ダイレクトドライブナノ位置決めステージ

AerotechのANTシリーズのダイレクトドライブナノ位置決めステージは、リニア、回転、XY、リフト、Z軸で用意できます。 これらの高性能ステージは、クラス最高の電子回路と磁気回路、ユニークなフィードバックテクノロジー、動的軌道管理、特定用途の材料を組み込み、非常にパワフルで使いやすい制御システムです。 結果として、ナノメートルやサブ秒角の分解能と超高精度、25~160 mmの直線移動範囲、20°から無制限の回転移動量という多種多様なリニア、回転、多軸の位置決めシステムを選択いただけます。

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