ABL1500エアベアリングダイレクトドライブリニアステージ

説明

設計の主な特徴

  • 高性能スキャニング・点検用に設計
  • すべてのエアベアリング面でアクティブな空気プリロード
  • リニアエンコーダフィードバックにより、サブナノメートルの分解能を実現
  • 高荷重対応の高い剛性と優れた幾何学的性能
  • 移動量は最大 500 mm

最先端の製造、とりわけ半導体およびデータストレージ分野では、従来のボールねじ式および機械ベアリング位置決めシステムの能力を超える位置決め上の公差が求められます。 フルアクティブプリロード、非常に高い剛性、そして優れた幾何学的特性を備えたABL1500エアベアリングステージは、特にこうした要求を満たすために特別設計されています。

高ダイナミックパフォーマンス向けエアベアリングデザイン

ABL1500の水平面および垂直面にはエアオンエアプリロードが搭載されています。 対抗する薄膜圧力でベアリングの呼びギャップ許容度を維持します。 この設計は、荷重を広い表面に分散する大きなエアベアリング面だけでなく、ステージの剛性が強化されており、高荷重またはオフセット荷重に理想的です。

独自の製造技術により、優れた幾何学的特性を有するステージを開発しました。 エアベアリングには性能を最大限に高める固有の平均化効果が備わっています。 薄膜は小型の表面ボイドを埋め、他の不規則性を可能にします。 この特性により、ピッチ、ロール、ヨー、直線性、平坦性で優れた仕様が可能になります。

リニアモータードライブ

このステージを支える駆動力は、AerotechのBLMCシリーズブラシレスリニアサーボモーターです。 モーターメーカーとしてのAerotechの長い歴史と経験が、この設計に反映されています。 BLMCにはコギングや吸引力が発生しないアイアンレスフォーサーが使用されているため、非常に滑らかなモーションです。 大きな力と速度を生成できるBLMCは、パワーと性能の究極の組み合わせです。

ゼロメンテナンス

弊社の非接触エアベアリング、非接触リニアモータードライブ、非接触フィードバックデバイスは、Aerotech機器に求められる高性能レベルで、長期間のメンテナンスフリー操作を実現します。 可動部間でまったく機械的な接触がないため、ABL1500には経年による摩耗や性能低下が生じません。 使用寿命は実質無制限で、潤滑剤を使用しない(クリーンな乾性ガスのみ)ため、エアベアリングはクリーンルームや医療用途に適しています。

ケーブル管理

ケーブルの曲げ半径を慎重に最適化し、長年にわたる故障のない運転を実現します。 万一コンポーネントに故障が起きても、モジュラーデザインのため、最小限のダウンタイムで簡単にケーブルが交換できます。 ユーザー要求ケーブル、空気ホースなどすべてをCMSに統合するため、最終的なシステムへの統合を円滑にします。 両端にはすべてコネクタが付き、お客様のマシンに簡単に統合できます。

仕様

機械的仕様

モデルABL1500-050ABL1500-100ABL1500-200
移動量 50 mm 100 mm 200 mm
精度(1) E1 較正時 ±0.3 µm ±0.3 µm ±0.5 µm
標準 ±2.0 µm ±4.0 µm ±8.0 µm
E3 較正時 ±0.2 µm ±0.2 µm ±0.4 µm
標準 ±1.0 µm ±2.0 µm ±5.0 µm
繰り返し精度
(双方向)(1)
E1 ±0.1 µm ±0.2 µm
E3 ±0.05 µm ±0.05 µm ±0.1 µm
直線性(1) ±0.25 µm ±0.4 µm ±0.5 µm
平坦性(1) ±0.25 µm ±0.4 µm ±0.5 µm
ピッチ ±0.5 arc sec ±1 arc sec ±2 arc sec
ロール ±0.5 arc sec ±1 arc sec ±2 arc sec
ヨー ±0.5 arc sec ±1 arc sec ±2 arc sec
最大速度 2 m/s
最大加速度 2 g (無荷重)
最大力(連続) 93.6 N
耐荷重(2) 水平方向 35 kg
サイド 25 kg
動作圧力 80 psi ±5 psig
空気消費量 551 kPaで24-30 SLPM (5.51 barで0.85~1.06 SCFM)
移動質量(無荷重) 5.1 kg
ステージ質量 14.7 kg 16.0 kg 18.6 kg
材料 アルミ製
MTBF (平均故障間隔) 30,000時間
  1. 各ステージで認定済み。
  2. 軸積み込みのための軸の定位置が記載されています。
  3. 仕様は、テーブルトップから25 mm上の単軸システムのものです。 多軸システムの性能はペイロードと作業点によって決まります。 多軸または非標準用途については、工場にご相談ください。
  4. エアベアリングを圧力不足から保護するため、モーションコントローラ/アンプESTOP入力に連携するインライン圧力スイッチを推奨します。
  5. 空気供給は清潔に保ち、露点温度0°F(-17.78°C)まで乾燥させ、フィルターを適用して0.25 µm以下に抑える必要があります。純度99.9%の窒素ガスを推奨します。
  6. XY構成では、上軸の最大移動量は200 mmです。 上軸の移動量が200 mmを超えても500 mm以下の場合は、下軸としてABL1500WBが必須です。

モデルABL1500-300ABL1500-400ABL1500-500
移動量 300 mm 400 mm 500 mm
精度(1) E1 較正時 ±0.5 µm ±0.6 µm ±0.6 µm
標準 ±12.0 µm ±16.0 µm ±20.0 µm
E3 較正時 ±0.4 µm ±0.5 µm ±0.5 µm
標準 ±5.0 µm ±5.0 µm ±5.0 µm
繰り返し精度
(双方向)(1)
E1 ±0.2 µm ±0.3 µm
E3 ±0.15 µm ±0.2 µm
直線性(1) ±0.75 µm ±1.5 µm ±2.0 µm
平坦性(1) ±0.75 µm ±1.5 µm ±2.0 µm
ピッチ ±3 arc sec ±4 arc sec ±5 arc sec
ロール ±3 arc sec ±4 arc sec ±5 arc sec
ヨー ±3 arc sec ±4 arc sec ±5 arc sec
最大速度 2 m/s
最大加速度 2 g (無荷重)
最大力(連続) 93.6 N
耐荷重(2) 水平方向 35 kg
サイド 25 kg
動作圧力 80 psi ±5 psig
空気消費量 551 kPaで24-30 SLPM (5.51 barで0.85~1.06 SCFM)
移動質量(無荷重) 5.1 kg
ステージ質量 21.3 kg 23.9 kg 26.5 kg
材料 アルミ製
MTBF (平均故障間隔) 30,000時間
  1. 各ステージで認定済み。
  2. 軸積み込みのための軸の定位置が記載されています。
  3. 仕様は、テーブルトップから25 mm上の単軸システムのものです。 多軸システムの性能はペイロードと作業点によって決まります。 多軸または非標準用途については、工場にご相談ください。
  4. エアベアリングを圧力不足から保護するため、モーションコントローラ/アンプESTOP入力に連携するインライン圧力スイッチを推奨します。
  5. 空気供給は清潔に保ち、露点温度0°F(-17.78°C)まで乾燥させ、フィルターを適用して0.25 µm以下に抑える必要があります。純度99.9%の窒素ガスを推奨します。
  6. XY構成では、上軸の最大移動量は200 mmです。 上軸の移動量が200 mmを超えても500 mm以下の場合は、下軸としてABL1500WBが必須です。

電気的特性

ドライブシステム ブラシレスリニアサーボモーター
フィードバック 非接触リニアエンコーダ(注文情報ページで信号周期のオプションを参照してください)
最大バス電圧 最大DC 80V
リミットスイッチ 5V、通常閉
ホームスイッチ 中央近く

推奨コントローラ

多軸 A3200 Ndrive MP/Ndrive CP/Ndrive HLe/Npaq MXR
Ensemble Ensemble MP/Ensemble CP/Ensemble HLe/Epaq
単軸 Soloist Soloist MP/Soloist CP/Soloist HLe
  • ABL1500Spec
  • ABL1500Spec-2

寸法

注文情報

ABL1500エアベアリング ダイレクトドライブリニアステージ

移動ステージ(必須)

オプション 説明
-050 移動量50 mm
-100 移動量100 mm
-200 移動量200 mm
-300 移動量300 mm
-400 移動量400 mm
-500 移動量500 mm

フィードバック(必須)

オプション 説明
-E1 インクリメンタルリニアエンコーダ、1 Vpp増幅正弦波出力
-E2 インクリメンタルリニアエンコーダ、0.1 µm TTLラインドライバ出力
-E3 高精度インクリメンタルリニアエンコーダ、1 Vpp増幅正弦波出力

ケーブル管理 (必須)

オプション 説明
-CMS1 単軸ケーブル管理システム
-CMS2 XYアセンブリ用ケーブル管理システム
-CMS3 Y軸用ケーブル管理システム、上軸のみ
-CMS4 YZアセンブリ用ケーブル管理システム、上軸のみ

計測(必須)

オプション 説明
-PL1 計測、性能プロットで較正なし
-PL2 計測、性能プロットによる較正済み(HALAR)

統合(必須)

Aerotechは、標準とカスタムの両方の統合サービスを提供し、お客様のシステムをできるだけ早く完全に運用できるよう支援します。 このシステムでは、次の標準統合オプションを使用できます。 必要な統合レベルがわからない場合、または御社のシステムにカスタム統合サポートが必要な場合は、Aerotechにご相談ください。

オプション 説明
-TAS 統合 - システムとしてテスト
一緒に使用される完全なシステム(例: ドライブ、コントローラ、ステージ)として、コンポーネントグループのテスト、統合、および文書化を行います。 これには、パラメータファイルの生成、システムチューニング、およびシステム構成の文書化が含まれます。
-TAC 統合 - コンポーネントとしてテスト
個々のアイテムを一緒に出荷される個別のコンポーネントとしてテストおよび統合します。 これは通常、スペアパーツ、交換部品、または一緒に使用されないアイテムに使用されます。 こうしたコンポーネントは、より大きいシステムの一部である場合もあればそうでない場合もあります。

アクセサリ(別品目として注文)

 説明
ALIGN-NPA 非精密XYアセンブリ
ALIGN-PA10 XYアセンブリ。10秒角の直交性。 短い移動ステージ用に7ミクロン以内の直交性でアライメント。
ALIGN-PA5 XYアセンブリ。5秒角の直交性。 短い移動ステージ用に3ミクロン以内の直交性でアライメント。
ABF エアベアリングろ過キット