垂直リフトおよびZ軸のダイレクトドライブ ナノポジショナー

ANTシリーズのリフトおよびZ軸ステージは、独自開発の高度なダイレクトドライブ技術を活用して長い移動量のナノポジショナーにおいて最高レベルの位置決め性能を達成します。 弊社のダイレクトドライブ技術は、ノンコギング、非接触、高速、高分解能、そして高精度です。 容易なシステム統合を可能にする取り付けおよびテーブルトップのユニバーサルパターンを備えています。

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