ABS2000ダイレクトドライブスピンドル

説明

設計の主な特徴

  • 低損失ブラシレスサーボモーター
  • 機器グレードの精度
  • 非接触エアベアリング
  • ISO 1940のG 0.4にバランス調整
  • 高速でサブ秒角分解能
  • カスタム構成も提供可能
  • データストレージ、ウェハー処理、ダイヤモンド旋盤、イメージングに最適
AerotechのABSシリーズダイレクトドライブエアベアリングスピンドルは、データストレージ、ウェハー処理、ダイヤモンド旋盤、またイメージングなどの用途に、優れた角度位置決めと速度制御を提供できるように設計されています。

優れた機械設計
ABS2000は、高精密研磨エアベアリングを活用して、卓越した回転精度と極めて高い剛性を提供します。 この設計は、大きな耐荷重と優れた性能を、広範な操作速度で可能にします。 ABS2000はISO 1940の公差G 0.4にバランス調整されています。

低損失、非影響のダイレクトドライブモーター
カスタム設計のAerotech低損失モーターは、ごくわずかなモーター損失で>0.25 N-m (38 oz-in)の連続トルクを生成し、冷却用のフィンや外付け冷却の必要がなくなります。 非影響のモーター設計がモーターの寄生力を最低限に抑え、非常に高レベルの誤差運動性能を提供します。 このモーターはブラシレスダイレクトドライブモーターのあらゆる利点を提供します。摩耗するブラシがなく、優れた加速度と速度を実現します。

正確な位置決め
<0.1 %の速度リップル、20 nmの非同期誤差運動、そして<100 nmの合計誤差運動により、Aerotechのスピンドルは高精度用途向けに優れた性能を提供します。 高性能のモーターおよびロータリーエンコーダは共有シャフトに直接連結できます。 AerotechのA3200コントローラおよびNpaq®ドライブラックと併用した場合、スピンドルの分解能は速度トレードオフ無しで最大0.05秒角になります。 このためスピンドルは、スピンドル操作とステージ操作の両方を必要とする用途に適しています。

柔軟な構成
さまざまなエンコーダ分解能やオプションの真空供給用ロータリーユニオンが使用可能です。 さらに、機械または真空のチャック構成や接地ボール、光学マウントなどのオプションがあります。 代替品として、さらにトルクの高いモーターもご用意しています。 Aerotechは広範なサーボアンプと高度なコントローラを製造し、完全な統合モーションパッケージを提供しています。

仕様

ABS2000の仕様

基本モデルABS2000
モーター SF75-21-2X
連続電流、停動 Apk 2.25 A
Arms 1.6 A
フィードバック 直接連結されたロータリーエンコーダ
分解能 256~2048 lines/rev、その他のライン数も用意可能
定格速度(1) 6000 rpm
最大荷重 半径方向 66 N
軸方向 178 N
慣性(無負荷) 0.0015 kg·m2
同期誤差運動(2) 半径方向 ‹100 nm
軸方向 ‹100 nm
非同期誤差運動(2) 半径方向 20 nm
軸方向 20 nm
速度リップル 6000 rpmで<0.1%
バランス等級(3) ISO 1940 G 0.4
ベアリングの硬直性 半径方向 50 N/µm
軸方向 140 N/µm
質量 6.0 kg
動作圧力(4) 120 psi
空気消費量(5) <2 SCFM
材料 シャフト スチール
ハウジング アルミ製(スチール製も使用可能)
仕上げ 無電解ニッケルめっきまたは黒の硬質皮膜加工が選択可能
  1. 最大速度はステージ性能に基づいています。最大適用速度は、システムのデータ速度や分解能によって制限されることがあります。
  2. ロータリーユニオンオプションの付いたABS2000の誤差運動に関しては、Aerotechにお問い合わせください。
  3. ISO 1940によれば、「機械的振動 - 硬質ローターの平衡の要求品質」です。
  4. エアベアリングを圧力不足から保護するため、モーションコントローラに連結するインライン圧力スイッチを推奨します。
  5. 空気供給は清潔に保ち、露点温度0°F(-17.78°C)まで乾燥させ、フィルターを適用して0.25 µm以下に抑える必要があります。 純度99.9%の窒素ガスを推奨します。
  • ABS2000誤差運動

寸法

注文情報

注文例

ABS2000 -E6 -RU1 -TAC

ABS2000高速エアベアリングスピンドルオプション

位置トランスデューサーオプション

オプション 説明
-E1 256 ライン/回転の直接連結ロータリーエンコーダ
-E2 512 ライン/回転の直接連結ロータリーエンコーダ
-E3 1000 ライン/回転の直接連結ロータリーエンコーダ
-E4 1024 ライン/回転の直接連結ロータリーエンコーダ
-E5 2000 ライン/回転の直接連結ロータリーエンコーダ
-E6 2048 ライン/回転の直接連結ロータリーエンコーダ

その他のオプション

オプション 説明
-RU1 シングルポートロータリーユニオン

統合(必須)

Aerotechは、標準とカスタムの両方の統合サービスを提供し、お客様のシステムをできるだけ早く完全に運用できるよう支援します。 このシステムでは、次の標準統合オプションを使用できます。 必要な統合レベルがわからない場合、または御社のシステムにカスタム統合サポートが必要な場合は、Aerotechにご相談ください。

オプション 説明
-TAS 統合 - システムとしてテスト
一緒に使用される完全なシステム(例: ドライブ、コントローラ、ステージ)として、コンポーネントグループのテスト、統合、および文書化を行います。 これには、パラメータファイルの生成、システムチューニング、およびシステム構成の文書化が含まれます。
-TAC 統合 - コンポーネントとしてテスト
個々のアイテムを一緒に出荷される個別のコンポーネントとしてテストおよび統合します。 これは通常、スペアパーツ、交換部品、または一緒に使用されないアイテムに使用されます。 こうしたコンポーネントは、より大きいシステムの一部である場合もあればそうでない場合もあります。