FiberGrate 2000光ファイバーサブシステム

説明

設計の主な特徴

  • 完全与圧済みのエアベアリング
  • 高度なAutomation 3200 PCベースコントローラ
  • 低ノイズリニアアンプ
  • 完全な非接触設計
  • 御影石の土台、オプションとして振動絶縁システム、レーザー干渉計フィードバックを装備可能
  • 超精密速度制御

FiberGrate® は高精度かつ高性能のモーションサブシステムで、ファイバーブラッググレーティング(FBG)の製造のために特別設計されています。 柔軟なワークスペースにより、各製造会社のニーズに合わせてシステムが最適化されます。

FiberGrateは、エンドユーザー統合を必要としないシングルソースのモーションソリューションをはじめとした豊富な製品を取り揃える唯一のメーカーである弊社の大躍進の結実です。 Aerotechのモーションコントロールの専門家が全コンポーネントの設計と製造を行った完全に最適化されたソリューションです。

リニアステージ

リニアポジショナーはAerotechのABL2000シリーズリニアエアベアリングを基にしており、完全に与圧済みの非接触設計です。 摩擦なしのエアベアリングは、本質的に、精密用途において標準であるということが証明されています。 非接触リニアブラシレスサーボモーターを駆動力としており、精密で微細なステップを必要とする用途でも、滑らかな一定速度が必要な用途であっても、このステージが究極のソリューションであることが分かります。 長年の研究によって、強固で揺るぎないケーブル管理システムとして実を結びました。 ハイフレックスリボンケーブルによって、長期間のメンテナンスフリー操作を実現します。

フィードバックおよびコントロールシステム

Aerotechのオプションレーザー干渉計フィードバックは、高い安定性と分解能(0.3 nm)フィードバックを提供します。 AerotechのAutomation 3200シリーズコントローラで使用できるように特別設計され、干渉計と制御システムのインターフェースはシームレスです。 レーザーは、アッベ誤差をなくすためにファイバーとマスクの高さに配置され、優れた精度を実現します。 要件があまり厳しくない用途には、2種類の非接触リニアエンコーダをご用意しています。 広範にわたる最新鋭のコントローラをご利用いただけます。 オプションは、独立型単軸コントローラから、32軸同期モーションコントロールを可能にするAutomation 3200ソフトウェア限定コントローラまでさまざまです。 Aerotechのコントローラはすべて、位置同期出力パルスを発してレーザーを制御します。 さらに、リアルタイムの位置情報をコントローラ上に記録したり、高速パラレル/シリアルインターフェースで読み取ったりできます。

オプション

FiberGrateは標準またはカスタムの御影石ならびに振動絶縁システムで構成することができます。 割出軸を追加したり、コントロールシステムやドライブシステムと簡単に結合したりできます。 すべてのシステムには便利なラックまたはパネルマウントアンプが装備されています。 また、お使いのケーブル配線を収容できます。

Aerotechの専門技術スタッフはカスタムシステム設計の経験が豊富であり、お客様とともに個々の用途ニーズに合わせたシステムを構築します。

仕様

FiberGrate 2000シリーズの仕様

モデルFG-100FG-200FG-300 FG-400
移動量 100 mm 200 mm 300 mm 400 mm
精度 LT HALAR(1) ±0.5 µm ±0.75 µm
標準 ±4.0 µm ±8.0 µm ±11.5 µm ±14.0 µm
LN HALAR(1) ±0.5 µm ±0.75 µm
標準 ±5.0 µm
レーザー干渉計 標準±10 ppm、補正後±1.5 ppm(2)
LZAS 移動量全体で±0.2 µm N/A N/A
繰り返し精度 LT ±0.2 µm ±0.3 µm
LN ±0.2 µm ±0.3 µm
LZAS ±0.1 µm N/A N/A
直線性および平坦性 最大偏差 ±0.25 µm ±0.40 µm ±0.75 µm ±1.5 µm
ピッチ/ロール/ヨー 1 arc sec 2 arc sec 3 arc sec 4 arc sec
最大速度(3) 2 m/s
最大加速度 2 g (無荷重)
最大荷重(4) 50.0 kg
動作圧力(5) 80 psi ±5 psi
空気消費量(6) 19.8 SLPM (0.7 SCFM) (単軸)
移動質量 9 kg
公称ステージ質量 30.0 kg 34.5 kg 39.5 kg 44.0 kg
材料 アルミ製
仕上げ 硬質皮膜加工(ロックウェル硬さ62)
  1. Aerotechコントローラを使った場合。
  2. 要環境補正。
  3. 最大速度はステージ性能に基づいています。最大適用速度は、システムのデータ速度や分解能によって制限されることがあります。
  4. 最大荷重はベアリング性能に基づいて決まります。最大適用荷重は加速の条件によって制限されることがあります。
  5. エアベアリングを圧力不足から保護するため、モーションコントローラ/アンプESTOP入力に連携するインライン圧力スイッチを推奨します。
  6. 空気供給は清潔に保ち、露点温度0°F(-17.78°C)まで乾燥させ、フィルターを適用して0.25 µm以下に抑える必要があります。純度99.9%の窒素ガスを推奨します。
  7. 仕様は、テーブルトップから25 mm上の単軸システムのものです。 多軸システムの性能はペイロードと作業点によって決まります。 多軸または非標準用途については、工場にご相談ください。
  8. XY構成にABL2000をマウントする場合、上軸の最大長は300 mmです。
モデルFG-500 FG-750 FG-1000 FG-1200
移動量 500 mm 750 mm 1000 mm 1200 mm
精度 LT HALAR(1) ±0.75 µm ±1 µm
標準 ±15.75 µm ±18.5 µm ±20.0 µm ±21.0 µm
LN HALAR(1) ±0.75 µm ±1 µm
標準 ±5.0 µm
レーザー干渉計 標準±10 ppm、補正後±1.5 ppm(2)
繰り返し精度 LT ±0.3 µm ±0.4 µm
LN ±0.3 µm ±0.4 µm
直線性および平坦性 最大偏差 ±2.0 µm ±3.0 µm ±4.0 µm ±5.0 µm
ピッチ/ロール/ヨー 5 arc sec 7.5 arc sec 10 arc sec 12 arc sec
最大速度(3) 2 m/s
最大加速度 2 g (無荷重)
最大荷重(4) 50.0 kg
動作圧力(5) 80 psi ±5 psi
空気消費量(6) 19.8 SLPM (0.7 SCFM) (単軸)
移動質量 9 kg
公称ステージ質量 49.0 kg 61.0 kg 72.5 kg 79.5 kg
材料 アルミ製
仕上げ 硬質皮膜加工(ロックウェル硬さ62)
  1. Aerotechコントローラを使った場合。
  2. 要環境補正。
  3. 最大速度はステージ性能に基づいています。最大適用速度は、システムのデータ速度や分解能によって制限されることがあります。
  4. 最大荷重はベアリング性能に基づいて決まります。最大適用荷重は加速の条件によって制限されることがあります。
  5. エアベアリングを圧力不足から保護するため、モーションコントローラ/アンプESTOP入力に連携するインライン圧力スイッチを推奨します。
  6. 空気供給は清潔に保ち、露点温度0°F(-17.78°C)まで乾燥させ、フィルターを適用して0.25 µm以下に抑える必要があります。純度99.9%の窒素ガスを推奨します。
  7. 仕様は、テーブルトップから25 mm上の単軸システムのものです。 多軸システムの性能はペイロードと作業点によって決まります。 多軸または非標準用途については、工場にご相談ください。
  8. XY構成にABL2000をマウントする場合、上軸の最大長は300 mmです。
  • FiberGate 2000の仕様

寸法

注文情報

注文例

FG2000 -1200 -LN -GRANITE

注文オプション

シリーズ 移動量(mm) フィードバックオプション
FG2000 -100
-200
-300
-400
-500
-750
-1000
-1200

-LN
-LT
-LZAS
-LZR

-GRANITE
-ISOLATION

FiberGrate 2000シリーズのファイバーブラッググレーティングポジショナー

オプション 説明
FG2000 リニアエアベアリングファイバー/マスクポジショナー。

注: クリーンで乾燥した空気供給が必要です。 要インライン圧力不足スイッチ。

リニアステージ移動量

オプション 説明
-100 100 mm (4 in)リニアモーター付き移動ステージ
-200 200 mm (8 in)リニアモーター付き移動ステージ
-300 300 mm (12 in)リニアモーター付き移動ステージ
-400 400 mm (16 in)リニアモーター付き移動ステージ
-500 500 mm (20 in)リニアモーター付き移動ステージ
-750 750 mm (30 in)リニアモーター付き移動ステージ
-1000 1000 mm (40 in)リニアモーター付き移動ステージ
-1200 1200 mm (48 in)リニアモーター付き移動ステージ

フィードバックオプション

オプション 説明
-LNxxAS 高精度リニアエンコーダフィードバック、“xx”は移動量を指定、増幅正弦波出力
-LTxxAS リニアエンコーダフィードバック、“xx”は移動量を指定、増幅正弦波出力
-LZxxAS 高精度/高分解能リニアエンコーダ、“xx”は移動量を指定、増幅正弦波出力
-LZR レーザー干渉計フィードバック。環境補正パッケージを含む

注: 移動量'xx'をcmで指定

コントローラプラットフォーム

オプション 説明
-A3200 Automation 3200ソフトウェア限定コントローラ。リニアアンプ、ケーブル、ソフトウェアを含む

仕様は モーションコントローラ セクションをご覧ください。

オプション

オプション 説明
-GRANITE ステージおよびお客様独自の固定治具を収容する御影石。 ユーザー定義の取り付け穴を指定するユーザー承認の図面(ESxxxxx)が必要。
-ISOLATION 振動絶縁システム。 御影石オプションが必要。