ABL9000 2軸エアベアリングダイレクトドライブリニアステージ

説明

設計の主な特徴

  • すべての軸で完全プリロード
  • 2台のリニアモーターによるY軸駆動
  • 最大移動量1.2 m x 1.2 m
  • リニアエンコーダまたはレーザー干渉計フィードバック
  • アクティブヨーコントロール

Aerotechは、お客様にとって重要な用途ニーズに直接応えるために、長年にわたって世界最高性能のモーションシステムの設計や製造に携わってきました。 こうした努力によって、半導体、医療機器、軍用/航空宇宙をはじめとした多くの産業分野における主要技術が実を結びました。 この長い歴史と豊富な経験によって、最終的にABL9000の“ハイダイナミック”エアベアリングモーションプラットフォームの開発につながりました。 ウェハー、薄型パネルディスプレイ、光学検査&光学機器製造の厳しい要件に厳密に対応するように特別設計されたABL9000によって、新たな性能基準が確立しました。

エアベアリングデザイン

ABL9000の水平面および垂直面にはアクティブプリロードが搭載されています。 対抗する薄膜圧力でベアリングの呼びギャップ許容度を維持します。 この設計は、荷重を広い表面に分散する大きなエアベアリング面だけでなく、ステージの剛性が強化されており、高荷重またはオフセット荷重に理想的です。

独自の製造技術により、優れた幾何学的特性を有するステージを開発しました。 エアベアリングには性能を最大限に高める固有の平均化効果が備わっています。 薄膜は小型の表面ボイドを埋め、他の不規則性を可能にします。 この特性により、ピッチ、ロール、ヨー、直線性、平坦性で優れた仕様が可能になります。

リニアモータードライブ

このステージを支える駆動力は、AerotechのBLMシリーズブラシレスリニアサーボモーターです。 モーターメーカーとしてのAerotechの長い歴史と経験がこの最新設計に反映されています。 BLMにはコギングや吸引力が発生しないアイアンレスフォーサーが使用されているため、非常に滑らかなモーションです。 大きな力と速度を生成できるBLMは、パワーと性能の究極の組み合わせです。

ゼロメンテナンス

弊社の非接触エアベアリング、非接触リニアモータードライブ、および非接触フィードバックデバイスは、Aerotech機器に求められる高性能レベルで、長期間のメンテナンスフリー操作を実現します。 可動部間でまったく機械的な接触がないため、ABL9000には経年による摩耗や性能低下が生じません。 使用寿命は実質無制限で、潤滑剤を使用しない(クリーンな乾性ガスのみ)ため、エアベアリングはクリーンルームや医療用途に適しています。

ケーブル管理

ケーブルの曲げ半径を慎重に最適化し、長年にわたる故障のない運転を実現します。 万一コンポーネントに故障が起きても、モジュラーデザインのため、最小限のダウンタイムで簡単にケーブルが交換できます。 最終的なシステムへの統合を円滑にするため、ユーザー要求ケーブル、空気ホースなどすべてをCMSに統合します。 両端にはすべてコネクタが付き、お客様のマシンに簡単に統合できます。

仕様

ABL9000の仕様

仕様ABL9000-0300-0300ABL9000-0500-0500ABL9000-0750-0750ABL9000-1000-1000ABL9000-1200-1200
移動範囲(1) 300 mm x 300 mm 500 mm x 500 mm 750 mm x 750 mm 1000 mm x 1000 mm 1200 mm x 1200 mm
バス電圧(2) 最大DC 160 V
フィードバック 非接触リニアエンコーダ
最大移動速度(3) 500 mm/s
最大加速度 1 g (無荷重)
最大荷重(4) 30.0 kg 125.0 kg
精度(5) 高精度リニアエンコーダフィードバック ±0.5 µm ±0.75 µm ±0.85 µm ±1.0 µm ±1.25 µm
レーザー干渉計フィードバック 標準±10 ppm、補正後
±1.5 ppm(6)
さらなる詳細はAerotechの応用エンジニアまでお問い合わせください。
繰り返し精度(5) ±0.1 µm ±0.2 µm
直線性および平坦性 最大偏差 ±0.5 µm ±1.5 µm ±2.0 µm ±2.5 µm ±3.0 µm
ピッチ/ロール/ヨー 2 arc sec 3.5 arc sec 4.5 arc sec 5.5 arc sec 6 arc sec
ステージ質量 320 kg 690 kg 3200 kg 4130 kg 5200 kg
移動質量 ブリッジ 9.5 kg 35.0 kg
ガントリー 44 kg 57 kg 120 kg 130 kg 140 kg
直交性 2 arc sec 3 arc sec 3.5 arc sec 4 arc sec 5 arc sec
動作圧力(7) 551.6 kPa + 0、-34 kPa
空気消費量(8) 45 SLPM (1.6 SCFM) 85 SLPM (3.0 SCFM)
材料 アルミ製
仕上げ 硬質皮膜加工(ロックウェル硬さ62)
  1. 移動ステージは、応用分野固有の要件を満たすようにカスタマイズすることができます。 移動ステージのオプションについては、Aerotechにご相談ください。
  2. 標準リボンケーブルではDC 80Vバスリミット。 丸型ケーブルでは最大DC 320V。
  3. 最大速度はステージ性能に基づいています。最大適用速度は、システムのデータ速度や分解能によって制限されることがあります。
  4. 最大荷重はベアリング性能に基づいて決まります。最大適用荷重は加速の条件によって制限されることがあります。
  5. Aerotechコントローラと較正で利用できます。
  6. 要環境補正。
  7. エアベアリングを圧力不足から保護するため、モーションコントローラESTOP入力に連携するインライン圧力スイッチを推奨します。
  8. 空気供給は清潔に保ち、露点温度0°F(-17.78°C)まで乾燥させ、フィルターを適用して0.25 µm以下に抑える必要があります。純度99.9%の窒素ガスを推奨します。
  9. 仕様は、テーブルトップから25 mm上の単軸システムのもの向けです。 多軸システムの性能はペイロードと作業点によって決まります。 多軸または非標準用途については、工場にご相談ください。
  • ABL9000-spec

注文情報

ABL9000の注文情報については、Aerotechの応用エンジニアまでご連絡ください。