ABL8000エアベアリング ダイレクトドライブリニアステージ

説明

設計の主な特徴

  • 最大移動量1000 mm
  • 高精度リニアエンコーダ

最先端の製造、とりわけ半導体およびデータストレージ分野では、従来のボールねじ式および機械ベアリング位置決めシステムの能力を超える位置決め上の公差が求められます。 エアオン空気プリロード、非常に高い剛性、そして優れた幾何学的特性を備えたABL8000は、特にこうした要求を満たすために特別設計されています。

エアベアリングデザイン

ABL8000の水平面および垂直面にはアクティブプリロードが搭載されています。 対抗する薄膜圧力でベアリングの呼びギャップ許容度を維持します。 この設計は、荷重を広い表面に分散する大きなエアベアリング面だけでなく、ステージの剛性が強化されており、高荷重またはオフセット荷重に理想的です。

独自の製造技術により、優れた幾何学的特性を有するステージを開発しました。 エアベアリングには性能を最大限に高める固有の平均化効果が備わっています。 薄膜は小型の表面ボイドを埋め、他の不規則性を可能にします。 この特性により、ピッチ、ロール、ヨー、直線性、平坦性で優れた仕様が可能になります。

リニアモータードライブ

このステージを支える駆動力は、AerotechのBLMシリーズブラシレスリニアサーボモーターです。 モーターメーカーとしてのAerotechの長い歴史と経験が、この設計に反映されています。 BLMにはコギングや吸引力が発生しないアイアンレスフォーサーが使用されているため、非常に滑らかなモーションです。 大きな力と速度を生成できるBLMは、パワーと性能の究極の組み合わせです。

ゼロメンテナンス

弊社の非接触エアベアリング、非接触リニアモータードライブ、非接触フィードバックデバイスは、Aerotech機器に求められる高性能レベルで、長期間のメンテナンスフリー操作を実現します。 可動部間でまったく機械的な接触がないため、ABL8000には経年による摩耗や性能低下が生じません。 使用寿命は実質無制限で、潤滑剤を使用しない(クリーンな乾性ガスのみ)ため、エアベアリングはクリーンルームや医療用途に適しています。

ケーブル管理

ケーブルの曲げ半径を慎重に最適化し、長年にわたる故障のない運転を実現します。 万一コンポーネントに故障が起きても、モジュラーデザインのため、最小限のダウンタイムで簡単にケーブルが交換できます。

最終的なシステムへの統合を円滑にするため、ユーザー要求ケーブル、空気ホースなどすべてをCMSに統合します。 両端にはすべてコネクタが付き、お客様のマシンに簡単に統合できます。

仕様

ABL8000の仕様

モデルABL8000-0200ABL8000-0300ABL80000-0400ABL8000-0500ABL8000-0750ABL8000-1000
総移動量(1) 200 mm 300 mm 400 mm 500 mm 750 mm 1000 mm
精度(2) -E2エンコーダ、未較正 ±5.0 µm ±6.0 µm ±7.0 µm
-E1エンコーダ、未較正 ±8.0 µm ±11.5 µm ±14.0 µm ±15.75 µm ±18.5 µm ±20.0 µm
-E1 and -E2 Encoders, Calibrated(3) ±0.5 µm ±0.75 µm ±1.0 µm
双方向繰り返し精度(2) ±0.2 µm ±0.3 µm ±0.4 µm
直線性(2) ±0.4 µm ±0.75 µm ±1.5 µm ±2.0 µm ±3.0 µm ±4.0 µm
平坦性(2) ±0.4 µm ±0.75 µm ±1.5 µm ±2.0 µm ±3.0 µm ±4.0 µm
ピッチ 2 arc sec 3 arc sec 4 arc sec 5 arc sec 7.5 arc sec 10 arc sec
ロール 2 arc sec 3 arc sec 4 arc sec 5 arc sec 7.5 arc sec 10 arc sec
ヨー 2 arc sec 3 arc sec 4 arc sec 5 arc sec 7.5 arc sec 10 arc sec
最大速度(4) -E2エンコーダ 1.2 m/s
-E1エンコーダ 2 m/s
最大加速度 2 g (無荷重)
耐荷重(7) -SC 水平方向 70 kg
サイド 30 kg
-LC 水平方向 120 kg
サイド 50 kg
動作圧力(8) 517~551 kPa
空気消費量(9) -SC 軸あたり36 SLPM
-LC 軸あたり58 SLPM
移動質量 -SC 10 kg
-LC 16 kg
ステージ質量 -SC 55 kg 62 kg 70.5 kg 78.5 kg 98 kg 116.5 kg
-LC 70 kg 77 kg 85.5 kg 93.5 kg 113 kg 131.5 kg
材料 アルミ製
平均故障間隔 30,000時間
  1. XY構成にABL8000をマウントする場合、上軸の最大長は400 mmです。
  2. 各ステージで認定済み。
  3. Aerotechコントローラを使った場合。
  4. 最大速度はステージ性能に基づいています。最大適用速度は、システムのデータ速度や分解能によって制限されることがあります。
  5. 最大荷重はベアリング性能に基づいて決まります。最大適用荷重は加速の条件によって制限されることがあります。
  6. エアベアリングを圧力不足から保護するため、モーションコントローラ/アンプESTOP入力に連携するインライン圧力スイッチを推奨します。
  7. 空気供給は清潔に保ち、露点温度0°F(-17.78°C)まで乾燥させ、フィルターを適用して0.25 µm以下に抑える必要があります。純度99.9%の窒素ガスを推奨します。
  8. 仕様は、テーブルトップから25 mm上の単軸システムのもの向けです。 多軸システムの性能はペイロードと作業点によって決まります。 多軸または非標準用途については、工場にご相談ください。

電気的特性

フィードバック -E2エンコーダ インクリメンタルエンコーダ。4 µm基本周期
-E1エンコーダ インクリメンタルエンコーダ。20 µm基本周期
電子的分解能 注文情報で信号周期のオプションを参照してください
最大バス電圧 DC 80V
リミットスイッチ 5 V、通常開
ホームスイッチ 中央近く

推奨コントローラ

多軸 A3200 Ndrive MP/Ndrive CP/Ndrive HLe/Npaq MXR
Ensemble Ensemble MP/Ensemble CP/Ensemble HLe/Epaq
単軸 Soloist Soloist MP/Soloist CP/Soloist HLe
  • ABL8000-specs
  • abl8000-specs2

寸法

注文情報

ABL8000エアベアリング ダイレクトドライブリニアステージ

オプション 説明
-0200 移動量200 mm
-0300 移動量300 mm
-0400 移動量400 mm
-0500 移動量500 mm
-0750 移動量750 mm
-1000 移動量1000 mm

キャリッジ(必須)

オプション 説明
-SC ショートキャリッジ - 長さ250mm
-LC ロングキャリッジ - 長さ400 mm

注: XYアセンブル構成では、下部(X)軸には-LCオプションが必要で、上部(Y)軸には最大移動量400 mmの-SCオプションが必要です。

リミット(必須)

オプション 説明
-LI1 通常閉、5 Vの移動終了リミットスイッチ
-LI2 通常開、5 Vの移動終了リミットスイッチ

フィードバック(必須)

オプション 説明
-E1 インクリメンタルリニアエンコーダ。1 Vpp
-E2 インクリメンタルリニアエンコーダ。高精度、1 Vpp

ケーブル管理(オプション)

オプション 説明
-CMS1 単軸用外部ケーブル管理システム
-CMS2 空気/真空ライン付き単軸用外部ケーブル管理システム
-CMS3 信号ケーブル付き単軸用外部ケーブル管理システム
-CMS4 空気/真空ラインと信号ケーブル付き単軸用外部ケーブル管理システム
-CMS5 XYの下軸用外部ケーブル管理システム
-CMS6 空気/真空ライン付きXY下軸用外部ケーブル管理システム
-CMS7 信号ケーブル付きXYの下軸用外部ケーブル管理システム
-CMS8 空気/真空ラインと信号ケーブル付きXYの下軸用外部ケーブル管理システム

計測(必須)

オプション 説明
-R1 計測、性能プロットで較正なし
-PL2 計測、性能プロットによる較正済み(HALAR)

統合(必須)

Aerotechは、標準とカスタムの両方の統合サービスを提供し、お客様のシステムをできるだけ早く完全に運用できるよう支援します。 このシステムでは、次の標準統合オプションを使用できます。 必要な統合レベルがわからない場合、または御社のシステムにカスタム統合サポートが必要な場合は、Aerotechにご相談ください。

オプション 説明
-TAS 統合 - システムとしてテスト
一緒に使用される完全なシステム(例: ドライブ、コントローラ、ステージ)として、コンポーネントグループのテスト、統合、および文書化を行います。 これには、パラメータファイルの生成、システムチューニング、およびシステム構成の文書化が含まれます。
-TAC 統合 - コンポーネントとしてテスト
個々のアイテムを一緒に出荷される個別のコンポーネントとしてテストおよび統合します。 これは通常、スペアパーツ、交換部品、または一緒に使用されないアイテムに使用されます。 こうしたコンポーネントは、より大きいシステムの一部である場合もあればそうでない場合もあります。

アクセサリ(別品目として注文)

オプション 説明
ABF エアベアリングろ過キット