ANT95Lシリーズ単軸リニアダイレクトドライブナノ位置決めステージ

説明

設計の主な特徴

  • 大規模な移動量でナノメートルレベルの性能を発揮
  • 高分解能(1 nm)、繰り返し精度 (75 nm)、精度(250 nm)
  • インポジション安定性は1 nm未満
  • クリープ防止クロスローラーベアリング
  • 高いダイナミックパフォーマンス

はじめに

AerotechのANT95Lシリーズステージは、25 mmを超える移動量を持つ世界初のナノメートルレベル位置決めシステムです。 ANT95LとANT95L-PLUSのクロスローラーステージは、速度、精度、分解能、繰り返し精度、信頼性、サイズの組み合わせでクラス最高であり、2つの精度等級で提供されています。 こうしたリニアステージは、最大5 gの加速、500 mm/sの速度、耐荷重の強化を実現し、標準化されたユニバーサルなベース取り付けパターンを備えているため、幅広い構成で使用することが可能です。

非接触型ダイレクトドライブ

高精度デバイスの大量生産に必要な、堅牢で正確かつ高速の位置決めを可能にするのは、非接触ダイレクトドライブ技術しかありません。 ANT95Lステージは、独自開発の高度なダイレクトドライブ技術を活用して最高レベルの位置決め性能を達成します。 このダイレクトドライブ技術は、高性能、ノンコギング、非接触、高速、高分解能、そして高精度です。 省スペースで極小型の製品であり、高精度位置決め、ディスクドライブ製造、ファイバーアライメント、光学遅延素子の作動、センサーテスト、およびスキャンプロセスといった滑らかで精密な動きを必要とする多くの用途において明らかなメリットを提供する、ドライブとベアリングの組み合わせを搭載しています。

柔軟なシステム設計

ANT95Lシリーズは、容易なシステム統合を計算にいれて、取り付けおよびテーブルトップのユニバーサルパターンを備えています。 2軸、3軸、またはそれ以上の軸を簡単に組み合わせることができ、柔軟なシステム設計と多軸構成が可能です。

システムの特徴

優れた精度、位置繰り返し精度、およびインポジション安定性は、高いシステムの分解能を必要とします。 業界トップの1 nmの最小インクリメンタルステップサイズを備えるANT95Lステージは、この高レベルの性能を提供します。 弊社のダイレクトドライブテクノロジーにはヒステリシスもバックラッシュもないため、正確で繰り返し可能なナノメートルスケールのモーションを実現します。

仕様

機械的仕様

モデルANT95L-025ANT95L-050
移動量 25 mm 50 mm
精度(1) 土台 ±2.5 µm (±100 µin) ±2.5 µm (±100 µin)
PLUS ±250 nm (±10 µin) ±250 nm (±10 µin)
分解能(最小インクリメンタル運動) 1 nm (0.04 µin) 1 nm (0.04 µin)
繰り返し精度(双方向)(1) 土台 ±100 nm (±4 µin) ±100 nm (±4 µin)
PLUS ±75 nm (±3 µin) ±75 nm (±3 µin)
位置繰り返し精度(単方向) ±25 nm (±1 µin) ±25 nm (±1 µin)
直線性(1) ±1.0 µm (±40 µin) ±1.0 µm (±40 µin)
平坦性(1) ±1.0 µm (±40 µin) ±1.0 µm (±40 µin)
ピッチ 10 arc sec 10 arc sec
ロール 10 arc sec 10 arc sec
ヨー 5 arc sec 5 arc sec
最大速度 500 mm/s (20 in/s) 500 mm/s (20 in/s)
最大加速度 5 g (無荷重) 4 g (無荷重)
速度安定性 一般的な性能については、グラフを参照のこと
整定時間 一般的な性能については、グラフを参照のこと
インポジション安定性(2) <1 nm (<0.04 µin) <1 nm (<0.04 µin)
最大力(連続) 7.75 N 9.5 N
耐荷重(3) 水平方向 5.0 kg (11 lb) 7.0 kg (15.4 lb)
サイド 5.0 kg (11 lb) 5.0 kg (11 lb)
移動質量 0.46 kg (1.0 lb) 0.52 kg (1.1 lb)
ステージ質量 0.8 kg (1.8 lb) 1.2 kg (2.7 lb)
材料 アルミ製本体/黒の硬質皮膜加工仕上げ
MTBF (平均故障間隔) 30,000時間
  1. 各ステージで認定済み。
  2. インポジションジッターは3シグマ値です。
  3. 軸積み込みのための軸の定位置が記載されています。
  • 仕様は、テーブルトップから25 mm上の単軸システムのものです。 組み合わせた多軸システムの性能はペイロードと作業点によって決まります。 多軸または非標準用途については、工場にご相談ください。
  • -PLUSはAerotechコントローラを使用する必要があります。
モデルANT95L-075ANT95L-100
移動量 75 mm 100 mm
精度(1) 土台 ±4.0 µm (±160 µin) ±5.0 µm (±200 µin)
PLUS ±275 nm (±11 µin) ±275 nm (±11 µin)
分解能(最小インクリメンタル運動) 1 nm (0.04 µin) 1 nm (0.04 µin)
繰り返し精度(双方向)(1) 土台 ±100 nm (±4 µin) ±100 nm (±4 µin)
PLUS ±75 nm (±3 µin) ±75 nm (±3 µin)
位置繰り返し精度(単方向) ±25 nm (±1 µin) ±25 nm (±1 µin)
直線性(1) ±2.0 µm (±80 µin) ±2.5 µm (±80 µin)
平坦性(1) ±2.0 µm (±80 µin) ±2.5 µm (±80 µin)
ピッチ 10 arc sec 10 arc sec
ロール 10 arc sec 10 arc sec
ヨー 5 arc sec 5 arc sec
最大速度 500 mm/s (20 in/s) 500 mm/s (20 in/s)
最大加速度 3 g (無荷重) 3 g (無荷重)
速度安定性 一般的な性能については、グラフを参照のこと
整定時間 一般的な性能については、グラフを参照のこと
インポジション安定性(2) <1 nm (<0.04 µin) <1 nm (<0.04 µin)
最大力(連続) 9.5 N 12.9 N
耐荷重(3) 水平方向 7.0 kg (15.4 lb) 7.0 kg (15.4 lb)
サイド 5.0 kg (11 lb) 5.0 kg (11 lb)
移動質量 0.72 kg (1.6 lb) 0.91 kg (2.0 lb)
ステージ質量 1.64 kg (3.6 lb) 2.1 kg (4.6 lb)
材料 アルミ製本体/黒の硬質皮膜加工仕上げ
MTBF (平均故障間隔) 30,000時間
  1. 各ステージで認定済み。
  2. インポジションジッターは3シグマ値です。
  3. 軸積み込みのための軸の定位置が記載されています。
  • 仕様は、テーブルトップから25 mm上の単軸システムのものです。 組み合わせた多軸システムの性能はペイロードと作業点によって決まります。 多軸または非標準用途については、工場にご相談ください。
  • -PLUSはAerotechコントローラを使用する必要があります。
電気的特性ANT95L
ドライブシステム ブラシレスリニアサーボモーター
フィードバック 非接触リニアエンコーダ
最大バス電圧 DC ±40V
リミットスイッチ 5V、通常閉
ホームスイッチ 中央近く

推奨コントローラANT95L
多軸 A3200 Npaq MXR
Npaq MR-MXH
Npaq ML-MXH
Ensemble Epaq MXH
Epaq MR-MXH
Ensemble ML-MXH
単軸 Soloist Soloist ML-MXH

 

  1. 記載される仕様を満たすには、リニアアンプが必要です。 その他のオプションもあります。

注: 長期間にわたって仕様を確実に達成し繰り返し精度を確保するため、環境温度は24時間、0.25°C以内に制御する必要があります。 これが無理な場合は、代替製品が使用できます。 詳細は、Aerotechまでお問い合わせください。

  • ステッププロット
  • 性能グラフ

寸法

注文情報

ANT95L単軸リニアダイレクトドライブナノ位置決めステージ

移動ステージ(必須)

オプション 説明
-025 移動量25 mm
-050 移動量50 mm
-075 移動量75 mm
-100 移動量100 mm

取付板(オプション)

オプション 説明
-MP 取付板

性能等級(必須)

オプション 説明
-PL1 基本性能
-PL2 高精度性能、PLUS

統合(必須)

Aerotechは、標準とカスタムの両方の統合サービスを提供し、お客様のシステムをできるだけ早く完全に運用できるよう支援します。 このシステムでは、次の標準統合オプションを使用できます。 必要な統合レベルがわからない場合、または御社のシステムにカスタム統合サポートが必要な場合は、Aerotechにご相談ください。

オプション 説明
-TAS 統合 - システムとしてテスト
一緒に使用される完全なシステム(例: ドライブ、コントローラ、ステージ)として、コンポーネントグループのテスト、統合、および文書化を行います。 これには、パラメータファイルの生成、システムチューニング、およびシステム構成の文書化が含まれます。
-TAC 統合 - コンポーネントとしてテスト
個々のアイテムを一緒に出荷される個別のコンポーネントとしてテストおよび統合します。 これは通常、スペアパーツ、交換部品、または一緒に使用されないアイテムに使用されます。 こうしたコンポーネントは、より大きいシステムの一部である場合もあればそうでない場合もあります。