FiberGlide 3D光ファイバーポジショナー

説明

設計の主な特徴

  • 高性能な光学アライメントおよびアセンブリ向けに特化した設計
  • リニアエンコーダフィードバックが最大2 nmの分解能を実現
  • Automation 3200との併用で62ピコメートルの分解能が達成可能
  • 完全与圧済みのエアベアリング
  • 完全な非接触設計
  • 極めて滑らかな速度制御

FiberGlide 3Dシリーズは、市場に出回っている中で最高の性能を誇る3軸極小エアベアリングステージです。 Aerotechでは、30年以上にわたる精密モーションコントロールと位置決めシステムの経験を最新技術と組み合わせ、実にすばらしい極小リニアエアベアリングステージを作成しました。

リニアステージ

リニアポジショナーは完全に与圧済みの非接触設計です。 摩擦なしのエアベアリングは、本質的に、精密用途において標準であるということが証明されています。そこでAerotechは、フォトニクス産業に適した極小バージョンを作成しました。 非接触リニアブラシレスサーボモーターを駆動力としており、精密で微細なステップを必要とする用途でも、滑らかな一定速度が必要な用途であっても、このステージが究極のソリューションであることが分かります。 長年の研究によって、強固で揺るぎないケーブル管理システムとして実を結びました。

フィードバックおよびコントロールシステム

直接連結した非接触リニアエンコーダ位置フィードバックには、さまざまなオプションが用意されています。 広範にわたる最新鋭のコントローラは、デジタルドライブを搭載し、Automation 3200ソフトウェアコントローラを備えています。

オプション

すべてのシステムには便利なラックまたはパネルマウントアンプが装備されています。 Aerotechの専門技術スタッフはカスタムシステム設計の経験が豊富であり、お客様とともに個々の用途ニーズに合わせたシステムを構築します。

クリーンルーム互換性

エアベアリングデザインは本質的にクリーンルーム対応です。 質の高いケーブル管理システムと微粒子発生が少ない材料により、的確な統合でクラス1準拠を実現します。

仕様

FiberGlide 3Dの仕様

モデルFiberGlide 3D
総移動量 25 mm 50 mm 100 mm 150 mm
ドライブシステム リニアブラシレスサーボモーター
バス電圧 最大DC 160 V
連続電流 Apk 最大2.9 A
Arms 最大2.1 A
BEMF、ライン-ライン、最大 V/m/sec 3.77952
V/in/sec 0.096
力定数、
正弦波ドライブ
N/A (lb/A), pk 3.29 (0.739)
N/A (lb/A), rms 4.65 (1.04)
抵抗、25°C、
ライン-ライン
オーム数 5.2
抵抗、125°C、
ライン-ライン
オーム数 7.28
インダクタンス、
ライン-ライン
mH 0.7
磁極ピッチ mm (inch) 16 (0.63)
フィードバック 非接触リニアエンコーダ
分解能 LN 1 nm
LT 5 nm
最大移動速度(1) 300 mm/s
最大リニア加速度 1 g -10 m/s2 (無荷重)
最大荷重 5.0 kg
精度 LN ±0.2 µm(2)
±1 µm
±0.2 µm(2)
±1 µm
±0.2 µm(2)
±2 µm
±0.5 µm(2)
±5 µm
LT ±0.3 µm(2)
±2 µm
±0.3 µm(2)
±2 µm
±0.3 µm(2)
±5 µm
±0.5 µm(2)
±5 µm
繰り返し精度 LN(2) ±50 nm
LT ±50 nm(2)。 ±100 nm
直線性および平坦性(3) ±0.25 µm ±0.25 µm ±0.4 µm ±0.4 µm
ピッチおよびヨー ±0.25 arc
sec/25 mm
±0.25 arc
sec/25 mm
±0.25 arc
sec/25 mm
±1.5 arc
sec/25 mm
公称ステージ重量 4.5 kg 5.5 kg 6.4 kg 12.7 kg
移動質量 1.9 kg 4.8 kg
動作圧力(4) 80 psi ±5 psi
空気消費量(5)(6) 80 psiで53.1 SLPM
構造 アルミ製本体/硬質皮膜加工
  1. 最大速度はステージ性能に基づいています。最大適用速度は、システムのデータ速度や分解能によって制限されることがあります。
  2. Aerotechの制御とHALオプションを使用した値。
  3. ステージ面マウントの平坦性に従属。
  4. エアベアリングを圧力不足から保護するにはインライン圧力スイッチが必要であり、コントローラESTOP入力に連結されています。
  5. 空気供給は清潔に保ち、露点温度0°F(-17.78°C)まで乾燥させ、フィルターを適用して0.25 µm以下に抑える必要があります。純度99.99%の窒素ガスを推奨します。
  6. 3軸システムの最大予測空気消費量。

寸法

注文情報

注文例

FG1000-3D -100 -LT

注文オプション

シリーズ 移動量(mm) フィードバック
FA130US -25
-50
-100
-150
-LT
-LN
-LT/lower
-LN/lower
-LT/upper
-LN/upper
-LT/vertical
-LN/vertical

FiberGlide 1000シリーズ光学アライメント/アセンブリシステム

オプション 説明
FG1000-3D リニアエアベアリングポジショナー

リニアステージ移動(Z、X、Y)

オプション 説明
-25* 25 mm (1 in)リニアモーター付き移動ステージ
-50 50 mm (2 in)リニアモーター付き移動ステージ
-100 100 mm (4 in)リニアモーター付き移動ステージ
-150** 150 mm (6 in)リニアモーター付き移動ステージ
*-25は、-150を下軸とするXY構成でのみ使用可能
**-150は、-150を下軸とする上のXY軸としてのみ使用可能
***Z軸は-25のみ

フィードバック

オプション 説明
-LT リニアエンコーダフィードバック(分解能10 nm)、増幅正弦波出力
-LN 高精度リニアエンコーダフィードバック(分解能2 nm)、増幅正弦波出力
-LT/lower 下軸ケーブル管理付きLTオプション
-LN/lower 下軸ケーブル管理付きLNオプション
-LT/upper 上軸ケーブル管理付きLTオプション
-LN/upper 上軸ケーブル管理付きLNオプション
-LT/vertical 垂直軸ケーブル管理付きLTオプション
-LN/vertical 垂直軸ケーブル管理付きLNオプション