SMP表面測定モーションプラットフォーム

説明

SMPは、表面測定用途のモーションプラットフォームを提供するために特別設計した完全な多軸モーションシステムです。 2Dおよび3Dのコンタリングでの高い柔軟性、およびナノメートルの分解能による高い精度を提供し、処理時間を大幅に削減するよう最適化され、設置場所をほとんど取りません。 詳細については、 完全製品情報シート を参照してください。

SMPの利点


高い柔軟性

  • 2Dおよび3Dのコンタリング
  • 球体、非球体、円形などの形状測定(用途例としては、精密光学部品の測定など)
  • スキャンまたはポイントツーポイントモーションのプロファイル
  • 多数の構成を提供
  • モーションとセンサーコントローラの間の一般的な高速電気的インターフェース
  • 白色干渉計または多波長干渉計、カメラシステム、容量性プローブなどの広範なセンサーを統合できるオープンアーキテクチャのソフトウェア
  • 使いやすい高度なモーションアルゴリズムによる容易なモーションプロファイル生成

高い精度

  • 低ナノメートル範囲での軸の繰り返し精度
  • ナノメートルレベルでの最小インクリメンタル運動(分解能)
  • 低速度でも超スムーズモーション
  • プロセス時間の削減
  • 従来のデカルトシステムに比べて、測定時間を最大40%短縮
  • モーションとセンサーコントロール間のリアルタイムの通信によって、位置データを同期測定
  • 測定中の高速データアクセスと高度なデータ管理

最小の設置場所

  • デカルトシステムに比べて、60%小さい設置面積

一般的な表面測定用途



SMP-Common-Surface-Measurem


smp-320-420

仕様

SMP220の軸ごとの仕様

C RR Z (オプション) TT (オプション)
分解能 0.08 arc sec 1 nm 2 nm 0.01 arc sec
精度 ±2 arc sec ±0.3 µm ±0.5 µm 3 arc sec
繰り返し精度 <1 arc sec ±75 nm ±100 nm 1.5 arc sec
直線性 -------------- ±1.0 µm ±1 µm --------------
平坦性 -------------- ±1.0 µm ±1 µm --------------
軸誤差 <100 nm -------------- -------------- --------------
半径誤差 <250 nm -------------- -------------- --------------
傾斜誤差 <0.7 arc sec -------------- -------------- --------------
移動量 360°連続 110 mm 50 mm 180°
最大速度 1800°/s 350 mm/s 200 mm/s 120°/s

最大部品寸法/質量 直径220 mm、12 kg
最大センサー質量 1.5 kg
センサーモーション軸(RR、Z、TT) 全センサー軸はダイレクトドライブ、ブラシレスモーター駆動サーボ軸
部品モーション軸(C軸) 360°連続回転、Aerotech製高精度ロータリーエアベアリング

SMP320の軸ごとの仕様

C RR Z (オプション) TT (オプション)
分解能 0.01 arc sec 1 nm 2 nm 0.01 arc sec
精度 ±2 arc sec ±0.5 µm ±0.5 µm 3 arc sec
繰り返し精度 <1 arc sec ±100 nm ±100 nm 1.5 arc sec
直線性 -------------- ±0.5 µm ±1 µm --------------
平坦性 -------------- ±0.5 µm ±1 µm --------------
軸誤差 <100 nm -------------- -------------- --------------
半径誤差 <250 nm -------------- -------------- --------------
傾斜誤差 <0.5 arc sec -------------- -------------- --------------
移動量 360°連続 150 mm 50 mm 180°
最大速度 3000°/s 300 mm/s 200 mm/s 120°/s

最大部品寸法/質量 直径320 mm、12 kg
最大センサー質量 1.5 kg
センサーモーション軸(RR、Z、TT) 全センサー軸はダイレクトドライブ、ブラシレスモーター駆動サーボ軸
部品モーション軸(C軸) 360°連続回転、Aerotech製高精度ロータリーエアベアリング

SMP420の軸ごとの仕様

C RR Z (オプション) TT (オプション)
分解能 0.005 arc sec 1 nm 1 nm 0.01 arc sec
精度 ±2 arc sec ±200 nm ±0.5 µm 3 arc sec
繰り返し精度 <1 arc sec ±125 nm ±100 nm 1.5 arc sec
直線性 -------------- ±1.5 µm ±2.5 µm --------------
平坦性 -------------- ±1.5 µm ±2.5 µm --------------
軸誤差 <100 nm -------------- -------------- --------------
半径誤差 <250 nm -------------- -------------- --------------
傾斜誤差 <0.5 arc sec -------------- -------------- --------------
移動量 360°連続 260 mm 100 mm 180°
最大速度 3000°/s 500 mm/s 200 mm/s 120°/s

最大部品寸法/質量 直径420 mm、97kg
最大センサー質量 1.5 kg
センサーモーション軸(RR、Z、TT) 全センサー軸はダイレクトドライブ、ブラシレスモーター駆動サーボ軸
部品モーション軸(C軸) 360°連続回転、Aerotech製高精度ロータリーエアベアリング

軸の用語例

  • SMPと軸

寸法

  • SMP220
  • SMP320
  • SMP420

注文情報

SMPの注文情報については、Aerotechの応用エンジニアまでご連絡ください。