ECO165LMシリーズの機械ベアリング、リニアモーターステージ

説明

設計の主な特徴

  • 高コスト効率かつ高性能な経済的パッケージ
  • 頑丈な機械設計
  • 高精度モーションのためのダイレクトドライブ リニアモーター
  • 移動量100~600 mmの8モデル

ECO165LMシリーズは、ECOリニアステージファミリーに属し、総保有コストの低いデザインを編み出したAerotechの経験に基づいて構築されました。 優れた位置決め仕様、高い剛性、各種のオプションと機能を経済的な価格で提供するECO165LMステージは、中程度の性能を必要とする製造に理想的な選択です。

高品質な機械構造

寿命の長い循環リニアガイドベアリングシステムと質の高い構造によって、ECO165LMは稼働時間がクリティカルな用途にとって魅力的なソリューションです。 競合の低価格なモーションステージとは異なり、ECO165LMは複雑なマシンに組み込みが可能で、しかも、高水準の性能を発揮し、他のマシンコンポーネントより長寿命です。

高精度なモーション性能

ECO165LMシリーズのステージは、高精度、非接触リニアエンコーダで最適化しています。 高精度な循環リニア軸受とAerotechの機械加工およびアセンブリの職人芸によって、市場でも最高の幾何学的性能を発揮します。

高精度非接触エンコーダは、マイクロメートルレベルの繰り返し精度によって最小インクリメンタル運動を10 nmとしました。 オプションのHALAR工場較正によって位置決め精度は±1.5 μmまで高まります。

ダイレクトドライブリニアモーター

ECO165LMは、現場で実績のあるAerotechのリニアモーター技術が標準で搭載されています。 また、強力かつ加速するモーションプロファイル向けに高性能リニアモーターオプションも用意しています。 いずれの場合もアイアンレスフォーサーコイルがゼロコギングの大きな力を発揮し、非常にスムーズな速度制御および位置制御を実現します。 アイアンレス設計は優れたコンタリング精度やスムーズな速度プロファイルを要する用途に適しています。 Aerotechのリニアモーターステージがすべてそうであるように、リニアモーターはノンバックラッシュ、ノーワインドアップ、ゼロフリクション、および優れた動的反応性を備えています。

設計と統合の柔軟性

ECO165LMは移動量100~600 mm、最高速度2 m/sで、8種類のモデルが利用可能です。 単軸および多軸システムの標準オプションとして、設定可能なケーブル管理ソリューションも用意しています。

土台の取り付け穴は、ステージの外側からアクセスできるため、取り付けが簡単です。 どの移動量でもヤード・ポンド法およびメートル法の光学テーブルの標準取り付け穴があります。 テーブルトップは、取り付けパターン用にメートル法もヤード・ポンド法もご用意できます。 テーブルトップの穴パターンによって弊社回転ステージ数種に直接取り付けられます。

ECO165LMステージは、さまざまなニーズに合う多くのオプションを備えた費用効率の高い柔軟性に優れたリニアモーションステージです。 この価格帯で最高の性能と万能性を備えたリニアステージと言えます。

仕様

ECO165LMの仕様

ECO165LM
移動量 100 150 200 250 300 400 500 600
精度(1) 標準 ±6 µm ±8 µm ±10 µm ±12 μm ±14 µm ±16 µm ±18 μm ±20 μm
較正時 ±1.5 μm ±1.5 μm ±2 μm ±2 μm ±2 μm ±2.5 μm ±2.5 μm ±3 μm
分解能(最小
インクリメンタル運動)
10 nm
双方向繰り返し精度(1) ±0.75 µm ±0.75 µm ±0.75 µm ±0.75 µm ±0.75 µm ±1.0 μm ±1.0 μm ±1.0 μm
直線性(1) ±3 µm ±4 µm ±5 µm ±6 µm ±7 µm ±9 μm ±11 μm ±13 μm
平坦性(1) ±3 µm ±4 µm ±5 µm ±6 µm ±7 µm ±9 μm ±11 μm ±13 μm
ピッチ 40 μrad
(8.2 arc sec)
40 μrad
(8.2 arc sec)
50 μrad
(10.3 arc sec)
55 μrad
(11.3 arc sec)
65 μrad
(13.4 arc sec)
80 μrad
(16.5 arc sec)
95 μrad
(19.6 arc sec)
110 μrad
(22.7 arc sec)
ロール 40 μrad
(8.2 arc sec)
40 μrad
(8.2 arc sec)
50 μrad
(10.3 arc sec)
55 μrad
(11.3 arc sec)
65 μrad
(13.4 arc sec)
80 μrad
(16.5 arc sec)
95 μrad
(19.6 arc sec)
110 μrad
(22.7 arc sec)
ヨー 40 μrad
(8.2 arc sec)
40 μrad
(8.2 arc sec)
50 μrad
(10.3 arc sec)
55 μrad
(11.3 arc sec)
65 μrad
(13.4 arc sec)
80 μrad
(16.5 arc sec)
95 μrad
(19.6 arc sec)
110 μrad
(22.7 arc sec)
最大速度(2) 2 m/s
最大加速度(2) 1.5 g
最大力、連続 M1 36.5 N
M2 77.7 N
耐荷重(3) 水平方向 45 kg
サイド 45 kg
移動質量 2.1 kg
ステージ質量 M1 6.4 kg 7.1 kg 7.7 kg 8.3 kg 9.0 kg 10.3 kg 11.6 kg 12.8 kg
M2 7.2 kg 8.0 kg 8.8 kg 9.6 kg 10.4 kg 12.0 kg 13.6 kg 15.2 kg
材料 アルマイト
MTBF (平均故障間隔) 20,000時間
  1. -PL1オプションで認定済み。
  2. 十分な電圧・電流を備え、選択したモーターに合わせた適切なアンプを選択する必要があります。
  3. 軸積み込み用の定位置が記載されています。
  4. テーブルトップから25 mm上で測定した単軸システムの仕様です。 多軸システムの性能はペイロードと作業点によって決まります。 多軸でのご利用については、工場にお問い合わせください。

電気的特性

ドライブシステム ブラシレスリニアサーボモーター
フィードバック 非接触エンコーダ
インクリメンタル – 1 VppおよびTTL (0.1 μm)出力
アブソリュート – EnDat 2.2
最大バス電圧 DC 340V
リミットスイッチ 5V、通常閉
ホームスイッチ 中央近く

推奨コントローラ

多軸 A3200 Ndrive HLe/Ndrive CP/Ndrive HPe/Npaq
Ensemble Ensemble HLe/Ensemble CP/Ensemble HPe
単軸 Soloist Soloist CP/Soloist HPe
  • ECO165LMプロット

寸法

注文情報

ECO165LMシリーズのリニアモーターステージ

移動ステージ(必須)

オプション 説明
-0100 100 mmの移動ステージ
-0150 150 mmの移動ステージ
-0200 200 mmの移動ステージ
-0250 250 mmの移動ステージ
-0300 300 mmの移動ステージ
-0400 400 mmの移動ステージ
-0500 500 mmの移動ステージ
-0600 600 mmの移動ステージ

モーター(オプション)

オプション 説明
-M1 標準モーターオプション
-M2 高性能のモーターオプション

テーブルトップ(オプション)

オプション 説明
-TT1 メートル法による取り付けテーブルトップ
-TT2 ヤード・ポンド法による取り付けテーブルトップ
-TT3 選択した回転ステージ用マウント付きアクセサリテーブルトップ

フィードバック(必須)

オプション 説明
-E1 インクリメンタルエンコーダ、1 Vpp
-E2 インクリメンタルリニアエンコーダ、0.1 μmデジタルTTL出力

ケーブル管理 (必須)

オプション 説明
-CMS0 外部ケーブル管理システムなし。キャリッジ上にモーター/フィードバックコネクタブラケット
-CMS1 単軸用外部ケーブル管理システム
-CMS2 2軸ECO(XY)アセンブリの下軸用の外部CMS
-CMS3 2軸 (XZまたは XT)アセンブリの下軸用の外部CMS
-CMS4 2軸ECO(XY)アセンブリの上軸用の外部CMS

つり金具(オプション)

オプション 説明
-LF つり金具
    注: リフティングのオプションは移動量400 mm以上のみで利用できます。 XYセットの上軸では注文しないでください(下軸のみで注文)。

計測(必須)

オプション 説明
-PL0 計測性能プロットなし
-PL1 計測、性能プロットで較正なし
-PL2 計測、性能プロットによる較正済み(HALAR)

統合(必須)

Aerotechは、標準とカスタムの両方の統合サービスを提供し、お客様のシステムをできるだけ早く完全に運用できるよう支援します。 このシステムでは、次の標準統合オプションを使用できます。 必要な統合レベルがわからない場合、または御社のシステムにカスタム統合サポートが必要な場合は、Aerotechにご相談ください。

オプション 説明
-TAS 統合 - システムとしてテスト
一緒に使用される完全なシステム(例: ドライブ、コントローラ、ステージ)として、コンポーネントグループのテスト、統合、および文書化を行います。 これには、パラメータファイルの生成、システムチューニング、およびシステム構成の文書化が含まれます。
-TAC 統合 - コンポーネントとしてテスト
個々のアイテムを一緒に出荷される個別のコンポーネントとしてテストおよび統合します。 これは通常、スペアパーツ、交換部品、または一緒に使用されないアイテムに使用されます。 こうしたコンポーネントは、より大きいシステムの一部である場合もあればそうでない場合もあります。

アクセサリ(別品目として注文)

オプション 説明
ALIGN-NPA 非精密XYアセンブリ
ALIGN-NPAZ 非精密XZまたはYZアセンブリ
ALIGN-PA10 XYアセンブリ。10秒角の直交性。 短い移動ステージ用に7ミクロン以内の直交性でアライメント。
ALIGN-PA10Z Lブラケット付きXZまたはYZアセンブリ。10秒角で直交。 短い移動ステージ用に10ミクロン以内の直交性でアライメント。
ALIGN-PA5 XYアセンブリ。5秒角の直交性。 短い移動ステージ用に7ミクロン以内の直交性でアライメント。
ALIGN-PA5Z Lブラケット付きXZまたはYZアセンブリ。5秒角で直交。 短い移動ステージ用に5ミクロン以内の直交性でアライメント。