MaskAlignフォトマスクアライメントシステム

説明

設計の主な特徴

  • 3軸のフォトマスクアライメントステージ
  • 6インチまたは8インチのマスクに標準のインターフェース
  • マスク吸着のために内蔵された真空溝
  • 光学トレインに容易に統合できる薄型設計
  • ダイレクトドライブ ブラシレスサーボモーター

はじめに

MaskAlignシリーズステージは高性能のフォトマスクアライメントシステムで、半導体やフラットパネルの高度な転写システムの厳しい要件に対応するように設計されています。 MaskAlignにはAerotech独自のドライブ技術が搭載され、このクラス最高の速度、分解能、精度、繰り返し精度を提供します。

マスクアライメントと吸着

MaskAlignにはアライメントシステムが内蔵されているため、ほとんど手間をかけずに、適切にマスクが配置できます。 固定ピンによってマスクの位置が設定され、2つの位置決め機構によってマスクが最終的な位置に収まります。 マスクが的確にアライメントされると、内蔵の真空チャンネルによってマスクの位置が保持されます。 こうしたすべての機能によって、転写プロセス中にマスクのアライメントと吸着が適切に行われます。

非接触型ダイレクトドライブ

高精度デバイスの大量生産に必要な、堅牢で正確かつ高速の位置決めを可能にするのは、非接触ダイレクトドライブ技術しかありません。 X軸とY軸にAerotechの ブラシレスリニアモーター を使用し、コギングのない高性能の非接触位置決めを実現します。 θ軸には、世界トップクラスの弊社リニアモーターに基づく独自の曲線モーターを使用しています。 この完全なダイレクトドライブソリューションによって最高の性能を発揮できる堅牢なシステムが確実になります。

高精度位置決め

コンパクトな統合設計には、積み重ねるシステムとは異なった独自の利点があります。全体的な高さが低いため、アッべ誤差も削減されます。 しかも、コンパクトな設計でも、最大150 mmのxyモーション、20°のθモーションを実現します。

MaskAlignでは非常に柔軟なケーブル管理システム(CMS)が使用されています。 水平方向のCMSにより曲げ半径が大きくなり、ケーブルの寿命が大幅に長持ちするだけでなく、システム全体の高さを最小限に抑えることができます。 また、相互接続が簡単で分かりやすくなっています。 電気およびエアのコネクタを使いやすい一か所にまとめるブラケットによってシステムが構成されています。

堅牢な設計

Aerotechには、モーションコントロールと位置決めコンポーネント、および完全な位置決めシステムを設計し構築してきた長い実績があります。 この知識を各コンポーネントとシステムに応用した結果、製造環境で長年にわたって機能し続ける堅牢な設計が生まれています。

柔軟な構成とカスタムデザイン

Aerotechは広範な サーボアンプ高度なコントローラ を製造し、完全な統合パッケージを提供しています。 それだけでなく、お客様の仕様に合わせたカスタムシステムの設計、製造、試験、認定も日常的に行っております。

仕様

MaskAlignの仕様

MaskAlign 100軸1(X)
リニア上軸
軸2(Y)
リニア下軸
軸3 (θ)
移動量 100 mm (上軸) 100 mm (下軸) 20°
アパーチャ 120 mm正方形、XYステージは移動範囲の中間点。70 mm正方形、XYステージは移動範囲内
精度(1) ±1 µm ±1 µm ±1.5 arc sec
繰り返し精度(1) ±0.5 µm ±0.5 µm ±0.5 arc sec
直線性 ±1.5 µm ±1.5 µm N/A
平坦性 ±1.5 µm ±1.5 µm N/A
ピッチ(arc sec) ±4 arc sec ±4 arc sec N/A
ヨー(arc sec) ±4 arc sec ±4 arc sec N/A
最大荷重 2 kg
XY直交性 5 arc sec
移動質量 8.8 kg 14.6 kg 該当なし
ステージ質量 19 kg

  1. Aerotechのコントロールを使用し、較正を行った値。
MaskAlign 150軸1(X)
リニア上軸
軸2(Y)
リニア下軸
軸3 (θ)
移動量 150 mm (上軸) 150 mm (下軸) 20°
アパーチャ 170 mm正方形、XYステージは移動範囲の中間点。70 mm正方形、XYステージは移動範囲内
モータータイプ BLMUC-111-A (単一モーター) BLMUC-143-A (単一モーター) カスタム BLMUC-111-A (曲線)
精度(1) ±1 µm ±1 µm ±1.5 arc sec
繰り返し精度(1) ±0.5 µm ±0.5 µm ±0.5 arc sec
直線性 ±2.5 µm ±2.5 µm N/A
平坦性 ±2.5 µm ±2.5 µm N/A
ピッチ(arc sec) ±6 arc sec ±6 arc sec N/A
ヨー(arc sec) ±6 arc sec ±6 arc sec N/A
最大荷重 5 kg
XY直交性 5 arc sec
移動質量 9.2 kg 15.7 kg N/A
ステージ質量 22 kg

  1. Aerotechのコントロールを使用し、較正を行った値。

寸法

  • MaskAlign 100(MaskAlign 150の寸法については、工場にお問い合わせください)
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注文情報

MaskAlignフォトマスクアライメントシステム

MaskAlign 100 Mask Translator

オプション 説明
MaskAlign ダイレクトドライブXYTマスクアライメントステージ

移動量(必須)

オプション 説明
-100 XYの移動量100 mm
-150 XYの移動量150 mm

リミット(必須)

オプション 説明
-LI1 通常閉の移動終了リミットスイッチ(標準)
-LI2 通常開の移動終了リミットスイッチ

統合(必須)

Aerotechは、標準とカスタムの両方の統合サービスを提供し、お客様のシステムをできるだけ早く完全に運用できるよう支援します。 このシステムでは、次の標準統合オプションを使用できます。 必要な統合レベルがわからない場合、または御社のシステムにカスタム統合サポートが必要な場合は、Aerotechにご相談ください。

オプション 説明
-TAS 統合 - システムとしてテスト
一緒に使用される完全なシステム(例: ドライブ、コントローラ、ステージ)として、コンポーネントグループのテスト、統合、および文書化を行います。 これには、パラメータファイルの生成、システムチューニング、およびシステム構成の文書化が含まれます。
-TAC 統合 - コンポーネントとしてテスト
個々のアイテムを一緒に出荷される個別のコンポーネントとしてテストおよび統合します。 これは通常、スペアパーツ、交換部品、または一緒に使用されないアイテムに使用されます。 こうしたコンポーネントは、より大きいシステムの一部である場合もあればそうでない場合もあります。