ABL2000エアベアリング、ダイレクトドライブリニアステージ

説明

設計の主な特徴

  • 完全与圧済みのエアベアリング
  • 最大移動量1000 mm
  • 高精度リニアエンコーダフィードバック
  • 完全な非接触設計
  • 超スムーズ設計で抜群の速度安定性

ABL2000は、印刷、イメージング、半導体、フォトニックといった用途に必要な、優れたピッチ/ヨー特性と卓越した速度制御をあわせ持ちます。

エアベアリングデザイン

ABL2000は、磁気プリロードを活用することで、負荷容量を下げることなく一般のエアベアリングステージより小さな断面積を実現しています。 大きなエアベアリング面によって優れた剛性を発揮し、高荷重が可能です。 独自の製造技術により、優れたピッチ、ロール、およびヨーの特性を有するステージを開発しました。 Aerotechの最先端製造施設で製造されたABL2000は、従来の手法では不可能な厳格な公差で機械加工されています。

リニアモータードライブ

このステージを駆動源は、AerotechのBLMCブラシレスリニアサーボモーターです。 BLMCにはコギングや吸引力が発生しないアイアンレスフォーサーが使用されているため、非常に滑らかなモーションです。 摩擦が発生しないステージとゼロコギングのモーターによって、極めて微細な分解能が実現します。

ゼロメンテナンス

弊社の非接触エアベアリング、非接触リニアモータードライブ、および非接触フィードバックデバイスは、Aerotech機器に求められる高性能レベルで、長期間のメンテナンスフリー操作を実現します。 可動部間でまったく機械的な接触がないため、ABL2000には経年による摩耗や性能低下が生じません。 使用寿命は実質無制限で、潤滑剤を使用しない(クリーンな乾性ガスのみ)ため、エアベアリングはクリーンルームや医療用途に適しています。

ケーブル管理

長年の研究によって、業界最高のケーブル管理システム(CMS)と言うべきものが完成しました。 ケーブルの曲げ半径を慎重に最適化し、最高品質のケーブルだけを使い、長期にわたる故障のない運転を実現します。 万一コンポーネントに故障が起きても、モジュラーデザインのため、最小限のダウンタイムで簡単にケーブルが交換できます。 最終的なシステムへの統合を円滑にするため、ユーザー要求ケーブル、空気ホースなどすべてをCMSに統合します。 両端にはすべてコネクタが付き、お客様のマシンに簡単に統合できます。 ハイフレックスなリボンケーブルバージョンもご用意できます。

仕様

ABL2000の仕様

機械的仕様ABL2000-0100ABL2000-0200ABL2000-0300ABL2000-0400
総移動量 100 mm 200 mm 300 mm 400 mm
モータータイプ リニアブラシレスサーボモーター
バス電圧(1) DC 80V
フィードバック 非接触リニアエンコーダ
最大速度(3) 2 m/s
最大加速度 2 g (無荷重)
最大荷重(4) 50.0 kg
精度 -E1エンコーダ 較正時(1) ±0.5 µm ±0.75 µm
未較正 ±4.0 µm ±8.0 µm ±11.5 µm ±14.0 µm
-E3エンコーダ 較正時(1) ±0.5 µm ±0.75 µm
未較正 ±5.0 µm
繰り返し精度 -E1エンコーダ ±0.2 µm ±0.3 µm
-E3エンコーダ ±0.2 µm ±0.3 µm
直線性および平坦性 最大偏差 ±0.25 µm ±0.40 µm ±0.75 µm ±1.5 µm
ピッチ/ロール/ヨー 1 arc sec 2 arc sec 3 arc sec 4 arc sec
公称ステージ質量 30.0 kg 34.5 kg 39.5 kg 44.0 kg
動作圧力(7) 80 psig ±5 psig
空気消費量(8) 19.8 SLPM (0.7 SCFM) (単軸)
移動質量 9 kg
材料 アルミ製
仕上げ 硬質皮膜加工(ロックウェル硬さ62)
  1. XY構成にABL2000をマウントする場合、上軸の最大長は300 mmです。
  2. 最大速度はステージ性能に基づいています。最大適用速度は、システムのデータ速度や分解能によって制限されることがあります。
  3. 最大荷重はベアリング性能に基づいて決まります。最大適用荷重は加速の条件によって制限されることがあります。
  4. Aerotechコントローラを使った場合。
  5. エアベアリングを圧力不足から保護するため、モーションコントローラ/アンプESTOP入力に連携するインライン圧力スイッチを推奨します。
  6. 空気供給は清潔に保ち、露点温度0°F(-17.78°C)まで乾燥させ、フィルターを適用して0.25 µm以下に抑える必要があります。純度99.9%の窒素ガスを推奨します。
  7. Specifications are for single-axis systems measured 25 mm above the tabletop. Performance of multi-axis systems is payload and workpoint dependent. Consult factory for multi-axis or non-standard applications.

機械的仕様ABL2000-0500ABL2000-0750ABL2000-1000
総移動量 500 mm 750 mm 1000 mm
モータータイプ リニアブラシレスサーボモーター
バス電圧(1) DC 80V
フィードバック 非接触リニアエンコーダ
最大速度(3) 2 m/s
最大加速度 2 g (無荷重)
最大荷重(4) 50.0 kg
精度 -E1エンコーダ 較正時(1) ±0.75 µm ±1 µm
未較正 ±15.75 µm ±18.5 µm ±20.0 µm
-E3エンコーダ 較正時(1) ±0.75 µm ±1 µm
未較正 ±5.0 µm
繰り返し精度 -E1エンコーダ ±0.3 µm ±0.4 µm
-E3エンコーダ ±0.3 µm ±0.4 µm
直線性および平坦性 最大偏差 ±2.0 µm ±3.0 µm ±4.0 µm
ピッチ/ロール/ヨー 5 arc sec 7.5 arc sec 10 arc sec
公称ステージ質量 49.0 kg 61.0 kg 72.5 kg
動作圧力(7) 80 psig ±5 psig
空気消費量(8) 19.8 SLPM (0.7 SCFM) (単軸)
移動質量 9 kg
材料 アルミ製
仕上げ 硬質皮膜加工(ロックウェル硬さ62)
  1. XY構成にABL2000をマウントする場合、上軸の最大長は300 mmです。
  2. 最大速度はステージ性能に基づいています。最大適用速度は、システムのデータ速度や分解能によって制限されることがあります。
  3. 最大荷重はベアリング性能に基づいて決まります。最大適用荷重は加速の条件によって制限されることがあります。
  4. Aerotechコントローラを使った場合。
  5. エアベアリングを圧力不足から保護するため、モーションコントローラ/アンプESTOP入力に連携するインライン圧力スイッチを推奨します。
  6. 空気供給は清潔に保ち、露点温度0°F(-17.78°C)まで乾燥させ、フィルターを適用して0.25 µm以下に抑える必要があります。純度99.9%の窒素ガスを推奨します。
  7. 仕様は、テーブルトップから25 mm上の単軸システムのものです。 多軸システムの性能はペイロードと作業点によって決まります。 多軸または非標準用途については、工場にご相談ください。
  • ABL2000
  • ABL2000

寸法

  • ABL2000

注文情報

ABL2000エアベアリング ダイレクトドライブリニアステージ

移動ステージ(必須)

オプション 説明
-0100 移動量100 mm
-0200 移動量200 mm
-0300 移動量300 mm
-0400 移動量400 mm
-0500 移動量500 mm
-0750 移動量750 mm
-1000 移動量1000 mm

フィードバック(必須)

オプション 説明
-E1 インクリメンタルリニアエンコーダ、1 Vpp増幅正弦波出力
-E2 インクリメンタルリニアエンコーダ。0.1 μmデジタルTTL出力
-E3 高精度インクリメンタルリニアエンコーダ、1 Vpp増幅正弦波出力

リミット(必須)

オプション 説明
-LI1 通常閉、5 Vの移動終了リミットスイッチ
-LI2 通常開、5 Vの移動終了リミットスイッチ

ケーブル管理(オプション)

オプション 説明
-CMS1 XYアセンブリの下軸用ケーブル管理システム
-CMS2 XYアセンブリの上軸用ケーブル管理システム

計測(必須)

オプション 説明
-R1 計測、性能プロットで較正なし
-PL2 計測、性能プロットによる較正済み(HALAR)

統合(必須)

Aerotechは、標準とカスタムの両方の統合サービスを提供し、お客様のシステムをできるだけ早く完全に運用できるよう支援します。 このシステムでは、次の標準統合オプションを使用できます。 必要な統合レベルがわからない場合、または御社のシステムにカスタム統合サポートが必要な場合は、Aerotechにご相談ください。

オプション 説明
-TAS 統合 - システムとしてテスト
一緒に使用される完全なシステム(例: ドライブ、コントローラ、ステージ)として、コンポーネントグループのテスト、統合、および文書化を行います。 これには、パラメータファイルの生成、システムチューニング、およびシステム構成の文書化が含まれます。
-TAC 統合 - コンポーネントとしてテスト
個々のアイテムを一緒に出荷される個別のコンポーネントとしてテストおよび統合します。 これは通常、スペアパーツ、交換部品、または一緒に使用されないアイテムに使用されます。 こうしたコンポーネントは、より大きいシステムの一部である場合もあればそうでない場合もあります。

アクセサリ(別品目として注文)

オプション 説明
ABF エアベアリングろ過キット