MPS75SL極小機械ベアリングねじ駆動式リニアステージ

説明

設計の主な特徴

  • コンパクトな幅75 mm、最大移動量100 mm
  • 高精密研磨ボールねじ駆動
  • DCサーボまたはステッピングモーター
  • クリープ防止クロスローラーベアリング
  • 高分解能(0.1 µm)、繰り返し精度(±0.75 µm)、精度(±1.0 µm)
  • 高真空対応
  • オプションのべローズ式ウェイカバー
  • コンパクトな多軸構成

MPS75SLは、コンパクトで高性能なリニア位置決めステージです。製造環境に求められる高信頼性を実現する一方で、実験室の制約条件下でも最適です。 測定、試験、正確なアラインメント、コンポーネントの組立てに理想的な選択肢です。

高精度

高精密研磨されたボールねじは、卓越した精度、繰り返し精度、そして0.1 μの超微細位置決め分解能を実現します。 DCサーボモーターにはロータリーエンコーダが搭載されています。 クリープ防止クロスローラーリニア軸受は、スムーズな移動と優れたペイロード特性を提供します。

オプションの真空処理

MPS75SLでは、10-6 トールの真空処理も選択可能です。 半導体の製造・検査、光学機器組立、軍用/航空宇宙をはじめとした市場における現在の厳しい要件の真空用途に最適なコンパクトステージです。

高度に設定可能

オプションのブレッドボード取付板によって、ヤード・ポンド法のブレッドボードにもメートル法のブレッドボードにも正面取り付けできます。 埃の多い環境では、ベローズ式ウェイカバーが使用できます。 どのモデルもXY構成に取り付け可能で、直角Lブラケットを使うと、XYZ構成にも取り付けられます。 小型のMPS50SLステージを取り付けることもできます。

MPS75SLは、リニア、回転、ゴニオメーター、垂直リフト、垂直Z軸などのMPS(極小位置決めステージ)製品群の1つです。 標準取り付けパターンとアダプタプレートを使うと、2台以上のステージをさまざまな組み合わせで簡単に取り付けられます。

仕様

機械的仕様

モデルMPS75SL-025MPS75SL-050MPS75SL-075MPS75SL-100
移動量 25 mm 50 mm 75 mm 100 mm
精度 未較正 ±2.5 µm ±3.0 µm ±3.5 µm ±4.0 µm
ベローズで未較正 ±3.5 µm ±4.0 µm ±4.5 µm ±5.0 µm
較正時(1) ±1.0 µm ±1.0 µm ±1.5 µm ±1.5 µm
分解能(最小インクリメンタル運動) 0.1 µm
繰り返し精度(双方向)(1) ±0.75μm(標準); ±1.2μm(ベローズによる)
直線性 ±2.0 µm ±2.0 µm ±3.0 µm ±3.0 µm
平坦性 ±2.0 µm ±2.0 µm ±3.0 µm ±3.0 µm
最大速度 1.0 mm/rev
ボールねじ
DCモーター(-M1) 50 mm/s 50 mm/s 50 mm/s 35 mm/s
ステッパーモーター(-M2) 30 mm/s 30 mm/s 30 mm/s 30 mm/s
耐荷重(2) 水平方向 15 kg
サイド 15 kg
垂直 4 kg
ステージ質量 1.7 kg 1.8 kg 1.9 kg 2.0 kg
材料 アルマイトの本体
  1. Aerotechのコントローラを使用した場合。
  2. ペイロードの仕様は単軸システムです。
  3. 過剰な負荷サイクルはステージ精度に影響を与えることがあります。
  4. テーブルトップから25 mm上で測定した単軸システムの仕様です。
  5. ベローズオプションが付いたステージの仕様については、工場にお問い合わせください。

電気的特性

モデルDCモーター(-M1)
(標準およびVAC)
ステッピングモーター(-M2)
(標準およびVAC)
ドライブシステム DCブラシサーボモーター DC 24 Vバイポーラステッピングモーター
フィードバック 10,000 lines/revのロータリーエンコーダ N/A
電子的分解能 0.025 µm モーター分解能40,000 steps/revで0.025 µm
最大バス電圧 DC 48 V DC 48V*
リミットスイッチ 5V、通常閉
    *Aerotechのコントロールシステムを使用した場合。

推奨コントローラ

モデル 
多軸 A3200 Npaq/Npaq MR/Ndrive MP
Ensemble Ensemble LAB/Epaq/Epaq MR/Ensemble MP
単軸 Soloist Soloist MP
  • MPS75SL荷重曲線

寸法

注文情報

MPS75SL極小機械ベアリングねじ駆動式リニアステージ

移動ステージ(必須)

オプション 説明
-025 25 mmの移動ステージ
-050 50 mmの移動ステージ
-075 75 mmの移動ステージ
-100 100 mmの移動ステージ

真空処理(オプション)

オプション 説明
-HV 真空処理、最大10-6トール

モーター(必須)

オプション 説明
-M1 DCサーボモーター
-M2 ステッピングモーター

ベローズ(オプション)

オプション 説明
-BL ベローズ式ウェイカバー
      注: ベローズウェイカバーは、-HV真空処理では使用できません。

取付板(オプション)

オプション 説明
-MP 光学テーブル取付板

計測(必須)

オプション 説明
-PL0 計測性能プロットなし
-PL1 計測、性能プロットで較正なし
-PL2 計測、性能プロットによる較正済み(HALAR)

統合(必須)

Aerotechは、標準とカスタムの両方の統合サービスを提供し、お客様のシステムをできるだけ早く完全に運用できるよう支援します。 このシステムでは、次の標準統合オプションを使用できます。 必要な統合レベルがわからない場合、または御社のシステムにカスタム統合サポートが必要な場合は、Aerotechにご相談ください。

オプション 説明
-TAS 統合 - システムとしてテスト
一緒に使用される完全なシステム(例: ドライブ、コントローラ、ステージ)として、コンポーネントグループのテスト、統合、および文書化を行います。 これには、パラメータファイルの生成、システムチューニング、およびシステム構成の文書化が含まれます。
-TAC 統合 - コンポーネントとしてテスト
個々のアイテムを一緒に出荷される個別のコンポーネントとしてテストおよび統合します。 これは通常、スペアパーツ、交換部品、または一緒に使用されないアイテムに使用されます。 こうしたコンポーネントは、より大きいシステムの一部である場合もあればそうでない場合もあります。

アクセサリ(別品目として注文)

オプション 説明
HDZ-MPS75SL 直角ブラケット、MPS75SL
HDZ-MPS75SL-HV 直角ブラケット、MPS75SL、最大10-6トールの真空処理