MPS75SLEリニアフィードバック付き極小機械ベアリングねじ駆動式リニアステージ

説明

設計の主な特徴

  • 最大移動量100 mmのコンパクトなステージ
  • 熱膨張の少ないガラススケールリニアエンコーダ
  • 高精密研磨ボールねじ駆動
  • DCサーボまたはステッピングモーター
  • クリープ防止クロスローラーベアリング
  • 高分解能(0.025 µm)、繰り返し精度(±0.1 µm)、精度(±0.75 µm)
  • オプションのべローズ式ウェイカバー
  • コンパクトな多軸構成

AerotechのMPS75SLEはコンパクトで高性能なリニア位置決めステージで、リニアエンコーダを介したダイレクトな測定フィードバックを提供します。 MPS75SLEは、光ファイバー位置決め、表面形状測定におけるセンサーのz軸位置決め、または高精度アライメントの用途に適した高精度ステージです。 多軸ステージ構成は、互換性のあるMPSステージファミリーの豊富な各種アダプタブラケットや取り付け法によって、他のMPSリニアステージや回転ステージに簡単に組み込むことができます。

超精密設計

高精密研磨された与圧済みボールねじがリニアエンコーダに連結して優れた精度と繰り返し精度、25 nmの超微細位置決め分解能を実現します。 クリープ防止クロスローラーベアリングは、非常にスムーズな移動と高耐荷重をコンパクトパッケージで実現します。

スチール製(熱膨張係数13 ppm/˚C)またはガラス製(熱膨張係数8 ppm/˚C)のスケールを使用する競合デザインとは異なり、MPS75SLEは熱膨張の少ない(3.3 ppm/˚C)精密ガラススケールを装備し、長期間にわたる高精度と繰り返し可能位置決めを実現します。 リニアエンコーダでは増幅正弦波出力(1 Vpp)または50 nmのTTLデジタル出力を選ぶことができ、あらゆる標準コントローラと簡単に統合できます。

高度に設定可能

MPS75SLEモーターオプションには、高分解能ロータリーエンコーダまたはステッピングモーターを備えたDCサーボモーターがあります。 MPS75SLと同様に、SLEはオプションのベローズ式ウェイカバー付きとウェイカバーなしでご提供しています。

オプションの取付板によって、ヤード・ポンド法の光学ブレッドボードにもメートル法の光学ブレッドボードにも正面取り付けできます。 すべてのMPSステージで取り付けに互換性があるため、多軸構成でも取り付けがシンプルです。

仕様

機械的仕様

モデルMPS75SLE-025MPS75SLE-050MPS75SLE-075MPS75SLE-100
移動量 25 mm 50 mm 75 mm 100 mm
精度 未較正 ±1.75 µm ±2.25 µm ±2.75 µm ±3.25 µm
ベローズで未較正 ±2.75 µm ±3.25 µm ±3.75 µm ±4.25 µm
較正時(1) ±0.75 µm ±0.75 µm ±1.0 µm ±1.0 µm
分解能(最小インクリメンタル運動)(2) 0.025 µm
繰り返し精度(双方向)(2) ±0.1μm(標準); ±0.2μm(ベローズによる)
直線性 ±2.0 µm ±2.0 µm ±3.0 µm ±3.0 µm
平坦性 ±2.0 µm ±2.0 µm ±3.0 µm ±3.0 µm
最大速度 1.0 mm/rev
ボールねじ
DCモーター(-M1) 50 mm/s 50 mm/s 50 mm/s 35 mm/s
ステッパーモーター(-M2) 30 mm/s 30 mm/s 30 mm/s 30 mm/s
耐荷重(3) 水平方向 15 kg
サイド 15 kg
垂直 4 kg
ステージ質量 2.3 kg 2.4 kg 2.5 kg 2.6 kg
材料 アルマイトの本体
  1. Aerotechコントローラを使った場合。
  2. 分解能と繰り返し精度の仕様は、ロータリーエンコーダとリニアエンコーダの双方で25 nmのフィードバック分解能を持つデュアルループモードで動作しているシステムの値です。
  3. ペイロードの仕様は単軸です。
  4. テーブルトップから25 mm上で測定した単軸システムの仕様です。
  5. ベローズオプションが付いたステージの仕様については、工場にお問い合わせください。

電気的特性

モデルDCモーターステッピングモーター
ドライブシステム DCブラシサーボモーター DC 24 Vバイポーラステッピングモーター
フィードバック(リニアエンコーダ) 非接触リニアエンコーダ、
増幅正弦波およびTTL バージョンも提供可能
フィードバック(ロータリーモーターエンコーダ) 10,000 lines/revのロータリーエンコーダ N/A
最大バス電圧 DC 48V(1)
ロータリーエンコーダ電子的分解能 0.025 µm モーター分解能40,000 steps/revで0.025 µm
リニアエンコーダ電子的分解能 20 µm基本、LTX100オプションの使用で0.05 µm。
増幅正弦波(-AS)オプションにより1 nmを下回る電子的分解能が達成可能(2)
リミットスイッチ 5V、通常閉
  1. Aerotechのコントロールシステムを使用した場合。
  2. 最適な性能を保つために、Aerotechでは、サーボフィードバックループの一部としてリニアエンコーダを使用する場合、最大分解能として0.025 µmを使用することを推奨します。

推奨コントローラ

モデル 
多軸 A3200 Npaq/Npaq MR/Ndrive MP
Ensemble Ensemble LAB/Epaq/Epaq MR/Ensemble MP
単軸 Soloist Soloist MP
  • MPS75SLEステッププロット
  • MPS75SL荷重曲線

寸法

注文情報

MPS75SLEリニアフィードバック付き極小機械ベアリングねじ駆動式リニアステージ

ダイレクトリニアフィードバック(必須)

オプション 説明
-E1 インクリメンタルリニアエンコーダ。1 Vpp
-E2 インクリメンタルリニアエンコーダ。0.1 μmデジタルTTL出力

移動量(必須)

オプション 説明
-025 25 mmの移動ステージ
-050 50 mmの移動ステージ
-075 75 mmの移動ステージ
-100 100 mmの移動ステージ

モーター(必須)

オプション 説明
-M1 DCサーボモーター
-M2 ステッピングモーター

ベローズ(オプション)

オプション 説明
-BL ベローズ式ウェイカバー

取付板(オプション)

オプション 説明
-MP 光学テーブル取付板

計測(必須)

オプション 説明
-PL0 計測性能プロットなし
-PL1 計測、性能プロットで較正なし
-PL2 計測、性能プロットによる較正済み(HALAR)

統合(必須)

Aerotechは、標準とカスタムの両方の統合サービスを提供し、お客様のシステムをできるだけ早く完全に運用できるよう支援します。 このシステムでは、次の標準統合オプションを使用できます。 必要な統合レベルがわからない場合、または御社のシステムにカスタム統合サポートが必要な場合は、Aerotechにご相談ください。

オプション 説明
-TAS 統合 - システムとしてテスト
一緒に使用される完全なシステム(例: ドライブ、コントローラ、ステージ)として、コンポーネントグループのテスト、統合、および文書化を行います。 これには、パラメータファイルの生成、システムチューニング、およびシステム構成の文書化が含まれます。
-TAC 統合 - コンポーネントとしてテスト
個々のアイテムを一緒に出荷される個別のコンポーネントとしてテストおよび統合します。 これは通常、スペアパーツ、交換部品、または一緒に使用されないアイテムに使用されます。 こうしたコンポーネントは、より大きいシステムの一部である場合もあればそうでない場合もあります。

アクセサリ(別品目として注文)

オプション 説明
HDZ-MPS75SL 直角ブラケット、MPS75SL