AirLift115エアベアリングリフトステージ

説明

設計の主な特徴

  • 独自のZステージデザインに完全与圧済みのエアベアリングを搭載
  • 移動範囲全体で±2秒角以下のロール、ピッチ、ヨー
  • サブミクロン閉ループ位置決め
  • 50~150 mmの移動量オプション
  • 高精密研磨ボールねじドライブによって特殊カウンターバランスの必要性を排除

AerotechのAirLift 115シリーズステージは、移動範囲全体で非常に緊迫した角度性能を維持すると同時に、厳密なZ方向の位置決めを必要とする用途に適したソリューションです。 用途には、半導体ウェハー検査および試験、非接触計測、光学検査システム、レーザー加工などがあります。

独自の設計

AerotechのAirLift 115は、従来のウェッジスタイル垂直リフトステージが持つ最も重大な欠点である角度性能の問題に対処するために設計されました。 ウェッジスタイルZステージは作業面下に設置できるコンパクトなソリューションですが、一般にピッチやロール剛性が限られているため、角度性能も制限されます。 AirLift 115の独特なエアベアリングデザインは、カウンターバランス機構を必要としない革新的なドライブ機構を活用しつつ、より大きな移動量で優れた角度性能を発揮します。

AirLift 115は、次のような用途に直接対応します:

  • 従来のウェッジスタイルZステージには大きすぎる移動量(例えば50 mm)全体で緊密な角度性能が必要
  • 遮られずに作業面が見えることが望ましい
  • 設置面積を最小限に抑えたい
  • 安全確保のためのブレーキが必須

モーターとドライブ

AirLift 115シリーズステージには、AerotechのBMSシリーズブラシレスロータリーモーターが搭載されています。 このモーターはブラシレスモーターのあらゆる利点 – 高加速度、摩耗するブラシがない、低発熱 – を備えつつ、ゼロコギングで優れたスムーズモーションと精度を実現しています。 さらに、Aerotechでは対応するさまざまなドライブやコントロールを製造しているため、完全に統合され最適化されたモーションソリューションを提供できます。

仕様

機械的仕様

モデルAirLift115-050AirLift115-100AirLift115-150
移動量 50 mm 100 mm 150 mm
精度(1) 標準 ±2.0 µm ±4.0 µm ±6.0 µm
較正時 ±1.0 µm ±1.25 µm ±1.5 µm
分解能(最小インクリメンタル運動) 0.05 µm
双方向繰り返し精度(1) ±0.5 µm
直線性(2) ±0.25 µm ±0.35 µm ±0.45 µm
ピッチ(2) ±1 arc sec ±1.25 arc sec ±2 arc sec
ロール(2) ±1 arc sec ±1.25 arc sec ±2 arc sec
ヨー(2) ±1 arc sec ±1.25 arc sec ±2 arc sec
最大速度 5 mm/rev 50 mm/s
最大加速度 0.25 g
耐荷重(3) 垂直 15 kg
動作圧力 80 psi
空気消費量 ≤40 SLPM
材料 アルミ製
MTBF (平均故障間隔) 15,000時間
  1. 各ステージで認定済み。
  2. 仕様は中央に配置された荷重に関する値です。 その他の積み込み構成は仕様に影響します。
  3. 軸積み込みのための軸の定位置が記載されています。
  4. 仕様は、テーブルトップから25 mm上の単軸システムのものです。 多軸システムの性能はペイロードと作業点によって決まります。 多軸または非標準用途については、工場にご相談ください。
  5. エアベアリングを圧力不足の状態から保護するため、モーションコントローラに連結するインライン圧力スイッチは必須です。
  6. 空気供給は清潔に保ち、露点温度0°F(-17.78°C)まで乾燥させ、フィルターを適用して0.25 µm以下に抑える必要があります。

電気的特性

ドライブシステム ブラシレスロータリーサーボモーター
フィードバック 非接触リニアエンコーダ
最大バス電圧 最大DC 160 V
リミットスイッチ 5V、通常閉

推奨コントローラ

多軸 A3200 Ndrive MP/Ndrive CP/Ndrive HLe/Npaq MXR
Ensemble Ensemble MP/Ensemble CP/Ensemble HLe/Epaq
単軸 Soloist Soloist MP/Soloist CP/Soloist HLe
  1. 記載される仕様を満たすには、リニアアンプが必要です。 その他のオプションもあります。
  • AirLift115Spec

寸法

注文情報

AirLift115エアベアリング垂直並進ステージ

移動

オプション 説明
-050 移動量50 mm
-100 移動量100 mm
-150 移動量150 mm

モーター

オプション 説明
-M1 BMS60コネクタとブレーキが付いたブラシレスサーボモーター
-M2 BMS100コネクタとブレーキが付いたブラシレスサーボモーター

モーター定位置

オプション 説明
-MT1 軸モーションに垂直な取り付け面
-MT2 軸モーションに平行な取り付け面

計測

オプション 説明
-PL1 計測、性能プロットで較正なし
-PL2 計測、性能プロットによる較正済み(HALAR)

統合(必須)

Aerotechは、標準とカスタムの両方の統合サービスを提供し、お客様のシステムをできるだけ早く完全に運用できるよう支援します。 このシステムでは、次の標準統合オプションを使用できます。 必要な統合レベルがわからない場合、または御社のシステムにカスタム統合サポートが必要な場合は、Aerotechにご相談ください。

オプション 説明
-TAS 統合 - システムとしてテスト
一緒に使用される完全なシステム(例: ドライブ、コントローラ、ステージ)として、コンポーネントグループのテスト、統合、および文書化を行います。 これには、パラメータファイルの生成、システムチューニング、およびシステム構成の文書化が含まれます。
-TAC 統合 - コンポーネントとしてテスト
個々のアイテムを一緒に出荷される個別のコンポーネントとしてテストおよび統合します。 これは通常、スペアパーツ、交換部品、または一緒に使用されないアイテムに使用されます。 こうしたコンポーネントは、より大きいシステムの一部である場合もあればそうでない場合もあります。