FiberAlignFA95e/FA130eシリーズダイレクトドライブ多軸光学アライメントシステム

説明

設計の主な特徴

  • 3~6軸光学アライメント
  • 高分解能(2 nm)、繰り返し精度 (100nm)、精度(300nm)
  • クリープ防止クロスローラーベアリング
  • 非接触ダイレクトドライブリニアモーター
  • ダイレクトドライブの回転/ゴニオメーターオプション
  • ラスター/スパイラル/出力ピーキングアルゴリズム
  • 業界標準の電力計に接続するインターフェース

はじめに

機能を強化したAerotechのFiberAlign® FAeシリーズは、クラス最高のドライブと最先端の軸制御技術が組み込まれた最新の高性能フォトニクスアライメントシステムです。 初代FiberAlignシステムでの成功を基に、精度の向上とステップサイズの縮小を達成しました。 モジュラーデザインによって、高速、高分解能、高精度を維持しながら用途に合致した軸数、移動量、耐荷重の選択を可能にしています。

自動化生産

より高いアライメント精度や生産性が求められ、デバイス量も増加するにつれ、高精度で高信頼性のある繰り返し可能なモーションシステムの必要性はますます重要になっています。 また、コンポーネントや製造工程は非常に変化が激しく、システム構成の柔軟性は必須です。 AerotechのFAeシリーズはこうした要件をすべて満たして対応します。 強固なシステムコンポーネントを選び抜き、数十年に及ぶ精密モーションの経験によって、24時間態勢の製造環境における大容量生産を実現しました。

高度なドライブ技術

高精度デバイスの大量生産に必要な、堅牢で正確かつ高速、高分解能の位置決め性能を提供するのは、非接触ダイレクトドライブ技術しかありません。 弊社の最先端ドライブ技術は、業界トップの分解能と最大160 mmの移動量、最高200 mm/sの位置決め速度を組み合わせて提供しています。 超静音のリニアドライブと高度なコントロール技術を活用し、FAeシリーズは、最も優れた位置の繰り返し精度、精度、インポジション安定性を提供して、モーションシステムの高生産性要件を満たします。

高速ビジョンアライメントとパワースキャンアルゴリズム

包括的なソフトウェアツールキットにより、頻繁に使用される機能へのアクセスが簡単です。 電力計入力からの山登り法やラスター/方形/円形スパイラルスキャンのようなアライメント機能は、標準機能として簡単に実行できます。 自動ツールに加えて、ジョイスティックと画面上のジョグ制御はどちらも手動操作時に使用できます。

FA95eとFA130e - 使用環境に合わせて選択

フォトニクス製造業界における位置決めおよび加工の継続的なニーズを満たすため、弊社ではFA95eならびにFA130eをご提供しています。 3軸の基本モデルは、どちらも軸を追加することで、次の6軸のモーション制御要件を満たすことができます: X、Y、Z、T (ヨー)、P (ピッチ)、R (ロール)。

FA95eはより小型のモデル(FA130eの体積の1/3)であり、スペースに限りがある場合に最適です。 軸を追加することで、高分解能かつ高精度の回転運動を提供します。

ヨーイングはAerotechのANT95-Rダイレクトドライブと高分解能ロータリーアクチュエータが提供し、ピッチング/ローリングはAerotechの高度なANT-20Gシリーズダイレクトドライブと高分解能ゴニオメーターが提供します。 回転デバイスは、業界トップのステップ分解能0.01秒角によって20°の角度範囲を実現します。

FA130eは、FA95eと似た構造ですが、安全運行範囲がやや大きく、より多くの移動量と可搬重量を備えています。 X軸とY軸の移動量は、最大160 mmまで選択可能です。

さらにFA130eは、ANT95-R回転アクチュエータとANT-20Gゴニオメーターを組み合わせると、最大6軸のモーションコントロールが実現します。

仕様

FA95eシリーズの仕様

機械的仕様FA95e-25XY-25ZFA95e-25XY-50ZFA95e-50XY-25ZFA95e-50XY-50Z
軸数 25 x 25 x 25 mm 25 x 25 x 50 mm 50 x 50 x 25 mm 50 x 50 x 50 mm
精度(1) XY 標準 ±2.5 µm
Plus ±250 nm
Z 標準 ±4 µm
Plus ±300 nm
分解能
(最小限インクリメンタル運動)(1)
2 nm
繰り返し精度
(双方向)(1)
±100 nm
直交性 XY 標準 10 arc-sec
Plus 3 arc-sec
ZからXY 標準 10 arc-sec
Plus 10 arc-sec
最大速度(2) 200 mm/s
インポジション安定性(3) <2 nm
最大力(連続) XY 7.75 N 7.75 N 9.5 N 9.5 N
Z 7.75 N 9.5 N 7.75 N 9.5 N
耐荷重 3.0 kg 3.0 kg 5.0 kg 5.0 kg
移動質量 XY (下軸) 3.0 kg 3.7 kg 4.0 kg 4.6 kg
XY (上軸) 2.4 kg 3.0 kg 2.7 kg 3.3 kg
Z 0.46 kg 0.46 kg 0.52 kg 0.52 kg
ステージ質量 3.7 kg 4.3 kg 5.1 kg 5.7 kg
材料 アルミ製本体、黒色の硬質皮膜加工
MTBF (平均
故障間隔)
20,000時間
  1. 記載値は軸ごとの値です。
  2. 十分な電圧・電流を備えた適切なアンプを選択する必要があります。
  3. インポジション安定性は3シグマ値です。
  4. Z軸カウンターバランス空気供給は清潔に保ち、乾燥させ、フィルターを適用して0.25 µm以下に抑える必要があります。 純度99.9%の窒素ガスを推奨します。 供給圧力はステージへのペイロード量によって決まります。
  5. -PLUSはAerotechコントローラを使用する必要があります。

電気的特性FA95e-XY-Z
ドライブシステム ブラシレスリニアサーボモーター
フィードバック 非接触リニアエンコーダ
最大バス電圧 DC ±40V
リミットスイッチ 5V、通常閉
ホームスイッチ 移動量の中央近く

推奨コントローラFA95e-XY-Z
多軸 A3200 Npaq-MXR
Npaq MR-MXR
Ndrive ML-MXH
Ensemble Epaq-MXH
Epaq MR-MXH
Ensemble ML-MXH
単軸 Soloist Soloist ML-MXH
  1. 記載される仕様を満たすには、リニアアンプが必要です。 その他のオプションもあります。

FA130eシリーズの仕様

    機械的仕様FA130e-60XY-35ZFA130e-60XY-60ZFA130e-110XY-35ZFA130e-110XY-60Z
    軸数 60 x 60 x 35 mm 60 x 60 x 60 mm 110x 110 x 35 mm 110 x 110 x 60 mm
    精度(1) XY 標準 ±2.5 µm ±2.5 µm ±4.0 µm ±4.0 µm
    Plus ±250 nm ±250 nm ±300 nm ±300 nm
    Z 標準 ±3 µm
    Plus ±300 nm
    分解能
    (最小限インクリメンタル運動)(1)
    2 nm
    繰り返し精度
    (双方向)(1)
    ±100 nm
    直交性 XY 標準 10 arc-sec
    Plus 3 arc-sec
    ZからXY 標準 10 arc-sec
    Plus 10 arc-sec
    最大速度(2) 200 mm/s
    インポジション安定性(3) <2 nm
    最大力(連続) XY 23 N
    Z 23 N
    耐荷重 8.0 kg
    移動質量 XY (下軸) 8.5 kg 9.4 kg 10.0 kg 10.9 kg
    XY (上軸) 5.8 kg 6.7 kg 6.4 kg 7.3 kg
    Z 1.2 kg 1.4 kg 1.2 kg 1.4 kg
    ステージ質量 9.8 kg 10.7 kg 11.7 kg 12.6 kg
    材料 アルミ製本体、黒色の硬質皮膜加工
    MTBF (平均
    故障間隔)
    20,000時間
    1. 記載値は軸ごとの値です。
    2. 十分な電圧・電流を備えた適切なアンプを選択する必要があります。
    3. インポジション安定性は3シグマ値です。
    4. Z軸カウンターバランス空気供給は清潔に保ち、乾燥させ、フィルターを適用して0.25 µm以下に抑える必要があります。 純度99.9%の窒素ガスを推奨します。 供給圧力はステージへのペイロード量によって決まります。
    5. -PLUSはAerotechコントローラを使用する必要があります。

    機械的仕様FA130e-160XY-35ZFA130e-160XY-60Z
    軸数 160 x 160 x 35 mm 160 x 160 x 60 mm
    精度(1) XY 標準 ±5.0 µm ±5.0 µm
    Plus ±300 nm
    Z 標準 ±3 µm
    Plus ±300 nm
    分解能
    (最小限インクリメンタル運動)(1)
    2 nm
    繰り返し精度
    (双方向)(1)
    ±100 nm
    直交性 XY 標準 10 arc-sec
    Plus 3 arc-sec
    ZからXY 標準 10 arc-sec
    Plus 10 arc-sec
    最大速度(2) 200 mm/s
    インポジション安定性(3) <2 nm
    最大力(連続) XY 23 N
    Z 23 N
    耐荷重 8.0 kg
    移動質量 XY (下軸) 11.2 kg 12.1 kg
    XY (上軸) 6.7 kg 7.6 kg
    Z 1.2 kg 1.4 kg
    ステージ質量 13.2 kg 14.1 kg
    材料 アルミ製本体、黒色の硬質皮膜加工
    MTBF (平均
    故障間隔)
    20,000時間
    1. 記載値は軸ごとの値です。
    2. 十分な電圧・電流を備えた適切なアンプを選択する必要があります。
    3. インポジション安定性は3シグマ値です。
    4. Z軸カウンターバランス空気供給は清潔に保ち、乾燥させ、フィルターを適用して0.25 µm以下に抑える必要があります。 純度99.9%の窒素ガスを推奨します。 供給圧力はステージへのペイロード量によって決まります。
    5. -PLUSはAerotechコントローラを使用する必要があります。

    電気的特性FA130e-XY-Z
    ドライブシステム ブラシレスリニアサーボモーター
    フィードバック 非接触リニアエンコーダ
    最大バス電圧 DC ±40V
    リミットスイッチ 5V、通常閉
    ホームスイッチ 移動量の中央近く

    注: 長期間にわたって仕様を確実に達成し繰り返し精度を確保するため、環境温度は24時間、0.25°C以内に制御する必要があります。 これが無理な場合は、代替製品が使用できます。 Aerotechにお問い合わせください。


    推奨コントローラFA130e-XY-Z
    多軸 A3200 Npaq-MXR
    Npaq MR-MXR
    Ndrive ML-MXH
    Ensemble Epaq-MXH
    Epaq MR-MXH
    Ensemble ML-MXH
    単軸 Soloist Soloist ML-MXH

    寸法

    注文情報

    FA95eシリーズ注文例

    FA95e -25XY -25Z -RH -T -A -PLUS

    注文オプション

    シリーズ XY軸Z軸Z軸ケーブル出口オプションの回転軸軸の定位置精度等級
    FA95e -25XY
    -50XY
    -25Z -RH
    -LH
    -T
    -P
    -R
    -A
    -B
    -C
    -PLUS

    FA95eダイレクトドライブ多軸光学アライメントシステム

    オプション 説明
    FA95e 独自のダイレクトドライブモーター技術で、リニアエンコーダベースのファイバー並進器。XYZ軸は精度10秒角で直交。

    XY軸

    オプション 説明
    -25XY XY軸の移動量25 mm x 25 mm
    -50XY XY軸の移動量50 mm x 50 mm

    Z軸

    オプション 説明
    -25Z Z軸の移動量25mm

     

    Z軸ケーブル出口

    オプション 説明
    -RH Z軸の右側ケーブル出口
    -LH Z軸の左側ケーブル出口

    オプションの回転軸

    オプション 説明
    軸の定位置は下軸から上軸へX、Y、Zの順番。 Xが最下軸、Yが中央軸、Zが最上軸(垂直軸)です。
    -T ヨーとしての回転単軸、Y軸を中心とする回転(ANT95-20-R)
    -P ピッチとしての単軸回転ゴニオメーター、Y軸を中心とする回転(ANT-20G)
    -R ロールとしての単軸回転ゴニオメーター、X軸を中心とする回転(ANT-20G)

    注: ご要望に応じて、その他の軸の組み合わせも可能です。

    軸の定位置

    軸の定位置で使われている文字は、Aerotechの多軸アセンブリ仕様で詳述されている標準のXYZ構成に対応します。 各文字は、最下軸(X)に相対する垂直軸(Z)の定位置を示します。
    -A 裏側にXYケーブル出口。垂直軸のテーブルトップは中央軸(Y)に平行で、前面に向く。
    -B 裏側にXYケーブル出口。垂直軸のテーブルトップは中央軸(X)に平行で、左側に向く。
    -C 裏側にXYケーブル出口。垂直軸のテーブルトップは中央軸(X)に平行で、右側に向く。

    オプションの精度等級

    -PLUS 高精度バージョン

    FA130eの注文例

    FA130e -60XY -35Z -T -A -PLUS

    注文オプション

    シリーズ XY軸Z軸オプションの回転軸軸の定位置精度等級
    FA130e -60XY
    -110XY
    -160XY
    -35Z
    -60z
    -T
    -P
    -R
    -A
    -B
    -C
    -PLUS

    FA130eダイレクトドライブ多軸光学アライメントシステム

    オプション 説明
    FA130e 独自のダイレクトドライブモーター技術で、リニアエンコーダベースのファイバー並進器。XYZ軸は精度10秒角で直交。

    XY軸

    オプション 説明
    -60XY XY軸の移動量60 mm x 60 mm
    -110XY XY軸の移動量100 mm x 100 mm
    -160XY XY軸の移動量160 mm x 100 mm

    Z軸

    オプション 説明
    -35Z Z軸の移動量35mm
    -60Z Z軸の移動量60mm

    オプションの回転軸

    オプション 説明
    軸の定位置は下軸から上軸へX、Y、Zの順番。 Xが最下軸、Yが中央軸、Zが最上軸(垂直軸)です。
    -T ヨーとしての回転単軸、Y軸を中心とする回転(ANT95-20-R)
    -P ピッチとしての単軸回転ゴニオメーター、Y軸を中心とする回転(ANT-20G)
    -R ロールとしての単軸回転ゴニオメーター、X軸を中心とする回転(ANT-20G)

    注: ご要望に応じて、その他の軸の組み合わせも可能です。

    軸の定位置

    オプション 説明
    軸の定位置で使われている文字は、Aerotechの多軸アセンブリ仕様で詳述されている標準のXYZ構成に対応します。 各文字は、最下軸(X)に相対する垂直軸(Z)の定位置を示します。
    -A 裏側にXYケーブル出口。垂直軸のテーブルトップは中央軸(Y)に平行で、前面に向く。
    -B 裏側にXYケーブル出口。垂直軸のテーブルトップは中央軸(X)に平行で、左側に向く。
    -C 裏側にXYケーブル出口。垂直軸のテーブルトップは中央軸(X)に平行で、右側に向く。

    オプションの精度等級

    -PLUS 高精度バージョン