ALS135機械ベアリング ダイレクトドライブリニアステージ

説明

設計の主な特徴

  • 超精密モーションのためのダイレクトドライブ リニアモーター
  • 高精度非接触リニアエンコーダ
  • 小設置面積で優れた性能を発揮

リニアモータードライブ

サイドドライブ親ねじを使っている多くのステージと異なり、ALS135は中央駆動、ノンコギングのリニアモーターを駆動要素にしています。 リニアモーターはダイレクトドライブデバイスであるため、バックラッシュやワインドアップ、また通常親ねじやボールねじ駆動で見られる“スティクション”がありません。

リニアモータードライブは、高速、高加速度という利点も提供します。 コンパクトでありながらパワフルなリニアモーターが、ALS135において1 gの無負荷時ピーク加速度と300 mm/sの最大速度を達成します。 これにより、同程度の高精度ねじ駆動式ステージを大幅に上回る、優れたスループットを備えた高精度デバイスが実現します。

優れた分解能

アライメント用途には、ステップ間の優れた分解能が重要です。 ALS135は、Aerotechのコントロールと連結することで2.5 nmの分解能を達成し、この要求を満たします。 ダイレクトドライブリニアモーターによって、ALS135は精密で小さな分解能ステップが可能になります。 これは特にステップ精度が鍵となるアライメント用途において重要です。

優れた幾何学配置

Aerotechの超剛性構造およびコンパクトなツーピース設計によって、他に例を見ない幾何公差を備えたステージを実現します。 その結果、標準ステージの直線性と平坦性は、全移動域にわたって<±2 μmです。 アッベ誤差の影響をほぼ解消して、全体的なシステムの精度は大幅に改善されています。

スムーズな移動

滑らかで振動フリーのモーションに特化して設計されたALS135は、走査・点検用途に必要な優れたリップルフリー動作を発揮します。

耐用期間を長くする設計

Aerotech製品群のステージがすべてそうであるように、ALS135は優れた長期的性能を念頭に設計されました。 リニアモーターとリニアエンコーダはともに非接触デバイスであり、耐用期間が長いだけでなく、メンテナンスもまったく必要としません。 移動式磁気トラックの設計でケーブル管理が不要となり、さらに長期的な信頼性も向上しました。

精密なアライメント

ALS135シリーズのステージはXYアセンブリとして簡単に構成できます。 オプションとして、最大5秒角の精密直交アライメントや垂直軸ソリューションが使用できます。

仕様

機械的仕様

モデルALS135-025ALS135-050ALS135-100ALS135-150ALS135-200
移動量 25 mm 50 mm 100 mm 150 mm 200 mm
ドライブシステム リニアブラシレスサーボモーター(BLMUC-95-A)
バス電圧 シングル25ピンDスタイルコネクタで最大DC 80V、
スプリットフィードバックおよびスプリットパワーで最大DC 160V – 2つの25ピンDスタイルコネクタ
連続電流 Apk 2.94
Arms 2.08
フィードバック 非接触リニアエンコーダ
分解能 0.0025~1.0 µm
最大移動速度(1) 300 mm/s
最大リニア加速度 1 g (無荷重)
最大荷重(2) 水平方向 15.0 kg
サイド 10.0 kg
精度 較正時(3) ±0.3 µm
未較正 ±2.0 µm ±2.0 µm ±4.0 µm ±6.0 µm ±8.0 µm
繰り返し精度(3) ±100 nm
直線性および平坦性 最大偏差 ±1 µm ±1.5 µm ±1.5 µm ±2 µm ±2 µm
ピッチ ±5 arc sec ±6 arc sec ±8 arc sec ±10 arc sec ±12 arc sec
ロール ±5 arc sec ±6 arc sec ±8 arc sec ±10 arc sec ±12 arc sec
ヨー ±5 arc sec ±5 arc sec ±6 arc sec ±7 arc sec ±9 arc sec
公称ステージ重量 2.8 kg 3.0 kg 3.8 kg 4.6 kg 5.4 kg
移動質量 0.9 kg 1 kg 1.2 kg 1.4 kg 1.6 kg
構造 アルミ製本体/ブラックアルマイト仕上げ
  1. ステージ性能に基づく最大速度。 最大適用速度は、システムのデータ速度や分解能によって制限されることがあります。
  2. 最大荷重はベアリング性能に基づいて決まります。 最大適用荷重は加速の条件によって制限されることがあります。
  3. Aerotechのコントロールを使用し、較正を行った値。
  4. 仕様は、テーブルトップから25 mm上の単軸システムのもの向けです。 多軸システムの性能はペイロードと作業点によって決まります。 多軸または非標準用途については、工場にご相談ください。

寸法

注文情報

ALS135機械ベアリング ダイレクトドライブリニアステージ

オプション 説明
-025 移動量25 mm
-050 移動量50 mm
-100 移動量100 mm
-150 移動量150 mm
-200 移動量200 mm

フィードバック(必須)

オプション 説明
-E1 インクリメンタルリニアエンコーダ、1 Vpp
-E2 インクリメンタルリニアエンコーダ、1 μmデジタルTTL出力
-E3 インクリメンタルリニアエンコーダ、0.1 μmデジタルTTL出力

リミット(必須)

オプション 説明
-LI1 5Vリミット、通常閉
-LI2 5Vリミット、通常開

コネクタ(必須)

オプション 説明
-CN1 シングル25ピンDコネクタ
-CN2 ダブル4ピンHPDおよび25ピンDコネクタ
    注: -CN1オプションは、80V以上のバス電圧を使うシステムでは無効です。

ケーブル管理(オプション)

オプション 説明
-CMS1 XYアセンブリの下軸用ケーブル管理システム
-CMS2 XYアセンブリの上軸用ケーブル管理システム

計測(必須)

オプション 説明
-PL1 計測、性能プロットで較正なし
-PL2 計測、性能プロットによる較正済み(HALAR)

統合(必須)

Aerotechは、標準とカスタムの両方の統合サービスを提供し、お客様のシステムをできるだけ早く完全に運用できるよう支援します。 このシステムでは、次の標準統合オプションを使用できます。 必要な統合レベルがわからない場合、または御社のシステムにカスタム統合サポートが必要な場合は、Aerotechにご相談ください。

オプション 説明
-TAS 統合 - システムとしてテスト
一緒に使用される完全なシステム(例: ドライブ、コントローラ、ステージ)として、コンポーネントグループのテスト、統合、および文書化を行います。 これには、パラメータファイルの生成、システムチューニング、およびシステム構成の文書化が含まれます。
-TAC 統合 - コンポーネントとしてテスト
個々のアイテムを一緒に出荷される個別のコンポーネントとしてテストおよび統合します。 これは通常、スペアパーツ、交換部品、または一緒に使用されないアイテムに使用されます。 こうしたコンポーネントは、より大きいシステムの一部である場合もあればそうでない場合もあります。