ウェハーチャック

説明

設計の主な特徴

  • 200、300、450 mmのウェハー、レチクル、薄型パネルディスプレイ用チャック
  • 硬質皮膜加工および無電解ニッケルなどの多様な仕上げ
  • 10ミクロンの平坦性(標準の300 mmウェハーチャックに基づく)
  • カスタム設計も提供可能

システム開発を簡素化しコストを削減するため、Aerotechでは高精度のカスタム設計チャックを製造/統合しています。 カスタム設計には、200 mmと300 mmのシリコンウェハー用チャックと、レチクルや薄型パネルなどの基板用のチャックがあります。 Aerotechは、業界をリードする製造能力によって、平坦性10 µmの真空チャック(標準の300 mmウェハーチャックに基づく)を製造しています。 水平化機構やウェハーの積み卸し装置を設計に組み込むことができます。 さらに、経験豊富な当社のエンジニアが、ほぼすべてのロボットアーム構成と連動するようにチャックを設計できます。 御社の統合カスタムチャックソリューションについては、コストを抑えて高い精度で迅速な開発を行えるように、Aerotechまでご相談ください。

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寸法

注文情報

ウェハーチャックの注文情報については、Aerotechの応用エンジニアまでご連絡ください。