ABL3600エアベアリング ダイレクトドライブオープンフレームリニアステージ

説明

設計の主な特徴

  • 大型クリアアパーチャ
  • すべての軸で完全プリロード
  • 2台のリニアモーターによるX軸およびY軸駆動
  • 高精度を実現する非接触リニアエンコーダ

2軸大型アパーチャのABL3600オープンフレームエアベアリングステージは、走査型顕微鏡やマスク・ウェハー検査の独自ニーズに対応します。

設計と構造

高剛性エアベアリングとデュアルリニアモーター駆動軸の組み合わせによって、優れた性能特性を備えたオープンフレームXYステージが実現します。 ABL3600は、従来の機械ベアリングオープンフレームステージの性能を大幅に進歩させました。

すべてのAerotechエアベアリングシステムと同様に、独自の製造技術によって直線性、平坦性、ピッチ、ロール、ヨーなどの優れた幾何学的特性を有するステージを開発しました。 Aerotechの最先端製造施設で製造されたABL3600は、従来の手法では不可能な厳格な公差で機械加工されています。

ブラシレスリニアサーボモーター

非常に要求が厳しい用途のニーズを満たすために、ABL3600はハイパワーリニアモーターを組み込んでいます。 これによって、ダイレクトドライブ機構の利点 - ゼロバックラッシュ、ノーワインドアップ、抜群の加速度、ゼロフリクション、および優れたサーボ剛性 - をすべて備えたステージが実現します。 多くの用途で要求されるモーションの安定性を満たすことができるのは、リニアモータードライブだけです。 駆動系はゼロフリクションで再循環エレメントがないため、ABL3600は走査やイメージングなどの精密用途に最適です。

高精度リニアエンコーダフィードバック

標準のフィードバックデバイスは、高分解能、非接触のリニアエンコーダです。 この非接触エンコーダは、幅広い動作条件で優れた繰り返し精度と安定性を発揮します。 デジタルおよびアナログの出力バージョンが使用可能です。

ケーブル管理

長年の研究によって、業界最高のケーブル管理システム(CMS)と言うべきものが完成しました。 ケーブルの曲げ半径を慎重に最適化し、最高品質のケーブルだけを使い、長期にわたる故障のない運転を実現します。 万一コンポーネントに故障が起きても、モジュラーデザインのため、最小限のダウンタイムで簡単にケーブルが交換できます。 最終的なシステムへの統合を円滑にするため、ユーザー要求ケーブル、空気ホースなどすべてをCMSに統合します。 両端にはすべてコネクタが付き、お客様のマシンに簡単に統合できます。

カスタムデザイン

Aerotechは、カスタムの高性能システムを設計・製造し、さまざまな用途におけるお客様のニーズと仕様に対応しています。 モーションコントロールと位置決めシステムの35年以上にわたる経験に基づき、お客様の用途に理想的なソリューションを提供します。

仕様

ABL3600の仕様

基本モデルABL36025
移動量 250 mm x 250 mm
ドライブシステム リニアブラシレスサーボモーター(最下軸: BLM-142-A、最上軸: BLM-142-A)
バス電圧 最大DC 160 V
連続電流(ブリッジ軸およびガントリー軸) Apk 最大3.10 A
Arms 最大2.19 A
フィードバック 非接触リニアエンコーダ
分解能 0.001~0.2 µm
最大移動速度(1) 200 mm/s
最大リニア加速度 0.25 g (無荷重)
最大荷重(2) 水平方向 30.0 kg
精度(3) LN ±1 µm
繰り返し精度(3) ±0.2 µm
直線性 最大偏差 ±0.5 µm
平坦性 最大偏差 ±1 µm
ピッチ/ロール 3 arc sec
ヨー 0.5 arc sec
公称ステージ重量(一体型の御影石の土台を含む) 1105 kg
移動質量 上軸 37.3 kg
下軸 96.5 kg
直交性 5 arc sec
動作圧力(4) 60 psi (+0、-5 psi)
空気消費量(5) 66 SLPM (2.3 SCFM)
材料 アルミ製
仕上げ 硬質皮膜加工(ロックウェル硬さ62)
  1. 最大速度はステージ性能に基づいています。最大適用速度は、システムのデータ速度や分解能によって制限されることがあります。
  2. 最大荷重はベアリング性能に基づいて決まります。最大適用荷重は加速の条件によって制限されることがあります。
  3. AerotechのコントローラおよびHALAR較正で達成可能。
  4. エアベアリングを圧力不足から保護するため、モーションコントローラESTOP入力に連携するインライン圧力スイッチを推奨します。
  5. 空気供給は清潔に保ち、露点温度0°F(-17.78°C)まで乾燥させ、フィルターを適用して0.25 µm以下に抑える必要があります。純度99.9%の窒素ガスを推奨します。
  6. 真空与圧が必須です。
  7. 仕様は、テーブルトップから25 mm上の単軸システムのもの向けです。 多軸システムの性能はペイロードと作業点によって決まります。 多軸または非標準用途については、工場にご相談ください。

注文情報

ABL3600の注文情報については、Aerotechの応用エンジニアまでご連絡ください。