ALS130H機械ベアリング ダイレクトドライブリニアステージ

説明

設計の主な特徴

  • 最大75 nmの双方向繰り返し精度
  • 超精密モーションのためのダイレクトドライブ リニアモーター
  • 高精度非接触ガラススケールリニアエンコーダ
  • スムーズモーションのための抗ケージクリープクロスローラーベアリング
  • 小設置面積で優れた性能を発揮

サブナノメートル分解能、優れた双方向繰り返し精度、卓越した低速性能を持つALS130Hは、前例のないソリューションとして高性能試験、計測、検査などの厳しい要件の用途に適しています。

リニアモータードライブ

サイドドライブ親ねじを使用する大半のステージとは異なり、ALS130Hは中央駆動、ノンコギングのリニアモーターを駆動要素にしています。 リニアモーターはダイレクトドライブデバイスであるため、バックラッシュやワインドアップ、また、通常親ねじやボールねじ駆動で見られる“スティクション”がありません。

リニアモータードライブは、高速、高加速度という利点も提供します。 コンパクトでありながらパワフルなリニアモーターによって、ALS130Hでは1 gの無負荷時ピーク加速度と300 mm/sの最大速度を達成します。 これにより、同程度の高精度ねじ駆動式ステージを大幅に上回る優れたスループットを備えた高性能ステージが実現します。

優れた分解能

アライメント用途には、ステップ間の優れた分解能が重要です。 ALS130Hは、Aerotechのコントロールと連結することで0.5 nmの分解能を達成し、この要求を満たします。

ダイレクトドライブリニアモーターによって、ALS130Hは精密で小さな分解能ステップが可能です。 これは特にステップ精度が鍵となるアライメント用途において重要です。 さらに、リニアモーターおよび高分解能エンコーダシステムは優れたインポジション安定性も提供します。

優れた幾何学配置

Aerotechの超剛性構造とコンパクトなツーピース設計によって、他に例を見ない幾何公差を備えたステージを実現しました。 その結果、標準ステージの直線性と平坦性は、全移動域にわたって<±1 μmです。

スムーズな移動

滑らかで振動フリーのモーションに特化して設計されたALS130Hは、卓越したモーションの滑らかさを得るため、精密な抗ケージクリープクロスローラーベアリングを採用しています。 ベアリングシステムもドライブシステムも再循環エレメントを一切使用していないため、ALS130Hは走査・点検用途に必要な優れたリップルフリー動作を発揮します。

耐用期間を長くする設計

Aerotech製品群のステージがすべてそうであるように、ALS130Hは優れた長期的性能を念頭に設計されました。 リニアモーターとリニアエンコーダはともに非接触デバイスであり、耐用期間が長いだけでなく、メンテナンスもまったく必要としません。 移動式磁気トラックの設計でケーブル管理が不要となり、さらに長期的な信頼性も向上しました。

精密なアライメント

ALS130HシリーズのステージはXYアセンブリとして簡単に構成できます。 オプションとして、最大5秒角の精密直交アライメントや垂直軸ソリューションが使用できます。

仕様

ALS130Hの仕様

モデルALS130H-025ALS130H-050ALS130H-100ALS130H-150
移動量 25 mm 50 mm 100 mm 150 mm
ドライブシステム リニアブラシレスサーボモーター(BLMUC-95-A)
バス電圧 最大DC 80V
連続電流 Apk 2.94
Arms 2.08
フィードバック 非接触リニアエンコーダ
分解能(最小インクリメンタル運動) 0.5 nm~1.0 µm
最大移動速度(1) 300 mm/s
最大リニア加速度 1 g (無荷重)
最大荷重(2) 水平方向 12.0 kg
サイド 10.0 kg
精度 較正時(3) ±0.3 µm
未較正 ±1.0 µm ±1.0 µm ±2.0 µm ±3.0 µm
繰り返し精度 平均 75 nm
ピークツーピーク ±100 nm
直線性および平坦性 最大偏差 ±1.0 µm ±1.0 µm ±1.5 µm ±2.0 µm
ピッチ 5 arc sec 6 arc sec 8 arc sec 10 arc sec
ロール 5 arc sec 6 arc sec 8 arc sec 10 arc sec
ヨー 3 arc sec 3 arc sec 4 arc sec 5 arc sec
公称ステージ重量 3.0 kg 3.0 kg 3.8 kg 4.6 kg
移動質量 0.9 kg 1.1 kg 1.3 kg 1.6 kg
構造 アルミ製本体/ブラックアルマイト仕上げ
  1. ステージ性能に基づく最大速度。 最大適用速度は、システムのデータ速度や分解能によって制限されることがあります。
  2. 最大荷重はベアリング性能に基づいて決まります。 最大適用荷重は加速の条件によって制限されることがあります。
  3. Aerotechコントローラを使った場合。
  4. 仕様は、テーブルトップから25 mm上の単軸システムのものです。 多軸システムの性能はペイロードと作業点によって決まります。 多軸または非標準用途については、工場にご相談ください。

寸法

注文情報

ALS130H機械ベアリング ダイレクトドライブリニアステージ

移動ステージ(必須)

オプション 説明
-025 高精度1 Vppエンコーダとシングル25ピンコネクタを備えた25 mm移動ステージ
-050 高精度1 Vppエンコーダとシングル25ピンコネクタを備えた50 mm移動ステージ
-100 高精度1 Vppエンコーダとシングル25ピンコネクタを備えた100 mm移動ステージ
-150 高精度1 Vppエンコーダとシングル25ピンコネクタを備えた150 mm移動ステージ
    注: 25ピンコネクタは、80Vを越えるバス電圧を使うシステムでは無効です。

ケーブル管理(オプション)

オプション 説明
-CMS1 XYアセンブリの下軸用の外部CMS、右側
-CMS2 XYアセンブリの下軸用の外部CMS、左側

注: CMSオプションは25 mmの移動ステージとは併用できません。 下軸ステージのみでCMSをご注文ください。

計測(必須)

オプション 説明
-R1 計測、性能プロットで較正なし
-PL2 計測、性能プロットによる較正済み(HALAR)

統合(必須)

Aerotechは、標準とカスタムの両方の統合サービスを提供し、お客様のシステムをできるだけ早く完全に運用できるよう支援します。 このシステムでは、次の標準統合オプションを使用できます。 必要な統合レベルがわからない場合、または御社のシステムにカスタム統合サポートが必要な場合は、Aerotechにご相談ください。

オプション 説明
-TAS 統合 - システムとしてテスト
一緒に使用される完全なシステム(例: ドライブ、コントローラ、ステージ)として、コンポーネントグループのテスト、統合、および文書化を行います。 これには、パラメータファイルの生成、システムチューニング、およびシステム構成の文書化が含まれます。
-TAC 統合 - コンポーネントとしてテスト
個々のアイテムを一緒に出荷される個別のコンポーネントとしてテストおよび統合します。 これは通常、スペアパーツ、交換部品、または一緒に使用されないアイテムに使用されます。 こうしたコンポーネントは、より大きいシステムの一部である場合もあればそうでない場合もあります。