ALS2200機械ベアリング ダイレクトドライブリニアステージ

説明

設計の主な特徴

  • 完全密閉設計
  • 非常にスムーズなコギングフリーモーション
  • パワフルなリニアブラシレスサーボモーター
  • 高精度
  • 優れた直線性/平坦性

パワフルなリニアモータードライブを高精度クロスローラーベアリングおよび完全密封されたシステムと組み合わせることで、ALS2200は優れた性能を備えた製造グレードステージになります。

優れた構造

特に滑らかな移動を必要とする用途のために設計されたALS2200は、精密クロスローラーベアリングを搭載しています。 再循環エレメントがないため、移動量全体の振動は最小限に抑えられ、優れた速度安定性を発揮します。 ALS2200の土台は、ストレスを低減した特殊アルミ合金を機械加工して押し出したもので、優れた剛性と長期的な安定性を備えています。

リニアモータードライブ

ALS2200はアイアンレスコアを使用しているためコギングフリー設計です。 コギングがないことで、非常に厳格な速度制御や優れたコンタリングモーションプロファイルが可能になります。 すべてのAerotech ALSシリーズのステージと同様に、ゼロバックラッシュ、ノーワインドアップ、ゼロフリクションで、優れたシステムの応答性を実現します。

優れた分解能

ステップ間の優れた分解能を必要とする用途はたくさんあります。 ALS2200は、Aerotechのコントロール製品と連結することで3 nmの分解能を達成し、この要求を満たします。 ダイレクトドライブリニアモーターによって、ALS2200では、特にステップ精度が鍵となるアライメント用途において重要な、精密で小さな分解能ステップが可能になります。

密閉設計

ステージをデブリや微粒子から保護するために、ALS2200は金属製ノンカットウェイカバーと高度な密封システムを採用しています。 清潔に保つことが難しく、全体的なステージの断面積を増大させるベローズの代わりに、張力をかけたサイドストラップが使用されています。 ストラップは、デブリの堆積を防ぐ垂直方向に配置され、しっかり密閉するために常に張力がかけられています。

簡単なアセンブリ

ALS2200のテーブルトップは、保護用の傷つきにくいテフロン®含浸で硬質皮膜加工(ロックウェル硬さ62)されています。 テーブルトップの取り付け穴はすべてステンレス製のHelicoil® インサートを採用しており、ねじによる摩耗を防止します。 土台の取り付け穴はステージの外側にあるため、ハードカバーを外さずにステージを取り付けられます。

ALS2200は、リニアモータードライブ機構に移動式磁気設計を採用しています。 そのため移動ケーブルがなく、当然ケーブル管理システムもないため、システム相互接続が簡素化されます。

ALS2200slide

仕様

機械的仕様

モデルALS22010ALS22015
移動量 100 mm 150 mm
精度(1) 標準 ±4.0 µm ±6.0 µm
較正時 ±0.75 µm
分解能 3 nm
繰り返し精度(1) (双方向) ±0.2 µm
繰り返し精度(1) (単方向) ±0.1 µm
直線性(1) ±1.5 µm ±2.0 µm
平坦性(1) ±1.5 µm ±2.0 µm
ピッチ 10 arc sec 14 arc sec
ロール 10 arc sec 14 arc sec
ヨー 8 arc sec 10 arc sec
最大速度 500 mm/s
最大加速度 1 g
最大力(連続) 32.4 N
耐荷重(2) 水平方向 30 kg
サイド 30 kg
移動質量 6.4 kg 7.4 kg
ステージ質量 14 kg 16 kg
材料 アルミ製
MTBF (平均故障間隔) 20,000時間
  1. 各ステージで認定済み。
  2. 軸積み込みのための軸の定位置が記載されています。
  3. 仕様は、テーブルトップから25 mm上の単軸システムのものです。 多軸システムの性能はペイロードと作業点によって決まります。 多軸または非標準用途については、工場にご相談ください。

電気的特性

ドライブシステム ブラシレスリニアサーボモーター
フィードバック 非接触リニアエンコーダ
最大バス電圧 DC 340V
リミットスイッチ 5V、通常閉/通常開
ホームスイッチ 中央近く

推奨コントローラ

多軸 A3200 Ndrive MP/Ndrive CP/Ndrive HPe/Ndrive HLe
Ensemble

Ensemble MP/Ensemble CP/Ensemble HPe/Ensemble HLe

単軸 Soloist Soloist MP/Soloist CP/Soloist HPe/Soloist HLe

寸法

  • ALS2200の寸法

注文情報

ASL2200
移動ステージ(必須)

オプション 説明
-100
-150
-100 mm
-150 mm

リミット(必須)

オプション 説明
-LI1 通常閉、5 Vの移動終了リミットスイッチ
-LI2 通常開、5 Vの移動終了リミットスイッチ

計測(必須)

オプション 説明
-R1 計測、性能プロットで較正なし
-PL2 計測、性能プロットによる較正済み(HALAR)

統合(必須)

Aerotechは、標準とカスタムの両方の統合サービスを提供し、お客様のシステムをできるだけ早く完全に運用できるよう支援します。 このシステムでは、次の標準統合オプションを使用できます。 必要な統合レベルがわからない場合、または御社のシステムにカスタム統合サポートが必要な場合は、Aerotechにご相談ください。

オプション 説明
-TAS 統合 - システムとしてテスト
一緒に使用される完全なシステム(例: ドライブ、コントローラ、ステージ)として、コンポーネントグループのテスト、統合、および文書化を行います。 これには、パラメータファイルの生成、システムチューニング、およびシステム構成の文書化が含まれます。
-TAC 統合 - コンポーネントとしてテスト
個々のアイテムを一緒に出荷される個別のコンポーネントとしてテストおよび統合します。 これは通常、スペアパーツ、交換部品、または一緒に使用されないアイテムに使用されます。 こうしたコンポーネントは、より大きいシステムの一部である場合もあればそうでない場合もあります。