MPS50SVおよびMPS75SV極小機械ベアリングねじ駆動式リフトステージ

説明

設計の主な特徴

  • コンパクトで高性能な昇降ステージ
  • 高精密研磨ボールねじ/親ねじ
  • DC/ステッピングモーターオプション
  • 高真空対応
  • 高精度クロスローラーベアリング
  • MPSリニアステージおよび回転ステージを用いた多軸構成を用意可能
AerotechのMPS-SVシリーズのリフトステージは、コンパクトでコスト効果の高い設計で、高性能の仰角モーションを実現します。 このリフトステージには2種類のサイズ(MPS50SVおよびMPS75SV)があり、実験室での簡単な研究から高デューティサイクル生産プロセスまでの用途にぴったりです。 多軸ステージ構成は、互換性のあるMPSステージファミリーの豊富な各種アダプタブラケットや取り付け法によって、他のMPSリニアステージおよび回転ステージに簡単に組み込むことができます。

高精度構造

MPS-SVステージはすべて、高精密研磨ボールねじと与圧済みクロスローラーベアリングを備え、スムーズで正確な幾何学的性能、優れた精度と繰り返し精度、さらに0.05 µmの最小インクリメンタル運動性能を提供します。 MPS50SVでは、コスト重視の用途向けに、親ねじ駆動オプションもご用意しています。

MPS-SVモーターオプションには、ロータリーエンコーダとステッピングモーターを備えたDCサーボモーターがあります。 精密機械加工を施したくさび形デザインと横方向拘束システムによって、水平方向モーションを的確に拘束しながら、高い剛性と耐荷重を提供します。

真空および取り付けのオプション

MPSシリーズステージと同様に、MPS-SVステージでは真空対応のコネクタを含む10-6 トールの真空処理のオプションを用意できます。 オプションの取付板によって、ヤード・ポンド法の光学ブレッドボードテーブルにもメートル法の光学ブレッドボードテーブルに正面取り付けできます。 すべてのMPSステージで取り付けに互換性があるため、多軸構成でも取り付けがシンプルです。

仕様

機械的仕様

モデルMPS50SV-5MPS75SV-5
移動量 5 mm 5 mm
精度 1.0 mm/revボールねじ 標準 ±2.5 µm ±2.0 µm
較正時(1) ±1.0 µm ±1.0 µm
0.5 mm/rev 親ねじ 標準 ±3.0 µm N/A
較正時(1) ±1.25 µm N/A
分解能(最小インクリメンタル運動) 0.05 µm 0.05 µm
繰り返し精度(双方向)(1) 1.0 mm/revボールねじ ±0.75 µm ±0.75 µm
0.5 mm/rev 親ねじ ±1.0 µm N/A
直線性 ±3.0 µm ±3.0 µm
ウェッジ比 6.82:1 8.34:1
最大速度 1.0 mm/revボールねじ DCモーター 0.8 mm/s 5.5 mm/s
SMモーター 0.15 mm/s 3.0 mm/s
0.5 mm/rev 親ねじ DCモーター 0.4 mm/s N/A
SMモーター 0.1 mm/s N/A
耐荷重(2) 6 kg 12 kg
ステージ質量 1.4 kg 2.8 kg
材料 ステンレス製のキャリッジ、アルマイトの本体
  1. Aerotechのコントローラを使用した場合。
  2. ペイロードの仕様は単軸システムのものです。
  3. テーブルトップから25 mm上で測定した単軸システムの仕様。 多軸システムの性能はペイロードと作業点によって決まります。 多軸または非標準用途の要件については、工場にご相談ください。

電気的特性

モデルMPS50SV DCサーボモーター(-M1)MPS50SVステッピングモーター(-M2)MPS75SVサーボモーター(-M1)MPS75SVステッピングモーター(-M2)
ドライブシステム ギア比14:1のギアボックス付きDCブラシサーボモーター ギア比43:1のギアボックス付きDC 24 Vバイポーラステッピングモーター DCブラシサーボモーター DC 24 Vバイポーラステッピングモーター
フィードバック 512 lines/revのロータリーエンコーダ N/A 10,000 lines/revのロータリーエンコーダ N/A
電子的分解能 1.0 mm/revボールねじ 0.0051 µm モーター分解能480 steps/revで0.0071 µm 0.0028 µm モーター分解能40,000 steps/revで0.0028 µm
0.5 mm/rev 親ねじ 0.0026 µm モーター分解能480 steps/revで0.0035 µm N/A N/A
最大バス電圧 DC 48 V DC 48 V1 DC 48 V DC 48 V1
リミットスイッチ 5V、通常閉
    1. Aerotechのコントローラを使用した場合。

推奨コントローラ

モデルDCモーターおよびSMモーター
多軸 A3200 Npaq/Npaq MR/Ndrive MP
Ensemble Ensemble LAB/Epaq/Epaq MR/Ensemble MP
単軸 Soloist Soloist MP
  • 分解能と負荷のグラフ

寸法

注文情報

MPS-SVシリーズ極小機械ベアリングねじ駆動式リフトステージ

オプション 説明
MPS50SV-5 MPS50SV-5極小機械ベアリングねじ駆動式リフトステージ、5mm移動
MPS75SV-5 MPS75SV-5極小機械ベアリングねじ駆動式リフトステージ、5mm移動

打込みねじ(必須 - MPS50SV-5のみ)

オプション 説明
-BS 高精密研磨ボールねじ、1 mm/回転
-LS 高精密研磨親ねじ、0.5 mm/回転
    *注: -LS親ねじオプションはMPS50SV-5でのみ有効です。

真空処理(オプション)

オプション 説明
-HV 最大10e(-6)トールの真空処理

モーター(必須)

オプション 説明
-M1 DCサーボモーター
-M2 ステッピングモーター

取付板(オプション)

オプション 説明
-MP 光学テーブル取付板

計測(必須)

オプション 説明
-PL0 計測性能プロットなし
-PL1 計測、性能プロットで較正なし
-PL2 計測、性能プロットによる較正済み(HALAR)

統合(必須)

Aerotechは、標準とカスタムの両方の統合サービスを提供し、お客様のシステムをできるだけ早く完全に運用できるよう支援します。 このシステムでは、次の標準統合オプションを使用できます。 必要な統合レベルがわからない場合、または御社のシステムにカスタム統合サポートが必要な場合は、Aerotechにご相談ください。

オプション 説明
-TAS 統合 - システムとしてテスト
一緒に使用される完全なシステム(例: ドライブ、コントローラ、ステージ)として、コンポーネントグループのテスト、統合、および文書化を行います。 これには、パラメータファイルの生成、システムチューニング、およびシステム構成の文書化が含まれます。
-TAC 統合 - コンポーネントとしてテスト
個々のアイテムを一緒に出荷される個別のコンポーネントとしてテストおよび統合します。 これは通常、スペアパーツ、交換部品、または一緒に使用されないアイテムに使用されます。 こうしたコンポーネントは、より大きいシステムの一部である場合もあればそうでない場合もあります。