PRO165LM機械ベアリングリニアモーターステージ

説明

設計の主な特徴

  • 次世代設計をさらに改良
  • 頑丈な機械構造
  • 高コスト効率かつ高性能なパッケージ
  • 超精密モーションのためのダイレクトドライブ リニアモーター
  • 移動量100~1000 mmの10モデル
  • 真空およびクリーンルームバージョンが利用可能
  • 変更環境の高性能向けのThermoCompTMを利用可能

PRO165LMは、多くの改良と追加機能を備えたAerotechの第二世代PRO-LMステージシリーズの1つです。 位置決め仕様や剛性が強化され価格競争力もあるため、PRO165LMステージは中高性能の生産用途に理想的です。 PRO115LMシリーズと似たデザインに、さらなる耐荷重および剛性と、大きなベアリング、広い断面積を備えています。

頑丈な機械構造

高耐用性循環式リニアガイドベアリングシステムと低摩擦シーリングソリューションによって、PRO165LMはレーザー加工などの産業用途に格好のソリューションです。 PRO165LMの基本外部構造がデブリから保護する設計になっているほか、サイドシールはほこりや微粒子がステージに入り込むのを防ぎます。 曲線を描くハードカバーデザインは、ステージにデブリがたまり過ぎない自然な形状です。

高精度なモーション性能

PRO165LMシリーズのステージは、ステージシーリングシステムによってデブリから保護された、高精度非接触のリニアエンコーダで最適化されています。 高精度循環式リニア軸受と機械加工およびアセンブリの熟練技術によって、優れた幾何学的性能を実現します。

インクリメンタルエンコーダとアブソリュートエンコーダが標準オプションとして利用でき、最小インクリメンタル運動を5 nmまで抑え、サブミクロンの繰り返し精度を備えています。 オプションのHALAR工場較正は位置決め精度を±1 μmまで高めます。

ダイレクトドライブリニアモーター

PRO165LMを駆動しているのはAerotechのハイパワーUチャンネルリニアモーターです。 アイアンレスフォーサーコイルがゼロコギングの大きな力を発揮し、非常にスムーズな速度制御および位置制御を実現します。 アイアンレス設計は優れたコンタリング精度やスムーズな速度プロファイルを要する用途に適しています。 Aerotechのリニアモーターステージがすべてそうであるように、リニアモーターはノンバックラッシュ、ノーワインドアップ、ゼロフリクション、および優れた動的反応性を備えています。

ThermoCompによる正確な位置決め

精密機械では、温度変化や熱的効果は誤差を引き起こす大きな要因です。 PROシリーズの全ステージは、温度が変化する環境でも正確な位置決めを確保するAerotechの組み込み温度補正ユニット、ThermoComp 機能をご利用いただけます。 ThermoCompを使用すれば、実際の位置決め状況における御社のプロセスを守ることができます。

設計と統合の柔軟性

PRO165LMは、設計に驚くべき柔軟性を持たせ特定用途に合わせた調整を容易にする、多くの標準機能やオプションで設計されています。 移動量100~1000 mm、最高速度2 m/sで、10種類の
モデルが利用可能です。 単軸および多軸システムの標準オプションとして、設定可能なケーブル管理ソリューションも用意しています。

土台の取り付け穴は、ステージの外側からアクセスできるため、取り付けが簡単です。 どの移動量でもヤード・ポンド法およびメートル法の光学テーブルの標準取り付け穴があります。 テーブルトップにはヤード・ポンド法およびメートル法の両方の取り付けパターンがあり、さらにステージのハードカバーにたまるデブリを取り除くブラシ型アタッチメント付きでご注文できます。 AerotechのADRS、ACS-LP、ADRT、ACS、AGRといった回転ステージを直接取り付けることができる穴パターンを備えたテーブルトップもご利用できます。

PRO165LMシリーズは、クリーンルーム処理を施したものおよび真空バージョンも用意しています。

仕様

PRO165LMの仕様

PRO165LM
移動量 100 150 200 250 300 400 500 600 800 1000
精度(1) 標準 ±4 µm ±6 µm ±8 µm ±9 μm ±10 µm ±12 μm ±14 μm ±15.5 μm ±17 μm ±18 μm
較正時 ±1 µm ±1 µm ±1.5 μm ±1.5 μm ±1.5 μm ±1.5 μm ±2 μm ±2 μm ±2 μm ±2 μm
分解能(最小
インクリメンタル運動)
5 nm (-E1エンコーダ)、10 nm (-E3エンコーダ)
双方向繰り返し精度(1) ±0.4 µm ±0.4 µm ±0.5 μm ±0.5 μm ±0.5 μm ±0.5 μm ±0.5 μm ±0.5 μm ±0.5 μm ±0.5 μm
水平方向の直線性(1) ±2.5 µm ±3 µm ±4 µm ±5 µm ±6 μm ±8 μm ±9 μm ±10 µm ±12 μm ±14 μm
垂直の直線性(1) ±2.5 µm ±3 µm ±4 µm ±5 µm ±6 μm ±8 μm ±9 μm ±10 µm ±12 μm ±14 μm
ピッチ 29 µrad
(6 arc sec)
29 µrad
(6 arc sec)
40 μrad
(8.2 arc sec)
46 μrad
(9.5 arc sec)
58 μrad
(12 arc sec)
70 μrad
(14.4 arc sec)
80 μrad
(16.5 arc sec)
90 μrad
(18.6 arc sec)
100 μrad
(20.6 arc sec)
120 μrad
(24.7 arc sec)
ロール 29 µrad
(6 arc sec)
29 µrad
(6 arc sec)
40 μrad
(8.2 arc sec)
46 μrad
(9.5 arc sec)
58 μrad
(12 arc sec)
70 μrad
(14.4 arc sec)
80 μrad
(16.5 arc sec)
90 μrad
(18.6 arc sec)
100 μrad
(20.6 arc sec)
120 μrad
(24.7 arc sec)
ヨー 29 µrad
(6 arc sec)
29 µrad
(6 arc sec)
40 μrad
(8.2 arc sec)
46 μrad
(9.5 arc sec)
58 μrad
(12 arc sec)
70 μrad
(14.4 arc sec)
80 μrad
(16.5 arc sec)
90 μrad
(18.6 arc sec)
100 μrad
(20.6 arc sec)
120 μrad
(24.7 arc sec)
最大速度(2) 2 m/s
最大加速度(2) 3 g
最大力、連続 77.7 N
耐荷重(3) 水平方向 45 kg
サイド 45 kg
移動質量 2.5 kg
ステージ質量 8.2 kg 9.1 kg 9.9 kg 10.7 kg 11.6 kg 13.3 kg 14.9 kg 16.6 kg 20.0 kg 23.3 kg
材料 アルミ製
MTBF (平均故障間隔) 20,000時間
  1. -PL1オプションで認定済み。
  2. 十分な電圧・電流を備えた適切なアンプを選択する必要があります。
  3. 軸積み込み用の定位置が記載されています。
  4. テーブルトップから25 mm上で測定した単軸システムの仕様です。 多軸システムの性能はペイロードと作業点によって決まります。 多軸でのご利用については、工場にお問い合わせください。

電気的特性

ドライブシステム ブラシレスリニアサーボモーター
フィードバック 非接触エンコーダ
インクリメンタル – 1 VppおよびTTL (0.1 μm)出力
アブソリュート – EnDat 2.2
最大バス電圧 DC 340V
リミットスイッチ 5V、通常閉
ホームスイッチ 中央近く

推奨コントローラ

多軸 A3200 Ndrive HLe/Ndrive CP/Ndrive HPe/Npaq
Ensemble Ensemble HLe/Ensemble CP/Ensemble HPe
単軸 Soloist Soloist CP/Soloist HPe
  • Pro165LMプロット

寸法

注文情報

PRO165LMシリーズのリニアモーターステージ

移動ステージ(必須)

オプション 説明
-0100 100 mmの移動ステージ
-0150 150 mmの移動ステージ
-0200 200 mmの移動ステージ
-0250 250 mmの移動ステージ
-0300 300 mmの移動ステージ
-0400 400 mmの移動ステージ
-0500 500 mmの移動ステージ
-0600 600 mmの移動ステージ
-0800 800 mmの移動ステージ
-1000 1000 mmの移動ステージ

取り付け定位置(必須)

オプション 説明
  通常の取り付け定位置
-MT1 サイドマウントまたは垂直方向
-MT2 反転取り付け面

テーブルトップ(必須)

オプション 説明
-TT1 メートル法による取り付けテーブルトップ
-TT2 ヤード・ポンド法による取り付けテーブルトップ
-TT3 選択した回転ステージ用マウント付きアクセサリテーブルトップ
-TT4 メートル法による取り付けとワイパーブラシのテーブルトップ
-TT5 ヤード・ポンド法による取り付けとワイパーブラシのテーブルトップ
-TT6 選択した回転ステージとワイパー用マウント付きアクセサリテーブルトップ
    注: XYの下軸に必要なメートル法の-TT1または-TT4テーブルトップオプション。

フィードバック(必須)

オプション 説明
-E1 インクリメンタルエンコーダ、1 Vpp
-E2 インクリメンタルリニアエンコーダ、0.1 μmデジタルTTL出力
-E3 アブソリュートリニアエンコーダ。EnDat 2.2

ケーブル管理 (必須)

オプション 説明
-CMS0 外部ケーブル管理システムなし。キャリッジ上にモーター/フィードバックコネクタブラケット
-CMS1 単軸用外部ケーブル管理システム
-CMS2 2軸PRO(XY)アセンブリの下軸用の外部CMS
-CMS3 2軸 (XZまたは XT)アセンブリの下軸用の外部CMS
-CMS4 2軸PRO(XY)アセンブリの上軸用の外部CMS
-CMS5 2軸(YZまたはYT)アセンブリの上軸用の外部CMS
-CMS6 3軸(XYZまたはXYT)アセンブリの下軸用の外部CMS
-CMS7 3軸(XZT)アセンブリの下軸用の外部CMS

つり金具(オプション)

オプション 説明
-LF つり金具
    注: リフティングのオプションは移動量400 mm以上のみで利用できます。 XYセットの上軸では注文しないでください(下軸のみで注文)。

ThermoComp(オプション)

オプション 説明
-TCMP ThermoComp統合熱補正機能、単軸または下軸
    注: –TCMPオプションではA3200コントローラを使用する必要があります。

計測(必須)

オプション 説明
-PL0 計測性能プロットなし
-R1 計測、性能プロットで較正なし
-PL2 計測、性能プロットによる較正済み(HALAR)

統合(必須)

Aerotechは、標準とカスタムの両方の統合サービスを提供し、お客様のシステムをできるだけ早く完全に運用できるよう支援します。 このシステムでは、次の標準統合オプションを使用できます。 必要な統合レベルがわからない場合、または御社のシステムにカスタム統合サポートが必要な場合は、Aerotechにご相談ください。

オプション 説明
-TAS 統合 - システムとしてテスト
一緒に使用される完全なシステム(例: ドライブ、コントローラ、ステージ)として、コンポーネントグループのテスト、統合、および文書化を行います。 これには、パラメータファイルの生成、システムチューニング、およびシステム構成の文書化が含まれます。
-TAC 統合 - コンポーネントとしてテスト
個々のアイテムを一緒に出荷される個別のコンポーネントとしてテストおよび統合します。 これは通常、スペアパーツ、交換部品、または一緒に使用されないアイテムに使用されます。 こうしたコンポーネントは、より大きいシステムの一部である場合もあればそうでない場合もあります。

アクセサリ(別品目として注文)

オプション 説明
ALIGN-NPA 非精密XYアセンブリ
ALIGN-NPAZ 非精密XZまたはYZアセンブリ
ALIGN-PA10 XYアセンブリ。10秒角の直交性。 短い移動ステージ用に7ミクロン以内の直交性でアライメント。
ALIGN-PA10Z Lブラケット付きXZまたはYZアセンブリ。10秒角で直交。 短い移動ステージ用に10ミクロン以内の直交性でアライメント。
ALIGN-PA5 XYアセンブリ。5秒角の直交性。 短い移動ステージ用に7ミクロン以内の直交性でアライメント。
ALIGN-PA5Z Lブラケット付きXZまたはYZアセンブリ。5秒角で直交。 短い移動ステージ用に5ミクロン以内の直交性でアライメント。