘビーデューティ10-6トールの真空処理
  • スムーズなスキャン動作と高出力向けの液冷式リニアモータードライブ
  • リニアエンコーダフィードバックによって長移動量における高精度を実現