ATS150機械ベアリング、ねじ駆動式リニアステージ

説明

設計の主な特徴

  • 長寿命リニアモーションガイドベアリングシステム
  • 超微細分解能
  • 一体型ベローズ式ウェイカバー
  • 薄型コンパクト設計
  • サブミクロン精度
  • オプションの高精度リニアエンコーダ

ATS150シリーズのモーター駆動リニアステージは、半導体ウェハーの試験と製造、自動顕微鏡検査システム、および精密マイクロマシニングの用途に必要な高分解能と繰り返し精度を提供します。

構造の主な特徴

ATS150シリーズのステージは、特殊な鋳造アルミ合金から機械加工され、高い強度重量比と長期的な安定性を備えています。 箱型設計の土台は優れた剛性と安定性を提供します。

ATS150シリーズのステージは、高精密研磨ボールねじを予め組み込むことでバックラッシュを除去し、またナットにワイパーが付属していることで、汚染の防止と高精度の維持をステージの耐用期間を通して実現します。 予め組み込まれた高品質の組合せ軸受が、軸方向のすきまを排除します。

すべてのATS150シリーズのステージにリニアモーションガイド(LMG)ベアリングが搭載され、高荷重性能と高剛性を提供しています。 LMG設計は、全移動域にわたる連続キャリッジサポートと高い片持ち負荷容量を備えたコンパクトなステージを実現します。 軸受トラック一体型ワイパーによって、ステージ移動の寿命を確保します。 高精度光学リミットスイッチとエンドストップも標準装備です。

一体型ベローズ式ウェイカバーは、汚染からドライブとベアリングシステムを保護します。 金属面は、魅力的なクリアアルマイト仕上げで保護されています。 取り付けとボルト穴のパターンはメートル法(標準)とヤード・ポンド法の両方でご用意しています。

リニアエンコーダ

非接触精密リニアエンコーダはオプションです。 エンコーダはステージ内部に取り付けられ、外部の汚染物質やデブリから保護されます。

モーターとドライブ

ATS150シリーズのステージにはすべて、AerotechのBMSシリーズブラシレスロータリーモーターが搭載されています。 このモーターはブラシレスモーターのあらゆる利点 – 高加速度、摩耗するブラシがない、低発熱 – を備えつつ、ゼロコギングで優れたスムーズモーションと精度を実現しています。 さらに、対応するさまざまなドライブやコントロールを製造しているため、完全に統合され最適化されたモーションソリューションを提供できます。

仕様

ATS150の仕様

モデルATS150-100 ATS150-150 ATS150-200 ATS150-250
移動量 100 mm 150 mm 200 mm 250 mm
ドライブシステム 超高精密研磨ボールねじ/ブラシレスサーボモーター(BMS60-A-D25-E1000H)
バス電圧 最大DC 160 V
連続電流 Apk 最大2.3 A
Arms 最大1.6 A
フィードバック 非接触ロータリーエンコーダ(1000ライン)
分解能 2 mm/revのリード モーター分解能4000 steps/revで0.5 µm
4 mm/revのリード モーター分解能4000 steps/revで1.0 µm
LNリニアエンコーダ 0.001~0.2 µm N/A N/A
最大移動速度(1) 2 mm/revのリード 115 mm/s
4 mm/revのリード 230 mm/s
最大荷重(2) 水平方向 45.0 kg
垂直 25.0 kg
サイド 25.0 kg
精度 ボールねじ 較正時(3) ±1.0 µm
標準 +2、-4 µm +2、-5 µm +2、-8 µm +2、-10 µm
LN 較正時(3) ±1.0 µm N/A N/A
標準 ±5.0 µm N/A N/A
繰り返し精度(双方向) ボールねじ 較正時(3) ±0.5 µm
標準 ±1.0 µm
LN ±0.5 µm N/A N/A
直線性および平坦性 差動 HALSF 1 µm/25 mm
標準 2 µm/25 mm
最大
偏差
HALSF ±1.0 µm ±1.5 µm ±2.0 µm ±3.0 µm
標準 ±2.0 µm ±3.0 µm ±4.0 µm ±5.0 µm
ピッチおよびヨー 8 arc sec 10 arc sec 12 arc sec 14 arc sec
公称ステージ重量 モーター抜き 6.1 kg 7.5 kg 7.9 kg 8.4 kg
モーター込み 7.2 kg 8.6 kg 9.0 kg 9.5 kg
構造 アルミ製本体/ステージおよびテーブル、クリアアルマイト仕上げ
  1. 過剰な負荷サイクルはステージ精度に影響を与えることがあります。
  2. ペイロード仕様は単軸システムのものであり、ボールねじおよびベアリング寿命の移動量2500 km (1億インチ)に基づきます。
  3. Aerotechコントローラを使った場合。
  4. 仕様は、テーブルトップから25 mm上の単軸システムのものです。 多軸システムの性能はペイロードと作業点によって決まります。 多軸または非標準用途については、工場にご相談ください。
  • ATS150

寸法

  • ATS150
  • HDZ2ブラケット

注文情報

ATS150シリーズ機械ベアリングねじ駆動式リニアステージ

移動ステージ(必須)

オプション 説明
-100 100 mm
-150 150 mm
-200 200 mm
-250 250 mm

真空処理(必須)

オプション 説明
-HV 真空処理、最大10-6トール

ダイレクトリニアフィードバック(必須)

オプション 説明
-E1 高精度インクリメンタルリニアエンコーダ。 1 Vpp
    リニアエンコーダオプションは、100mmと150mmの移動ステージでのみ利用可能

テーブルトップ(必須)

オプション 説明
-TT1 メートル法による取り付けパターンおよび穴の寸法を持つテーブルトップ
-TT2 ヤード・ポンド法による取り付けパターンおよび穴の寸法を持つテーブルトップ

ボールねじ(必須)

オプション 説明
-BS1 2 mm/revの高精密研磨ボールねじ
-BS2 4 mm/revの高精密研磨ボールねじ

モーター(オプション)

オプション 説明
-M1 2500ラインTTLエンコーダ付きBMS60サーボモーター
-M2 2500ラインTTLエンコーダと保持ブレーキ付きBMS60サーボモーター
-M3 1000ライン1 Vppエンコーダ付きBMS60サーボモーター
-M4 1000ライン1 Vppエンコーダと保持ブレーキ付きBMS60サーボモーター
-M5 2500ラインTTLエンコーダ付きBM75サーボモーター
-M6 2500ラインTTLエンコーダと保持ブレーキ付きBM75サーボモーター
-M7 1000ライン1 Vppエンコーダ付きBM75サーボモーター
-M8 1000ライン1 Vppエンコーダと保持ブレーキ付きBM75サーボモーター
-M9 SM60ステッピングモーター、SM60-CN1-VT2
-M10 保持ブレーキ付きSM60ステッピングモーター、SM60-CN1-VT2-BK

フォールドバック(オプション)

オプション 説明
-FB1 直径 0.250 インチシャフトのNEMA 23モーター用フォールドバックキット
-FB2 直径 0.250 インチシャフトのNEMA 23モーター用ブレーキ付きフォールドバックキット

モーター定位置(オプション)

オプション 説明
-2 底面ケーブル出口(オプションの方向)
-3 左面ケーブル出口(標準の定位置)
-4 上面ケーブル出口(オプションの方向)
-5 右側ケーブル出口(オプションの方向)
-8 右側のフォールドバック、標準の定位置
-12 左側フォールドバック、オプションの定位置

リミット(必須)

オプション 説明
-LI1 通常閉のリミットスイッチ。 9ピンDコネクタ付きDC 5 V
-LI2 通常開リミットスイッチ。 9ピンDコネクタ付きDC 5 V
-LI3 通常開リミットスイッチ、9ピンDコネクタ
-LI4 通常開リミットスイッチ、フライングリード

カップリング(オプション)

オプション 説明
-CP1 直径0.250インチのシャフト用カップリング
-CP2 直径0.375インチのシャフト用カップリング

計測(オプション)

オプション 説明
-R1 計測、性能プロットで較正なし
-PL2 計測、性能プロットによる較正済み(HALAR)

計測 - HALSF(オプション)

オプション 説明
-PL5 計測、水平/垂直の直線性補正(HALSF)

統合(必須)

Aerotechは、標準とカスタムの両方の統合サービスを提供し、お客様のシステムをできるだけ早く完全に運用できるよう支援します。 このシステムでは、次の標準統合オプションを使用できます。 必要な統合レベルがわからない場合、または御社のシステムにカスタム統合サポートが必要な場合は、Aerotechにご相談ください。

オプション 説明
-TAS 統合 - システムとしてテスト
一緒に使用される完全なシステム(例: ドライブ、コントローラ、ステージ)として、コンポーネントグループのテスト、統合、および文書化を行います。 これには、パラメータファイルの生成、システムチューニング、およびシステム構成の文書化が含まれます。
-TAC 統合 - コンポーネントとしてテスト
個々のアイテムを一緒に出荷される個別のコンポーネントとしてテストおよび統合します。 これは通常、スペアパーツ、交換部品、または一緒に使用されないアイテムに使用されます。 こうしたコンポーネントは、より大きいシステムの一部である場合もあればそうでない場合もあります。

アクセサリ(別品目として注文)

オプション 説明
ALIGN-NPA 非精密XYアセンブリ
ALIGN-NPAZ 非精密XZまたはYZアセンブリ
ALIGN-PA10 XYアセンブリ。10秒角の直交性。 短い移動ステージ用に7ミクロン以内の直交性でアライメント。
ALIGN-PA10Z Lブラケット付きXZまたはYZアセンブリ。10秒角で直交。 短い移動ステージ用に10ミクロン以内の直交性でアライメント。
ALIGN-PA5 XYアセンブリ。5秒角の直交性。 短い移動ステージ用に7ミクロン以内の直交性でアライメント。
ALIGN-PA5Z Lブラケット付きXZまたはYZアセンブリ。5秒角で直交。 短い移動ステージ用に5ミクロン以内の直交性でアライメント。
HDZ2-AP1500 ヤード・ポンド法の直角L字型ブラケット - ATS1500-100とATS1500-200のみ
HDZ2M-AP1500 メートル法の直角L字型ブラケット - ATS1500-100とATS1500-200のみ