ANT130LZSシリーズ単軸Z薄型ダイレクトドライブナノ位置決めステージ

説明

設計の主な特徴

  • 大規模な移動量(35 mm~160 mm)でナノメートルレベルの性能を発揮
  • ダブルカウンターバランス、薄型デザイン
  • ハイダイナミック、非接触型ダイレクトドライブ
  • クリープ防止クロスローラーベアリング
  • 柔軟なテーブルトップおよび取り付けパターン
  • 高分解能(2 nm)、繰り返し精度 (75 nm)、精度(275 nm)
  • インポジション安定性は2 nm未満

はじめに

AerotechのANTシリーズステージは、25 mmを超える移動量を持つ世界初のナノメートルレベル位置決めシステムです。 垂直軸用途向けに特別設計されたANT130LZSシリーズクロスローラーステージは、速度、分解能、精度、繰り返し精度、信頼性、サイズの組み合わせにおいてクラス最高で、2つの精度等級で提供されています。

ANT130LZSステージはほぼ摩擦ゼロのダブルカウンターバランス機構を使い、モーターの加熱を最小限に抑えつつ性能レベルを維持します。 カウンターバランスは0~14 kgの間でユーザーが調節可能です。 ダブルカウンターバランスデザインによって全体的なステージの高さを最小限に抑え、直線性や角度誤差に悪影響を及ぼすカウンターバランス設計によって加えられる軸外のモーメントを排除します。 結果として、位置決め性能と幾何学的性能が、カウンターバランスを使用しないANTステージとほぼ同等です。

非接触型ダイレクトドライブ

高精度デバイスの大量生産に必要な、堅牢で正確かつ高速の位置決めを可能にするのは、非接触ダイレクトドライブ技術です。 ANT130LZSステージは、独自開発の高度なダイレクトドライブ技術を活用し、高精度位置決め、ディスクドライブ製造、ファイバーアライメント、光学遅延エレメントアクチュエーション、センサーテスト、スキャンプロセスといった滑らかで精密な動きを必要とする多くの用途で最高レベルの性能を達成します。

柔軟なシステム設計

ANT130LZSシリーズは、容易なシステム統合を計算にいれて、取り付けおよびテーブルトップのユニバーサルパターンを備えています。 2軸、3軸、またはそれ以上の軸を簡単に組み合わせることができ、柔軟なシステム設計と多軸構成が可能です。

システムの特徴

優れた精度や位置繰り返し精度、インポジション安定性は、小さな最小インクリメンタル運動(機械的分解能)を必要とします。 業界トップの2 nmの最小インクリメンタルステップサイズを備えるANT130LZSステージは、この高レベルの性能を可能にします。 優れたインポジション安定性は、質の高いクリープ防止クロスローラーベアリングに支えられています。 ステージは、製品の耐用期間中ほぼメンテナンス不要の運転が可能です。 弊社のダイレクトドライブテクノロジーにはヒステリシスもバックラッシュもないため、正確で繰り返し可能なナノメートルスケールのモーションを実現します。

仕様

ANT130LZSシリーズの仕様

 ANT130LZS-035ANT130LZS-060
移動量 35 mm 60 mm
精度(1) 台座 ±2.5 µm ±2.5 µm
PLUS ±275 nm ±275 nm
分解能(最小インクリメンタル運動) 2 nm
繰り返し精度(双方向)(1) 台座 ±100 nm ±100 nm
PLUS ±75 nm ±75 nm
位置繰り返し精度(単方向) ±35 nm
直線性(1) ±1.5 µm
平坦性(1) ±1.5 µm
ピッチ 10 arc sec
ロール 10 arc sec
ヨー 5 arc sec
最大速度(2) 200 mm/s
最大加速度(2) 1 g (無荷重)
インポジション安定性(3) <2 nm
最大力(連続) 23 N
耐荷重(4) 垂直 14 kg
移動質量 1.3 kg 1.5 kg
ステージ質量 2.5 kg 2.9 kg
材料 アルミ製本体/黒の硬質皮膜加工仕上げ
MTBF (平均故障間隔) 30,000時間
  1. 各ステージで認定済み。
  2. 十分な電圧・電流を備えた適切なアンプを選択する必要があります。
  3. インポジションジッターは3シグマ値です。
  4. 軸積み込みのための軸の定位置が記載されています。
  5. 空気供給は清潔に保ち、露点温度0°F(-17.78°C)まで乾燥させ、フィルターを適用して0.25 µm以下に抑える必要があります。純度99.9%の窒素ガスを推奨します。 供給圧力はステージに搭載されたペイロード量によって決まります。
  6. 仕様は、テーブルトップから25 mm上の単軸システムのものです。 組み合わせた多軸システムの性能はペイロードと作業点によって決まります。 多軸または非標準用途については、工場にご相談ください。
  7. -PLUSはAerotechコントローラを使用する必要があります。
 ANT130LZS-110ANT130LZS-160
移動量 110 mm 160 mm
精度(1) 台座 ±3 µm ±4 µm
PLUS ±325 nm ±325 nm
分解能(最小インクリメンタル運動) 2 nm
繰り返し精度(双方向)(1) 台座 ±100 nm ±100 nm
PLUS ±75 nm ±75 nm
位置繰り返し精度(単方向) ±35 nm
直線性(1) ±1.5 µm ±2 µm
平坦性(1) ±1.5 µm ±2 µm
ピッチ 10 arc sec
ロール 10 arc sec
ヨー 5 arc sec
最大速度(2) 200 mm/s
最大加速度(2) 1 g (無荷重)
インポジション安定性(3) <2 nm
最大力(連続) 23 N
耐荷重(4) 垂直 14 kg
移動質量 2.1 kg 2.5 kg
ステージ質量 3.9 kg 4.6 kg
材料 アルミ製本体/黒の硬質皮膜加工仕上げ
MTBF (平均故障間隔) 30,000時間
  1. 各ステージで認定済み。
  2. 十分な電圧・電流を備えた適切なアンプを選択する必要があります。
  3. インポジションジッターは3シグマ値です。
  4. 軸積み込みのための軸の定位置が記載されています。
  5. 空気供給は清潔に保ち、露点温度0°F(-17.78°C)まで乾燥させ、フィルターを適用して0.25 µm以下に抑える必要があります。純度99.9%の窒素ガスを推奨します。 供給圧力はステージに搭載されたペイロード量によって決まります。
  6. 仕様は、テーブルトップから25 mm上の単軸システムのものです。 組み合わせた多軸システムの性能はペイロードと作業点によって決まります。 多軸または非標準用途については、工場にご相談ください。
  7. -PLUSはAerotechコントローラを使用する必要があります。

電気的特性

ドライブシステム ブラシレスリニアサーボモーター
フィードバック 非接触リニアエンコーダ
最大バス電圧 DC 320 V(-4DU-25DU)、DC 80 V(-25DU)
リミットスイッチ 5V、通常閉
ホームスイッチ 中央近く

推奨コントローラ

多軸 A3200 Npaq MXR
Npaq MR-MXH
Ndrive ML-MXH
Ensemble Epaq MXH
Epaq MR-MXH
Ensemble ML-MXH
単軸 Soloist Soloist ML-MXH
  • グラフ1
    ANT130-L-ZSプロット

寸法

注文情報

ANT130LZS単軸Z薄型ダイレクトドライブナノ位置決めステージ

移動ステージ(必須)

オプション 説明
-035 移動量35 mm
-060 移動量60 mm
-110 移動量110 mm
-160 移動量160 mm

コネクタ(必須)

オプション 説明
-CN1 シングル25ピンDコネクタ、25DU
-CN2 2つのコネクタ、4ピンHPDと25ピンDスタイル、4DU-25DU
    注: -CN1オプションは、80V以上のバス電圧を使うシステムでは無効です。

取付板(オプション)

オプション 説明
-MP 取付板

性能等級(必須)

オプション 説明
-PL1 基本性能
-PL2 高精度性能、PLUS

統合(必須)

Aerotechは、標準とカスタムの両方の統合サービスを提供し、お客様のシステムをできるだけ早く完全に運用できるよう支援します。 このシステムでは、次の標準統合オプションを使用できます。 必要な統合レベルがわからない場合、または御社のシステムにカスタム統合サポートが必要な場合は、Aerotechにご相談ください。
-TAS 統合 - システムとしてテスト
一緒に使用される完全なシステム(例: ドライブ、コントローラ、ステージ)として、コンポーネントグループのテスト、統合、および文書化を行います。 これには、パラメータファイルの生成、システムチューニング、およびシステム構成の文書化が含まれます。
-TAC 統合 - コンポーネントとしてテスト
個々のアイテムを個別コンポーネントとしてテストおよび統合します。 これは通常、スペアパーツ、交換パーツ、または一緒に使用または出荷されないアイテム(例: ステージのみ)に使用されます。 こうしたコンポーネントは、より大きいシステムの一部である場合もあればそうでない場合もあります。