ANT130Lシリーズ単軸リニアダイレクトドライブナノ位置決めステージ

説明

設計の主な特徴

  • 大規模な移動量でナノメートルレベルの性能を発揮
  • 高分解能(1 nm)、繰り返し精度 (75 nm)、精度(250 nm)
  • インポジション安定性は1 nm未満
  • クリープ防止クロスローラーベアリング
  • 高いダイナミックパフォーマンス
  • 豊富な選択肢 – 移動量と精度の8つのモデル

ANT130Lシリーズのステージは、最大160 mmの移動量において、ナノメートルレベルの性能を発揮します。 薄型で優れたパフォーマンス特性を発揮するANT130Lは、高精度アライメント、検査、位置決め、測定などのステーションに適した究極のソリューションです。

非接触型ダイレクトドライブ

リニアモータードライブは、高速、高加速度という利点も提供します。 コンパクトでありながらパワフルなリニアモータードライブによって、ANT130Lでは1 gの無負荷時ピーク加速度と350 mm/sの最大速度を達成します。 これにより、同程度の高精度ねじ駆動式ステージまたは同クラスの他のステージを大幅に上回る、優れたスループットを備えた高精度デバイスが実現します。

優れた分解能

アライメント用途には、ステップ間の優れた分解能が重要です。 ANT130Lは、Aerotechのドライブおよびコントロールと連結することで1 nmのインクリメンタルステップサイズを達成し、この要求を満たします。 ダイレクトドライブリニアモーターによって、ANT130Lは精密で小さな分解能ステップが可能になります。 これは特にステップ精度が鍵となるアライメント用途において重要です。

耐用期間を長くする設計

Aerotech製品群のステージがすべてそうであるように、ANT130Lは優れた長期的性能を念頭に設計されました。 リニアモーターとリニアエンコーダはともに非接触デバイスであり、耐用期間が長いだけでなく、メンテナンスもまったく必要としません。

精密なアライメント

ANT130LシリーズのステージはXYアセンブリとして簡単に構成できます。 オプションには最大5秒角の精密直交アライメントや垂直軸ソリューションが含まれます。

仕様

機械的仕様

モデルANT130L-035ANT130L-060
移動量 35 mm 60 mm
精度(1) ベーシック ±2 µm ±2 µm
PLUS ±250 nm ±250 nm
分解能(最小インクリメンタル運動) 1 nm 1 nm
繰り返し精度(双方向)(1) ベーシック ±100 nm ±100 nm
PLUS ±75 nm ±75 nm
位置繰り返し精度(単方向) ±25 nm ±25 nm
直線性(1) ±1.0 µm ±1.0 µm
平坦性(1) ±1.0 µm ±1.0 µm
ピッチ 10 arc sec 10 arc sec
ロール 10 arc sec 10 arc sec
ヨー 5 arc sec 5 arc sec
最大速度 350 mm/s 350 mm/s
最大加速度 1 g (無荷重) 1 g (無荷重)
速度安定性 一般的な性能については、グラフを参照のこと
整定時間 一般的な性能については、グラフを参照のこと
インポジション安定性(2) <1 nm <1 nm
最大力(連続) 23 N 23 N
耐荷重(3) 水平方向 12.0 kg 12.0 kg
サイド 10 kg 10 kg
移動質量 1.2 kg 1.4 kg
ステージ質量 2.1 kg 2.5 kg
材料 アルミ製本体/黒の硬質皮膜加工仕上げ
MTBF (平均故障間隔) 30,000時間
  1. 各ステージで認定済み。
  2. インポジションジッターは3シグマ値です。
  3. 軸積み込みのための軸の定位置が記載されています。
  • 仕様は、テーブルトップから25 mm上の単軸システムのものです。 組み合わせた多軸システムの性能はペイロードと作業点によって決まります。 多軸または非標準用途については、工場にご相談ください。
  • -PLUSはAerotechコントローラを使用する必要があります。
モデルANT130L-110ANT130L-160
移動量 110 mm 160 mm
精度(1) ベーシック ±3 µm ±4 µm
PLUS ±300 nm ±300 nm
分解能(最小インクリメンタル運動) 1 nm 1 nm
繰り返し精度(双方向)(1) ベーシック ±100 nm ±100 nm
PLUS ±75 nm ±75 nm
位置繰り返し精度(単方向) ±25 nm ±25 nm
直線性(1) ±1.0 µm ±1.5 µm
平坦性(1) ±1.0 µm ±1.5 µm
ピッチ 10 arc sec 10 arc sec
ロール 10 arc sec 10 arc sec
ヨー 5 arc sec 5 arc sec
最大速度 350 mm/s 350 mm/s
最大加速度 1 g (無荷重) 1 g (無荷重)
速度安定性 一般的な性能については、グラフを参照のこと
整定時間 一般的な性能については、グラフを参照のこと
インポジション安定性(2) <1 nm <1 nm
最大力(連続) 23 N 23 N
耐荷重(3) 水平方向 12.0 kg 12.0 kg
サイド 10 kg 10 kg
移動質量 1.9 kg 2.3 kg
ステージ質量 3.3 kg 3.9 kg
材料 アルミ製本体/黒の硬質皮膜加工仕上げ
MTBF (平均故障間隔) 30,000時間
  1. 各ステージで認定済み。
  2. インポジションジッターは3シグマ値です。
  3. 軸積み込みのための軸の定位置が記載されています。
  • 仕様は、テーブルトップから25 mm上の単軸システムのものです。 組み合わせた多軸システムの性能はペイロードと作業点によって決まります。 多軸または非標準用途については、工場にご相談ください。
  • -PLUSはAerotechコントローラを使用する必要があります。

電気的特性

ドライブシステム ブラシレスリニアサーボモーター
フィードバック 非接触リニアエンコーダ
最大バス電圧 DC 320 V(-4DU-25DU)、DC 80 V(-25DU)
リミットスイッチ 5V、通常閉
ホームスイッチ 中央近く

推奨コントローラ

多軸 A3200 Npaq MXR
Npaq MR-MXH
Ndrive ML-MXH
Ensemble Epaq MXH
Epaq MR-MXH
Ensemble ML-MXH
単軸 Soloist Soloist ML-MXH
  1. 記載される仕様を満たすには、リニアアンプが必要です。 その他のオプションもあります。

注: 長期間にわたって仕様を確実に達成し繰り返し精度を確保するため、環境温度は24時間、0.25°C以内に制御する必要があります。 これが無理な場合は、代替製品が使用できます。 詳細は、Aerotechまでお問い合わせください。

  • ANT130Lステッププロット
  • ANT130L性能グラフ

寸法

注文情報

ANT130L単軸ダイレクトドライブナノ位置決めステージ

移動量(必須)

オプション 説明
-035 移動量35 mm
-060 移動量60 mm
-110 移動量110 mm
-160 移動量160 mm

コネクタ(必須)

オプション 説明
-CN1 シングル25ピンDコネクタ、25DU
-CN2 2つのコネクタ、4ピンHPDと25ピンDスタイル、4DU-25DU
    注: -CN1オプションは、80V以上のバス電圧を使うシステムでは無効です。

取付板(オプション)

オプション 説明
-MP 取付板

性能等級(必須)

オプション 説明
-R1 基本性能
-PL2 高精度性能、PLUSn)

統合(必須)

Aerotechは、標準とカスタムの両方の統合サービスを提供し、お客様のシステムをできるだけ早く完全に運用できるよう支援します。 このシステムでは、次の標準統合オプションを使用できます。 必要な統合レベルがわからない場合、または御社のシステムにカスタム統合サポートが必要な場合は、Aerotechにご相談ください。

オプション 説明
-TAS 統合 - システムとしてテスト
一緒に使用される完全なシステム(例: ドライブ、コントローラ、ステージ)として、コンポーネントグループのテスト、統合、および文書化を行います。 これには、パラメータファイルの生成、システムチューニング、およびシステム構成の文書化が含まれます。
-TAC 統合 - コンポーネントとしてテスト
個々のアイテムを一緒に出荷される個別のコンポーネントとしてテストおよび統合します。 これは通常、スペアパーツ、交換部品、または一緒に使用されないアイテムに使用されます。 こうしたコンポーネントは、より大きいシステムの一部である場合もあればそうでない場合もあります。