AVS1000機械ベアリングボールねじリフトステージ

説明

設計の主な特徴

  • アパーチャを備えた高耐荷重リフトステージ
  • サブミクロン閉ループ位置決め
  • 移動範囲全体で優れたピッチおよびヨー特性
  • 5 mmまたは10 mmの移動量。他の移動量でのカスタム設計も提供可能
  • オプションのクリーンルームと静電気放電防止装置
  • 高精密研磨ボールねじが高性能を実現

AerotechのAVS1000シリーズステージは、大きいまたは重い荷重を微小なインクリメンタル運動で水平面上の仰角方向に移動させる必要のある用途に適したソリューションです。 薄型で正確なモーション性能を備えているため、半導体の製造や検査、自動ツールアライメント、マシンビジョン検査システム、レーザー機械加工などの用途に適したステージです。

優れた性能を生む品質設計

AVS1000シリーズは、くさび形を移動させて垂直面に沿って荷重を正確に積み込みます。 正確な機械加工を施したウェッジブロックによって、高精密研磨ボールねじの水平方向の動きをAVS1000シリーズテーブルトップの垂直昇降に変換します。

一体型ワイパー付属の密封リニアモーションガイド軸受が組み込まれ、優れたペイロード性能、耐用性、スムーズで精度の高いモーションを提供します。 プラットフォームの振動や水平方向の偏差のない、安定した平行垂直モーションが確保できます。

ウェッジ角度やベアリングシステムの慎重な設計により、AVS1000シリーズはコンパクトプロファイルを維持しつつ、サブミクロン分解能を達成します。 オプションの工場較正を使うと、標準精度と繰り返し精度をさらに高められます。

優れたアプローチの垂直モーション

垂直リフトという手法は、従来のZ面を中心としたステージの新たな選択肢です。 AVS1000シリーズステージは薄型を実現しているだけでなく、どの側からも簡単に荷重にアクセスできます。 さらに軸受上でペイロードをセンタリングするため、カンチレバーの影響もありません。

モーターとドライブ

AVS1000シリーズには、AerotechのNEMA 34フレームサイズの高性能BMSシリーズブラシレス、スロットレスサーボモーターが搭載されています。 スロットレスモーターはゼロコギングであり、そのため非常にスムーズなモーションを必要とする用途向けに最適化されています。

さらに、対応するさまざまなドライブやコントロールを製造しているため、完全に統合され最適化されたモーションソリューションを提供できます。

仕様

機械的仕様

モデルAVS1000-05AVS1000-10
移動量 5 mm 10 mm
精度(1) 標準 ±2.0 µm ±4.0 µm
較正時 ±1.0 µm ±1.0 µm
分解能 5 nm
双方向繰り返し精度(1) ±0.5 µm
直線性(2) ±0.5 µm ±1.0 µm
ピッチ(2) ±5 arc sec ±7.5 arc sec
ロール(2) ±5 arc sec ±7.5 arc sec
ヨー(2) ±5 arc sec ±7.5 arc sec
最大速度 20 mm/s
最大加速度 0.05 g
耐荷重(3) 垂直 135 kg
材料 アルミ製
MTBF (平均故障間隔) 15,000時間
  1. 各ステージで認定済み。
  2. 仕様は無荷重状態のものです。 ピッチ、ロール、直線性は、荷重の量やセンタリングによって左右される場合があります。
  3. 荷重はステージアパーチャ内でセンタリングする必要があります。
  4. 仕様は、テーブルトップから25 mm上の単軸システムのものです。 多軸システムの性能はペイロードと作業点によって決まります。 多軸または非標準用途については、工場にご相談ください。

電気的特性

ドライブシステム ブラシレスロータリーサーボモーター
フィードバック 非接触リニアエンコーダ
最大バス電圧 最大DC 320V
リミットスイッチ 5V、通常閉

推奨コントローラ

多軸 A3200 Ndrive MP/Ndrive CP/Ndrive HLe/Npaq MXR
Ensemble Ensemble MP/Ensemble CP/Ensemble HLe/Epaq
単軸 Soloist Soloist MP/Soloist CP/Soloist HLe
  1. 記載される仕様を満たすには、リニアアンプが必要です。 その他のオプションもあります。

寸法

注文情報

AVS1000機械ベアリング ボールねじリフトステージ

移動ステージ(必須)

オプション 説明
-05 移動量5 mm
    注: カスタム移動量もあります。詳細は、Aerotechまでお問い合わせください。

モーター(オプション)

オプション 説明
-M1 BMS280ブラシレスサーボモーターと1000ラインのTTLエンコーダ
-M2 BMS280ブラシレスサーボモーターとブレーキ付き1000ラインのTTLエンコーダ
-M3 BMS280ブラシレスサーボモーターと1000ライン1 Vppエンコーダ
-M4 BMS280ブラシレスサーボモーターとブレーキ付き1000ライン1 Vppエンコーダ

リミット(必須)

オプション 説明
-LI1 通常閉のリミットスイッチ、9ピンDコネクタ
-LI2 通常閉のリミットスイッチ、フライングリード
-LI3 通常開リミットスイッチ、9ピンDコネクタ
-LI4 通常開リミットスイッチ、フライングリード

計測(必須)

オプション 説明
-PL1 計測、性能プロットで較正なし
-PL2 計測、性能プロットによる較正済み(HALAR)

統合(必須)

Aerotechは、標準とカスタムの両方の統合サービスを提供し、お客様のシステムをできるだけ早く完全に運用できるよう支援します。 このシステムでは、次の標準統合オプションを使用できます。 必要な統合レベルがわからない場合、または御社のシステムにカスタム統合サポートが必要な場合は、Aerotechにご相談ください。

オプション 説明
-TAS 統合 - システムとしてテスト
一緒に使用される完全なシステム(例: ドライブ、コントローラ、ステージ)として、コンポーネントグループのテスト、統合、および文書化を行います。 これには、パラメータファイルの生成、システムチューニング、およびシステム構成の文書化が含まれます。
-TAC 統合 - コンポーネントとしてテスト
個々のアイテムを一緒に出荷される個別のコンポーネントとしてテストおよび統合します。 これは通常、スペアパーツ、交換部品、または一緒に使用されないアイテムに使用されます。 こうしたコンポーネントは、より大きいシステムの一部である場合もあればそうでない場合もあります。