ANT95LZシリーズ単軸Zダイレクトドライブナノ位置決めステージ

説明

設計の主な特徴

  • 大規模な移動量(25 mmおよび50 mm)でナノメートルレベルの性能を発揮
  • 高分解能(2 nm)、繰り返し精度 (75 nm)、精度(300 nm)
  • インポジション安定性は2 nm未満
  • クリープ防止クロスローラーベアリング
  • 高いダイナミックパフォーマンス

はじめに

ANT95LZクロスローラーステージは、速度、精度、分解能、繰り返し精度、信頼性、サイズの組み合わせでクラス最高であり、2つの精度等級で提供されています。

非接触型ダイレクトドライブ

高精度デバイスの大量生産に必要な、堅牢で正確かつ高速の位置決めを可能にするのは、非接触ダイレクトドライブ技術しかありません。 ANT95LZステージは、独自開発の高度なダイレクトドライブ技術を活用し、高精度位置決め、ディスクドライブ製造、ファイバーアライメント、光学遅延エレメントアクチュエーション、センサーテスト、スキャンプロセスといった滑らかで精密な動きを必要とする多くの用途で最高レベルの位置決め性能を発揮します。

ANT95LZステージはほぼ摩擦ゼロのカウンターバランス機構を使い、モーターの加熱を最小限に抑えつつ性能レベルを維持します。 カウンターバランスは0~5 kgの間でユーザーが調節可能です。

柔軟なシステム設計

ANT95LZシリーズは、容易なシステム統合を計算にいれて、取り付けおよびテーブルトップのユニバーサルパターンを備えています。 2軸、3軸、またはそれ以上の軸を簡単に組み合わせることができ、柔軟なシステム設計と多軸構成が可能です。

システムの特徴

優れた精度、位置繰り返し精度、およびインポジション安定性は、高いシステムの分解能を必要とします。 業界トップの2 nmの最小インクリメンタルステップサイズを備えるANT95LZステージは、この高レベルの性能を提供します。 優れたインポジション安定性は、質の高いクリープ防止クロスローラーベアリングに支えられています。 ステージは、製品の耐用期間中ほぼメンテナンス不要の運転が可能です。 弊社のダイレクトドライブテクノロジーにはヒステリシスもバックラッシュもないため、正確で繰り返し可能なナノメートルスケールのモーションを実現します。

仕様

機械的仕様

モデルANT95LZ-025ANT95LZ-050
移動量 25 mm 50 mm
精度(1) ベーシック ±4.0 µm ±4.0 µm
PLUS ±300 nm ±300 nm
分解能(最小インクリメンタル運動) 2 nm 2 nm
双方向繰り返し精度(1) ベーシック ±100 nm ±100 nm
PLUS ±75 nm ±75 nm
単方向繰り返し精度 ±50 nm ±50 nm
直線性(1) ±2.25 µm ±3.0 µm
平坦性(1) ±3.5 µm ±4.0 µm
ピッチ 10 arc sec 10 arc sec
ロール 10 arc sec 10 arc sec
ヨー 5 arc sec 5 arc sec
最大速度 200 mm/s 200 mm/s
最大加速度 1 g (無荷重) 1 g (無荷重)
インポジション安定性(2) <2 nm <2 nm
最大力(連続) 7.75 N 9.5 N
耐荷重(3) 垂直 5.0 kg 5.0 kg
移動質量 0.46 kg 0.52 kg
ステージ質量 1.9 kg 2.5 kg
材料 アルミ製本体/黒の硬質皮膜加工仕上げ
MTBF (平均故障間隔) 30,000時間
  1. 各ステージで認定済み。
  2. インポジションジッターは3シグマ値です。
  3. 軸積み込みのための軸の定位置が記載されています。
  4. 空気供給は清潔に保ち、露点温度0°F(-17.78°C)まで乾燥させ、フィルターを適用して0.25 µm以下に抑える必要があります。純度99.9%の窒素ガスを推奨します。 供給圧力はステージに搭載されたペイロード量によって決まります。

• 仕様は、テーブルトップから25 mm上の単軸システムのものです。 組み合わせた多軸システムの性能はペイロードと作業点によって決まります。 多軸または非標準用途については、工場にご相談ください。
• -PLUSはAerotechコントローラを使用する必要があります。

電気的特性

ドライブシステム ブラシレスリニアサーボモーター
フィードバック 非接触リニアエンコーダ
最大バス電圧 DC ±40V
リミットスイッチ 5V、通常閉
ホームスイッチ 中央近く

推奨コントローラ

多軸 A3200 Npaq MXR
Npaq MR-MXH
Ndrive ML-MXH
Ensemble Epaq MXH
Epaq MR-MXH
Ensemble ML-MXH
単軸 Soloist Soloist ML-MXH
  1. 記載される仕様を満たすには、リニアアンプが必要です。 その他のオプションもあります。

注: 長期間にわたって仕様を確実に達成し繰り返し精度を確保するため、環境温度は24時間、0.25°C以内に制御する必要があります。 これが無理な場合は、代替製品が使用できます。 詳細は、Aerotechまでお問い合わせください。

  • ANT95LZステッププロット
  • ANT95LZ性能グラフ

寸法

注文情報

ANT95LZシリーズの単軸Zダイレクトドライブナノ位置決めステージ

移動ステージ(必須)

オプション 説明
-025 移動量25 mm
-050 移動量50 mm

ケーブルの配置方向(必須)

オプション 説明
-CBL1 右側ケーブル出口
-CBL2 左側ケーブル出口

性能等級(必須)

オプション 説明
-PL1 基本性能
-PL2 高精度性能、PLUS

統合(必須)

Aerotechは、標準とカスタムの両方の統合サービスを提供し、お客様のシステムをできるだけ早く完全に運用できるよう支援します。 このシステムでは、次の標準統合オプションを使用できます。 必要な統合レベルがわからない場合、または御社のシステムにカスタム統合サポートが必要な場合は、Aerotechにご相談ください。

オプション 説明
-TAS 統合 - システムとしてテスト
一緒に使用される完全なシステム(例: ドライブ、コントローラ、ステージ)として、コンポーネントグループのテスト、統合、および文書化を行います。 これには、パラメータファイルの生成、システムチューニング、およびシステム構成の文書化が含まれます。
-TAC 統合 - コンポーネントとしてテスト
個々のアイテムを一緒に出荷される個別のコンポーネントとしてテストおよび統合します。 これは通常、スペアパーツ、交換部品、または一緒に使用されないアイテムに使用されます。 こうしたコンポーネントは、より大きいシステムの一部である場合もあればそうでない場合もあります。