ECO165SLシリーズの機械ベアリング、ボールねじステージ

説明

設計の主な特徴

  • 高コスト効率かつ高性能な経済的パッケージ
  • 頑丈な機械設計
  • サーボモーターまたはステッピングモーターが利用可能
  • 移動量50~600 mmの9モデル
  • 真空およびクリーンルームバージョンが利用可能

ECO165SLは、ECOリニアステージファミリーに属し、総保有コストの低いデザインを編み出したAerotechの経験に基づいて構築されました。 優れた位置決め仕様、高い剛性、各種のオプションと機能を経済的な価格で提供するECO165SLステージは、ボールねじステージ作動を要件とする中程度の性能を必要とする製造に理想的な選択です。

高品質な機械構造

寿命の長い循環リニアガイドベアリングシステムと質の高い構造によって、ECO165SLは稼働時間がクリティカルな用途にとって魅力的なソリューションです。 競合の低価格なモーションステージとは異なり、ECO165SLは複雑なマシンに組み込みが可能で、しかも、高水準の性能を発揮し、他のマシンコンポーネントより長寿命です。

ステッピングモーターオプション

コスト管理の厳しい用途向けに、ECO165SLシリーズにはNEMA23ステッピングモーターオプションがあります。 標準の壁電圧で動作するECO165SLは、最小の電気設備でプラグアンドプレイができます。

設計と統合の柔軟性

ECO165SLは、特定用途に適合できる、多くの標準機能やオプションで設計されています。 移動量50~600 mm、最高速度300 mm/sで、9種類のモデルを利用できます。

土台の取り付け穴は、ステージの外側からアクセスできるため、取り付けが簡単です。 どの移動量でもヤード・ポンド法およびメートル法の光学テーブルの標準取り付け穴があります。 各ステージで、ECO165SLまたはECO225SLをもう一台マウントすれば、多軸システムを簡単に統合できます。

オプションのテーブルトップは、ヤード・ポンド法またはメートル法の取り付けパターンがご利用できます。 テーブルトップの3つめのオプションは、弊社回転ステージ数種に直接取り付けられる穴パターンです。

AerotechのBMまたはBMSシリーズのブラシレスサーボモーターにはさまざまなエンコーダオプションがあり、0.5 μmからサブナノメートルまでの正味分解能を提供します。 保持ブレーキを垂直用途のモーターに加えることができます。 また、設置場所に制限のある用途の場合は、モーターフォールドバックキットを使用すると、全体的なステージ長を短くできます。

ECO165SLステージシリーズは、確実に多くの要件を満たすオプションを多数備えています。 その柔軟性とコスト効率の高い設計によって、今日市場で入手できる最高のリニアボールねじステージシリーズです。

仕様

ECO165SLの仕様

ECO165SL
移動量 50 100 150 200 250 300 400 500 600
精度(1) 標準 ±18 µm ±23 µm ±27 µm ±30 µm ±34 μm ±38 µm ±43 μm ±45 μm ±48 μm
較正時 ±5 µm ±5 µm ±5 µm ±5.5 μm ±5.5 μm ±5.5 μm ±6 μm ±6 μm ±7 µm
分解能(最小
インクリメンタル運動)
0.2 µm(2)。0.75 µm(3)
双方向繰り返し精度(1) ±4 µm ±4 μm ±4 μm ±4.5 μm ±4.5 μm ±4.5 μm ±5 µm ±5 µm ±5 µm
直線性(1) ±2 µm ±3 µm ±4 µm ±5 µm ±6 µm ±7 µm ±9 μm ±11 μm ±13 μm
平坦性(1) ±2 µm ±3 µm ±4 µm ±5 µm ±6 µm ±7 µm ±9 μm ±11 μm ±13 μm
ピッチ 35 μrad
(7.2 arc sec)
40 μrad
(8.3 arc sec)
40 μrad
(8.3 arc sec)
50 μrad
(10.3 arc sec)
60 μrad
(12.4 arc sec)
65 μrad
(13.4 arc sec)
80 μrad
(16.5 arc sec)
95 μrad
(19.6 arc sec)
110 μrad
(22.7 arc sec)
ロール 35 μrad
(7.2 arc sec)
40 μrad
(8.3 arc sec)
40 μrad
(8.3 arc sec)
50 μrad
(10.3 arc sec)
60 μrad
(12.4 arc sec)
65 μrad
(13.4 arc sec)
80 μrad
(16.5 arc sec)
95 μrad
(19.6 arc sec)
110 μrad
(22.7 arc sec)
ヨー 35 μrad
(7.2 arc sec)
40 μrad
(8.3 arc sec)
40 μrad
(8.3 arc sec)
50 μrad
(10.3 arc sec)
60 μrad
(12.4 arc sec)
65 μrad
(13.4 arc sec)
80 μrad
(16.5 arc sec)
95 μrad
(19.6 arc sec)
110 μrad
(22.7 arc sec)
最大速度(4) 300 mm/s
最大加速度(4) モーター、アンプの選択、ペイロード、および最大軸負荷による
耐荷重(4) 水平方向 45 kg
垂直(軸方向) 25 kg
サイド 45 kg
移動質量(テーブルトップあり) 2.8 kg
ステージ質量(モーターなし) 5.4 kg 5.8 kg 6.3 kg 6.8 kg 7.3 kg 7.8 kg 8.7 kg 9.7 kg 10.6 kg
材料 アルマイト
MTBF (平均故障間隔) 20,000時間
  1. -PL1オプションで認定済み。
  2. 増幅正弦波エンコーダを搭載したAerotechロータリーモーターで達成。
  3. 2500カウント/回転のデジタルエンコーダを搭載したAerotechロータリーモーターで達成。
  4. 十分な電圧・電流を備えた適切なアンプを選択する必要があります。
  5. 軸積み込み用の定位置が記載されています。
  6. テーブルトップから25 mm上で測定した単軸システムの仕様です。 多軸システムの性能はペイロードと作業点によって決まります。 多軸でのご利用については、工場にお問い合わせください。
  7. 記載の仕様はフォールドバックキットオプションなしの場合です。 フォールドバックキット(-FBx)を使う場合の仕様は工場にお問い合わせください。

電気的特性

ドライブシステム ブラシレスロータリーサーボモーターまたはステッピングモーター
フィードバック インクリメンタル – 1000 lines/rev (-AS)および2500 lines/rev (TTL)
最大バス電圧 DC 340V
リミットスイッチ 5V、通常閉

推奨コントローラ

多軸 A3200 Ndrive HLe/Ndrive CP/Ndrive HPe/Npaq
Ensemble Ensemble HLe/Ensemble CP/Ensemble HPe
単軸 Soloist Soloist CP/Soloist HPe
  • ECO165SLプロット

寸法

注文情報

ECO165SLシリーズのリニアボールねじステージ

移動量(必須)

オプション 説明
-050 50 mmの移動ステージ
-100 100 mmの移動ステージ
-150 150 mmの移動ステージ
-200 200 mmの移動ステージ
-250 250 mmの移動ステージ
-300 300 mmの移動ステージ
-400 400 mmの移動ステージ
-500 500 mmの移動ステージ
-600 600 mmの移動ステージ

テーブルトップ(オプション)

オプション 説明
-TT1 メートル法による取り付けテーブルトップ
-TT2 ヤード・ポンド法による取り付けテーブルトップ
-TT3 選択した回転ステージ用マウント付きアクセサリテーブルトップ

モーター(オプション)

オプション 説明
-M1 BMS100ブラシレスサーボモーターと2500ラインのTTLエンコーダ
-M2 BMS100ブラシレスサーボモーター、2500ラインのTTLエンコーダ、ブレーキ
-M3 BMS100ブラシレスサーボモーターと1000ライン1 Vppエンコーダ
-M4 BMS100ブラシレスサーボモーター、1000ライン1 Vppエンコーダ、ブレーキ
-M5 BM130ブラシレスサーボモーターと2500ラインのTTLエンコーダ
-M6 BM130ブラシレスサーボモーター、2500ラインのTTLエンコーダ、ブレーキ
-M7 BM130ブラシレスサーボモーターと1000ライン1 Vppエンコーダ
-M8 BM130ブラシレスサーボモーター、1000ライン1 Vppエンコーダ、ブレーキ
-M9 SM100高電圧ステッピングモーター
-M10 SM100高電圧ステッピングモーターとブレーキ

フォールドバックキット(オプション)

オプション 説明
-FB1 直径 0.250 インチシャフトのNEMA 23モーター用フォールドバックキット
-FB2 直径 0.250インチシャフトのNEMA 23モーター用ブレーキ付きフォールドバックキット
-FB3 直径 0.375 インチシャフトのNEMA 23モーター用フォールドバックキット
-FB4 直径 0.375インチシャフトのNEMA 23モーター用ブレーキ付きフォールドバックキット

モーター定位置(オプション)

オプション 説明
-2 底面ケーブル出口(オプションの方向)
-3 左面ケーブル出口(標準の定位置)
-4 上面ケーブル出口(オプションの方向)
-5 右側ケーブル出口(オプションの方向)
-8 右側のフォールドバック、標準の定位置
-12 左側フォールドバック、オプションの定位置

リミット(必須)

オプション 説明
-LI1 通常閉のリミットスイッチ。 9ピンDコネクタ付きDC 5 V
-LI2 通常開リミットスイッチ。 9ピンDコネクタ付きDC 5 V

カップリング(オプション)

オプション 説明
-CP1 直径0.250インチのシャフト用カップリング
-CP2 直径0.375インチのシャフト用カップリング

つり金具(オプション)

オプション 説明
-LF つり金具
    注: リフティングのオプションは移動量400 mm以上のみで利用できます。 XYセットの上軸では注文しないでください(下軸のみで注文)。

計測(必須)

オプション 説明
-PL0 計測性能プロットなし
-PL1 計測、性能プロットで較正なし
-PL2 計測、性能プロットによる較正済み(HALAR)

統合(必須)

Aerotechは、標準とカスタムの両方の統合サービスを提供し、お客様のシステムをできるだけ早く完全に運用できるよう支援します。 このシステムでは、次の標準統合オプションを使用できます。 必要な統合レベルがわからない場合、または御社のシステムにカスタム統合サポートが必要な場合は、Aerotechにご相談ください。

オプション 説明
-TAS 統合 - システムとしてテスト
一緒に使用される完全なシステム(例: ドライブ、コントローラ、ステージ)として、コンポーネントグループのテスト、統合、および文書化を行います。 これには、パラメータファイルの生成、システムチューニング、およびシステム構成の文書化が含まれます。
-TAC 統合 - コンポーネントとしてテスト
個々のアイテムを一緒に出荷される個別のコンポーネントとしてテストおよび統合します。 これは通常、スペアパーツ、交換部品、または一緒に使用されないアイテムに使用されます。 こうしたコンポーネントは、より大きいシステムの一部である場合もあればそうでない場合もあります。

アクセサリ(別品目として注文)

オプション 説明
ALIGNMENT-NPA 非精密XYアセンブリ
ALIGN-NPAZ 非精密XZまたはYZアセンブリ
ALIGN-PA10 XYアセンブリ。10秒角の直交性。 短い移動ステージ用に7ミクロン以内の直交性でアライメント。
ALIGN-PA10Z Lブラケット付きXZまたはYZアセンブリ。10秒角で直交。 短い移動ステージ用に10ミクロン以内の直交性でアライメント。
ALIGN-PA5 XYアセンブリ。5秒角の直交性。 短い移動ステージ用に7ミクロン以内の直交性でアライメント。
ALIGN-PA5Z Lブラケット付きXZまたはYZアセンブリ。5秒角で直交。 短い移動ステージ用に5ミクロン以内の直交性でアライメント。
HDZ165 ECO165SL-050、ECO165SL-100、ECO165SL-150専用直角L字型ブラケット。
    注: HDZ165ブラケットは、ECO165SLに取り付けるために-TT1または-TT2オプションが必要です。